企业商机
蚀刻液基本参数
  • 品牌
  • 博洋化学
  • 产品名称
  • 钼铝钼蚀刻液
  • 纯度级别
  • 超纯/高纯
  • 类别
  • 无机酸
  • 产品性状
  • 液态
蚀刻液企业商机

    本发明涉及蚀刻液组合物及选择添加于该蚀刻液组合物的硅烷系偶联剂的方法。背景技术:参照图1,可以确认3dnand闪存(flashmemory)制造工序中的一部分。3dnand闪存可以通过在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*选择性去除氮化物膜的工序(wetremovalofnitride)来制造。在不损伤氧化物膜的同时将氮化物膜完全去除是这样的氮化物膜去除工序(wetremovalofnitride)的**技术之一。一般而言,氮化物膜去除工序中所使用的蚀刻液组合物利用具有防蚀能力的添加剂以获得在不损伤氧化物膜的同时*将氮化物膜完全去除的效果。但是,想要在不损伤氧化物膜的范围内将氮化物膜完全去除时,会使用防蚀能力强的添加剂,由此可能发生氮化物膜没有被完全去除的工序不良(参照图2)。此外,想要将氮化物膜完全去除时,会使用防蚀能力弱的添加剂,由此虽然氮化物膜被完全去除,但是可能发生对氧化物膜也造成损伤(damage)的工序不良(参照图3)。以往,为了在包含氧化物膜和氮化物膜的多层膜中*将氮化物膜选择性完全去除而选择具有适当水平的防蚀能力的添加剂时,按照添加剂的种类和浓度通过实验进行确认。没有这样的实验确认就选择添加剂实际上是不可能的。蚀刻液使用时要注意什么?无锡铜钛蚀刻液蚀刻液订做价格

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    当该风刀装置40的***风刀41与该第二风刀42为了减少该基板20上所残留的药液51而吹出该气体43时,该气体43碰到该挡液板结构10后部分会往该复数个宣泄孔121流动,并朝向该第二挡板12的该上表面123宣泄而出,除了保有原有挡液板的防止该药液51喷溅而造成的蚀刻不均现象,亦可达到以破真空的原理避免该气体43在该基板20附近形成涡流而造成真空吸引问题;此外,为了避免由该喷洒装置50喷洒而出的药液51滴入该基板20上而造成蚀刻不均的问题,因此,该复数个宣泄孔121的孔径a0必须要足够小,例如:孔径a0小于3mm,即可因毛细现象的作用,亦即该水滴于该宣泄孔121孔洞内的夹角θ等于该水滴与该第二挡板12的该上表面123所夹的接触角θ4,而达到防止位于该第二挡板12的该上表面123的药液51水滴经由该复数个宣泄孔121滴下至该基板20上。由上述的实施说明可知,本实用新型的挡液板结构与以之制备的蚀刻设备与现有技术相较之下,本实用新型具有以下优点。本实用新型的挡液板结构与以之制备的蚀刻设备主要借由具有复数个宣泄孔的挡液板结构搭配风刀装置的硬体设计,有效使风刀装置吹出的气体得以经由宣泄孔宣泄,并利用水滴的表面张力现象防止水滴由宣泄孔落下造成基板蚀刻不均等异常现象。无锡铜钛蚀刻液蚀刻液订做价格哪家蚀刻液质量比较好一点?

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    其中输送装置借由至少一呈顺时针方向转动的滚轮带动基板由喷洒装置的下端部朝向风刀装置的***风刀的下端部的方向移动。如上所述的蚀刻方法,其中风刀装置分别借由一设置于该输送装置的上端部的***风刀与一设置于该输送装置的下端部的第二风刀朝向基板的上表面与下表面吹送气体。借此,本实用新型所产生的技术效果:本实用新型的挡液板结构与以之制备的蚀刻设备主要借由具有复数个宣泄孔的挡液板结构搭配风刀装置的硬体设计,有效使风刀装置吹出的气体得以经由宣泄孔宣泄,并利用水滴的表面张力现象防止水滴由宣泄孔落下造成基板蚀刻不均等异常现象,确实达到保有原始挡液板的挡液效果,以及增加透气性以破除真空以减少因真空吸板导致的基板刮伤或破片风险等主要优势。附图说明图1:传统挡液板结构的整体设置示意图。图2:本实用新型挡液板结构其一较佳实施例的整体结构示意图。图3:本实用新型挡液板结构其一较佳实施例的宣泄孔排列示意图。图4:本实用新型挡液板结构其二较佳实施例的宣泄孔排列示意图。图5:本实用新型挡液板结构其三较佳实施例的宣泄孔排列示意图。图6:本实用新型蚀刻设备其一较佳实施例的整体结构示意图。

