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电子氟化液是一种无色透明，无味，热稳定的全氟化液体，非常适合于半导体制造工业上的许多单相热传导应用。这样非常适合于蚀刻机、离子注入机、测试设备等许多设备上的热传导的应用。因为电子氟化液主要是单键化合物，所以组分不会随时间变化或分解，这样也使得流体损失可以降至比较低，传输性质不会随时间而变化。特点：无色、无味、无毒、不燃烧，ODP值为零；表面张力低、黏度小、蒸发潜热小。产品特性良好的溶解力低表面张力,低粘度，良好的润湿性优异的材料相容（与水不相容）良好的热稳定性,安全,不燃,ODP值为零,对臭氧无破坏,温室效应低

    （此图片来源于网络）全氟氢氟醚Fluere®3100是一种高稳定性全氟液态物质，具有高介电常数、理想的化学惰性、优良的导热性能，以及系统相容性。该产品***应用于数据中心服务器的浸没式相变液冷、还将***应用于高速列车供电逆变器、锂电池动力汽车、风力发电机、核电、特高压电网及**雷达系统的冷却散热。如应用于数据中心服务器的浸没式相变液冷，无需空调制冷，**降低机房功耗，PUE达到，较传统空调风冷节能85%以上。产品特点：²非常适中沸点（58℃），在工作过程中有蒸发过程，利用蒸发热带走热量，具有***的适用性²非危险品不然不爆，无燃点闪点²电绝缘性好，具有极高的击穿电压大于55KV。²良好的流动性，具有比清水还低的粘度²无毒无害无刺激性²环境友好型，具有0的ODP值和极低的GWP值产品物化参数：²化学名称：甲基九氟异丁基醚²介电常数：²介电强度：55KV²表面张力：(dyn/cm)²沸点：58°C²密度：(g/ml,25℃)²饱和水含量：＜40ppm²蒸发速率：49[参考标准：摩尔比=1]²闪点：无²挥发性物质百分比：100%²ODP:0²GWP:20²蒸气压：28(KPa,25°C)²蒸发潜热：112(kJ/kg)²粘度：(cSt)产品用途：***应用于电子器件发热系统。导热液（电子氟化液）蚀刻后如何判断好坏 ？

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