半导体测试是半导体生产过程中的重要环节,其测试设备包括测试机、分选机、探针台。其中,测试机是检测芯片功能和性能的专业设备,分选机和探针台是将芯片的引脚与测试机的功能模块连接起来的专业设备,与测试机共同实现批量自动化测试。受益于国内封装测试业产能扩张,半导体测试设备市场快速发展。作为半导体封测行业三大设备之一,探针台主要应用于半导体行业以及光电行业的晶圆、芯片等器件的测试,研发难度大,国产化率低,进口依赖度高,它的品质和精度直接决定测试可靠性与否。手动或者自动移动晶圆片,并通过探针卡实现这一部分的电子线路连接。青海自动探针台配件厂家
晶圆测试是在半导体器件制造过程中执行的一个步骤。在此步骤中,在将晶圆送至芯片准备之前执行,晶圆上存在的所有单个集成电路都通过对其应用特殊测试模式来测试功能缺陷。晶圆测试由称为晶圆探针器的测试设备执行。晶圆测试过程可以通过多种方式进行引用:晶圆终端测试(WFT)、电子芯片分类(EDS)和电路探针(CP)可能是很常见的。晶圆探针器是用于测试集成电路的机器(自动测试设备)。对于电气测试,一组称为探针卡的微观触点或探针被固定在适当的位置,同时真空安装在晶圆卡盘上的晶圆被移动到电接触状态。黑龙江芯片探针台供应探针台是半导体(包括集成电路、分立器件、光电器件、传感器)行业重要的检测装备之一。
手动探针台:普遍应用于,科研单位研发测试、院校教学操作、企业实验室芯片失效分析等领域。一般使用于研发测试阶段,批量不是很大的情况,大批量的重复测试推荐使用探卡。主要功能:搭配外接测试测半导体参数测试仪、示波器、网分等测试源表,量测半导体器件IV CV脉冲/动态IV等参数。用途:以往如果需要测试电子元器件或系统的基本电性能(如电流、电压、阻抗等)或工作状态,测试人员一般会采用表笔去点测。随着电子技术的不断发展,对于精密微小(纳米级)的微电子器件,表笔点到被测位置就显得无能为力了。于是一种高精度探针座应运而生,利用高精度微探针将被测原件的内部讯号引导出来,便于其电性测试设备(不属于本机器)对此测试、分析。
晶圆探针器是用于测试集成电路的机器(自动测试设备)。对于电气测试,一组称为探针卡的微观触点或探针被固定在适当的位置,同时真空安装在晶圆卡盘上的晶圆被移动到电接触状态。当一个管芯(或管芯阵列)经过电气测试后,探针台将晶片移动到下一个管芯(或管芯),下一个测试就可以开始了。晶圆探针台通常负责从载具(或盒子)装载和卸载晶圆,并配备自动模式识别光学器件,能够以足够的精度对准晶圆,以确保晶圆上的接触垫和探针针尖之间的准确对准。测试完成后,探针卡于芯片分离,如果芯片不合格,则会在其**做上标记。
探针台可以将电探针、光学探针或射频探针放置在硅晶片上,从而可以与测试仪器/半导体测试系统配合来测试芯片/半导体器件。这些测试可以很简单,例如连续性或隔离检查,也可以很复杂,包括微电路的完整功能测试。可以在将晶圆锯成单个管芯之前或之后进行测试。在晶圆级别的测试允许制造商在生产过程中多次测试芯片器件,这可以提供有关哪些工艺步骤将缺陷引入终端产品的信息。它还使制造商能够在封装之前测试管芯,这在封装成本相对于器件成本高的应用中很重要。探针台还可以用于研发、产品开发和故障分析应用。诚信是企业生存和发展的根本。吉林全自动探针台机构
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全自动探针台相比手动探针台和自动探针台两种添加了晶圆材料处理搬运单元(MHU)和模式识别(自动对准)。负责晶圆的输送与定位,使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。可以24小时连续工作,通常用于芯片量产或有一些特殊要求如处理薄晶圆、封装基板等。全自动探针台价格也是远比手动/半自动探针台要昂贵。软件为探针台系统增加了很多功能,使用者可以通过软件或机械操纵杆以各种速度向任何方向移动载物台,程序可以设置映射以匹配器件,可以选择要检测的器件。青海自动探针台配件厂家