    本实用涉及蚀刻设备技术领域,具体为一种ito蚀刻液制备装置。背景技术:蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术,蚀刻技术分为湿蚀刻和干蚀刻,其中,湿蚀刻是采用化学试剂,经由化学反应达到蚀刻的目的,薄膜场效应晶体管液晶显示器(tft~lcd)、发光二极管(led)、有机发光二极管(oled)等行业用作面板过程中铟锡氧化物半导体透明导电膜(ito)的蚀刻通常采用盐酸和硝酸的混合水溶液。现有的制备装置在进行制备时会发***热反应,使得装置外壳稳定较高,工作人员直接接触有烫伤风险,热水与盐酸接触会产生较为剧烈的反应,溅出容易伤害工作人员,保护性不足,盐酸硝酸具有较强的腐蚀性,常规的搅拌装置容易被腐蚀,影响蚀刻液的质量,用防腐蚀的聚四氟乙烯搅拌浆进行搅拌,成本过高,且混合的效果不好。所以,如何设计一种ito蚀刻液制备装置,成为当前要解决的问题。技术实现要素:本实用新型的目的在于提供一种ito蚀刻液制备装置,以解决上述背景技术中提出的ito蚀刻液制备装置保护性不足、不具备很好的防腐蚀性和混合的效果不好的问题。为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种ito蚀刻液制备装置,包括制备装置主体、高效搅拌装置和过滤除杂装置。铜蚀刻液的配方是什么?

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    使硝酸钾储罐21和其它储罐的内部形成一个密闭的空间,避免环境外部的杂质进入储罐内,有效的提高了装置使用的密封性;紧接着,将磷酸与醋酸在个搅拌仓23中充分搅拌混合均匀,然后在第二个搅拌仓23中与硝酸充分搅拌混合均匀后,再进入配料罐中混合,将阴离子表面活性剂和聚氧乙烯型非离子表面活性剂在第三个搅拌仓23混合后再进入第四个搅拌仓23中,与氯化钾、硝酸钾、去离子水一起在第四个搅拌仓23中混合均匀,然后过滤后封装,先检查过滤板26进行更换或安装,过滤部件9的内部两侧嵌入连接有过滤板26,常规的生产方法是将蚀刻液中的各组份在同一容器中一起混合,其分散混合性能差,蚀刻液杂质含量多,过滤板26能将蚀刻液内部的杂质进行过滤,使制备出的蚀刻液的杂质被过滤板26过滤出,得到不含杂质的蚀刻液,避免多种强酸直接共混有效的减小了蚀刻液制备的安全隐患;,通过过滤部件9将蚀刻液进行过滤,过滤部件9设置有一个,过滤部件9设置在连接构件11的内侧,过滤部件9与连接构件11固定连接,过滤部件9能将制备出的蚀刻液进行过滤,且过滤部件9能将内部的过滤板26进行拆卸更换,将过滤部件9的内部进行清洗,在将过滤部件9进行连接安装时,将滑动盖24向外侧滑动。苏州口碑好的蚀刻液公司。佛山蚀刻液溶剂

上海和辉光电用的哪家的蚀刻液?无锡铜钛蚀刻液蚀刻液订做价格

一种ito蚀刻液及其制备方法、应用方法技术领域1.本技术涉及化学蚀刻技术领域,具体涉及一种ito蚀刻液及其制备方法、应用方法。背景技术:2.目前,电子器件的基板表面(例如显示器件的阵列基板)通常带有一定图案的氧化铟锡(ito)膜,以便后续给电子器件可控通电。该ito膜通常通过化学蚀刻的方法蚀刻ito材料层形成。其中,对于多晶ito(p-ito)材料,所用蚀刻液主要包括硫酸系、王水系ito蚀刻液。王水系蚀刻液成本低,但其蚀刻速度快,蚀刻的角度难以控制,且容易对ito膜的下层金属造成二次腐蚀。技术实现要素:3.有鉴于此,为克服目前存在的技术难题,本技术提供了一种ito蚀刻液及其制备方法、应用方法。4.具体地,本技术首先方面提供了一种ito蚀刻液,所述ito蚀刻液包括以下重量份数的各组分:20-22份的盐酸,6-7份的硝酸,0.5-3份的酸抑制剂,0.5-3份的表面活性剂,以及水;其中,所述酸抑制剂包括n,n-二异丙基乙胺、n,n-二异丙基乙醇胺中的至少一种;所述表面活性剂包括聚氧乙烯脂肪胺、聚氧乙烯脂肪二胺中的至少一种。5.通过对蚀刻液中硝酸及盐酸的含量进行精确限定,以实现了对王水系蚀刻液蚀刻速度的初步调控,并在一定程度上实现了对蚀刻角度的控制(蚀刻角度小于35无锡铜钛蚀刻液蚀刻液订做价格

苏州博洋化学股份有限公司是一家从事高纯双氧水,高纯异丙醇,蚀刻液,剥离液研发、生产、销售及售后的生产型企业。公司坐落在高新区华桥路155号,成立于1999-10-25。公司通过创新型可持续发展为重心理念,以客户满意为重要标准。主要经营高纯双氧水,高纯异丙醇,蚀刻液,剥离液等产品服务,现在公司拥有一支经验丰富的研发设计团队,对于产品研发和生产要求极为严格,完全按照行业标准研发和生产。苏州博洋化学股份有限公司研发团队不断紧跟高纯双氧水,高纯异丙醇,蚀刻液,剥离液行业发展趋势,研发与改进新的产品,从而保证公司在新技术研发方面不断提升,确保公司产品符合行业标准和要求。苏州博洋化学股份有限公司注重以人为本、团队合作的企业文化,通过保证高纯双氧水,高纯异丙醇,蚀刻液,剥离液产品质量合格,以诚信经营、用户至上、价格合理来服务客户。建立一切以客户需求为前提的工作目标,真诚欢迎新老客户前来洽谈业务。

蚀刻液产品展示
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