探针台基本参数
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探针台企业商机

据SEMI数据统计,2020年及2021年,全球半导体测试设备市场规模或将分别达到52.2亿美元及56.1亿美元。随着国内半导体技术的发展,多个晶圆厂及实验室的建立,国内探针台市场规模2019年约为10.25亿元,2022年将增长到15.69亿元。随着半导体行业的迅速发展,半导体产品的加工面积成倍缩小,复杂程度与日俱增,生产半导体产品所需的制造设备需要综合运用机械、光学、物理、化学等学科技术,具有技术壁垒高、制造难度大及研发投入高等特点。探针台属于重要的半导体测试装备,在整个半导体产业的多个环节起着重要作用,是晶圆厂和元器件封测企业的重要设备之一。随着自动化技术的飞速发展,市场对自动化探针台需求旺盛。上海勤确科技有限公司团队从用户需求出发。浙江半自动探针台加工厂家

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晶圆探针器是用于测试集成电路的机器(自动测试设备)。对于电气测试,一组称为探针卡的微观触点或探针被固定在适当的位置,同时真空安装在晶圆卡盘上的晶圆被移动到电接触状态。当一个管芯(或管芯阵列)经过电气测试后,探针台将晶片移动到下一个管芯(或管芯),下一个测试就可以开始了。晶圆探针台通常负责从载具(或盒子)装载和卸载晶圆,并配备自动模式识别光学器件,能够以足够的精度对准晶圆,以确保晶圆上的接触垫和探针针尖之间的准确对准。湖北磁场探针台哪里有由于x-y工作台的结构差别很大,所以其使用维护保养不可一概而论,应区别对待。

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x-y工作台的维护与保养:无论是全自动探针测试台还是自动探针测试台,x-y向工作台都是其很重心的部分。有数据表明探针测试台的故障中有半数以上是x-y工作台的故障,而工作台故障有许多是对其维护保养不当或盲目调整造成的,所以对工作台的维护与保养就显得尤为重要。现在只对自动探针测试台x-y工作台的维护与保养作一介绍。平面电机x-y步进工作台的维护与保养:平面电机由定子和动子组成,它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开,定子是基础平台,动子和定子间有一层气垫,动子浮于气垫上,而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的x-y工作台,由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损,使用寿命长。

滚珠丝杠副和导轨结构x-y工作台的维护与保养:由于运动部分全部采用滚动功能部件,所以具有传动效率高、摩擦力矩小,使用寿命长等特点。这种结构的工作台应放置在温度23±3℃,湿度≤70%,无有害气体的环境中,滚珠丝杠、直线导轨应定期加精密仪表油,但不可过多,值得指出的是,这种结构的工作台在装配过程中,从直线导轨的直线性,上下层工作台之间的垂直度以及工作台的重复性,定位精度等都是用专业的仪器仪表调整,用户一般情况不能轻易改变,一旦盲目调整后很难恢复到原来的状态,所以对需要调整的工作台应有专业生产厂家或经过培训的专业人员完成。上海勤确科技有限公司专业的一站式多方位贴心服务。

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探针台的分类:探针台可以按照使用类型与功能来划分,也可以按照操作方式来划分成:手动探针台、半自动探针台、全自动探针台。手动探针台:手动探针台系统顾名思义是手动控制的,这意味着晶圆载物台和卡盘、压盘、显微镜以及定位器/操纵器都是由使用者手动移动的。因此一般是在没有很多待测器件需要测量或数据需要收集的情况下使用手动探针台。该类探针台的优点之一是只需要很少的培训,易于配置环境和转换测试环境,并且不需要涉及额外培训和设置时间的电子设备、PC或软件。上海勤确科技有限公司敢于承担、克难攻坚。四川芯片探针台

晶圆测试一般在晶圆厂、封测厂或专门的测试代工厂进行,主要用到的设备为测试机和探针台。浙江半自动探针台加工厂家

探针台需要特别注意的是在未加压缩空气时不可强行拉动动子,以免造成定子及动子的损伤。平面电机应使用在环境温度15~25℃,相对湿度小于50%的环境中,其所需的压缩空气必须经过干燥过滤处理且与环境空气温度差值小于5℃,气压为0.4±0.04MPa。相对于平面电机工作台,丝杠导轨结构的工作台结构组成较复杂,工作台由上层(x向)及下层(y向)两部分组成。工作台由两个步进电机分别驱动x、y向精密滚珠丝杠副带动工作台运动,导向部分采用精密直线滚动导轨。浙江半自动探针台加工厂家

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