探针台可以将电探针、光学探针或射频探针放置在硅晶片上,从而可以与测试仪器/半导体测试系统配合来测试芯片/半导体器件。这些测试可以很简单,例如连续性或隔离检查,也可以很复杂,包括微电路的完整功能测试。可以在将晶圆锯成单个管芯之前或之后进行测试。在晶圆级别的测试允许制造商在生产过程中多次测试芯片器件,这可以提供有关哪些工艺步骤将缺陷引入终端产品的信息。它还使制造商能够在封装之前测试管芯,这在封装成本相对于器件成本高的应用中很重要。探针台还可以用于研发、产品开发和故障分析应用。探针台存放在氮气柜中,防止探针的加快氧化。甘肃测试芯片探针台报价
探针台是半导体(包括集成电路、分立器件、光电器件、传感器)行业重要的检测装备之一,其普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。通过与测试仪器的配合,探针台将参数特性不符合要求的芯片记录下来,在进入后序工序前予以剔除,极大降低器件的制造成本。探针台主要用于晶圆制造环节的晶圆检测、芯片研发和故障分析等应用。半导体测试可以按生产流程可以分为三类:验证测试、晶圆测试测试、封装检测。晶圆检测环节需要使用测试仪和探针台,测试仪/机用于检测芯片功能和性能,探针台实现被测芯片与测试机的连接,通过探针台和测试机的配合使用对晶圆上的裸芯片进行功能和电参数测试或射频测试,可以对芯片的良品、不良品的进行筛选。江苏手动探针台探针台是一种辅助执行机构。
对于当今的多芯片(multi-die packages)封装,例如堆叠芯片级封装(SCSP)或系统级封装(SiP)–开发用于识别已知测试芯片(KTD)和已知良好芯片(KGD)的非接触式(RF)探针对提高整体系统产量至关重要。晶圆探针台还可以在晶圆划片线上执行任何测试电路。一些公司从这些划线测试结构中获得大部分有关器件性能的信息。当特定芯片的所有测试图案都通过时,它的位置会被记住,以便以后在IC封装过程中使用。有时,芯片有内部备用资源可用于修复(即闪存IC);如果它没有通过某些测试模式,则可以使用这些备用资源。
X系列探针台:1、基板采用铸件为基准进行设计,使运动的稳定性得到提升,底板的重量同样在隔震性能上得到提高。2、运动系统采用的是日系高刚性、高精密的导轨和丝杆;反馈检测系统采用的是0.1μm分辨率光栅尺配合进口运动控制卡与电机形成整个闭环的反馈检测,以保证实现高精度高温度性的运动系统。3、整个四维运动设计成低重心的紧凑结构,保证其速率能到达70mm/s,并能提高运动过程中的加速。4、关键零件用导电的表面处理,保证每个位置能进行接地保护。探针台把晶圆片安放在一个可移动的金属板上。
平面电机x-y步进工作台:平面电机由定子和动子组成,它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开,定子是基础平台,动子和定子间有一层气垫,动子浮于气垫上,而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的x-y工作台,由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损,使用寿命长。而定子在加工过程中生产厂家根据不同的设计要求如分辨力等,用机加工的方法在一平面的铁制铸件上加工出若干个线槽,线槽间的距离即称为平面电机的齿距,而定子则按不同的细分控制方式,按编制好的运行程序借助于平面定子和动子之间的气垫才能实现步进运动。探针台用于晶圆加工之后、封装工艺之前的CP测试环节。江西芯片测试探针台一般多少钱
负责晶圆的输送与定位,使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。甘肃测试芯片探针台报价
探针台工作台由两个步进电机分别驱动x、y向精密滚珠丝杠副带动工作台运动,导向部分采用精密直线滚动导轨。由于运动部分全部采用滚动功能部件,所以具有传动效率高、摩擦力矩小,使用寿命长等特点。这种结构的工作台应放置在温度23±3℃,湿度≤70%,无有害气体的环境中,滚珠丝杠、直线导轨应定期加精密仪表油,但不可过多,值得指出的是,这种结构的工作台在装配过程中,从直线导轨的直线性,上下层工作台之间的垂直度以及工作台的重复性,定位精度等都是用专业的仪器仪表调整,用户一般情况不能轻易改变,一旦盲目调整后很难恢复到原来的状态,所以对需要调整的工作台应有专业生产厂家或经过培训的专业人员完成。甘肃测试芯片探针台报价