自动化探针台搭配测试机能够对出厂晶圆片的电气参数、光学参数进行测试,根据测试结果评定上一道工序的工艺质量,并指导下一道工序。从全球市场看,半导体探针台设备行业集中度较高,目前主要由国外厂商主导,行业呈现较高垄断的竞争格局。鉴于自动化探针台是光、机、电高度一体化的产品,国内在这一方向研究几乎为零,市场主要被一些国外的大公司垄断。2017年投产X系列半自动探针台并成功推向市场,成功填补国内该研发生产领域的空白。圆片移动到下一个芯片的位置,这种方法可以让圆片上的每一个芯片都经过测试。山西自动探针台多少钱
探针测试台x-y工作台的分类:纵观国内外的自动探针测试台在功能及组成上大同小异,即主要由x-y向工作台,可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成,并配有与测试仪(TESTER)相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可为两大类,即:平面电机型x-y工作台(又叫磁性气浮工作台)自动探针测试台和以采用精密滚珠丝杠副和直线导轨结构的x-y工作台型自动探针测试台。由于x-y工作台的结构差别很大,所以其使用维护保养不可一概而论,应区别对待。重庆自动探针台报价探针卡常见故障分析及维护方法:芯片测试是IC制造业里不可缺少的一个重要环节。
探针台的分类:探针台可以按照使用类型与功能来划分,也可以按照操作方式来划分成:手动探针台、半自动探针台、全自动探针台。手动探针台:手动探针台系统顾名思义是手动控制的,这意味着晶圆载物台和卡盘、压盘、显微镜以及定位器/操纵器都是由使用者手动移动的。因此一般是在没有很多待测器件需要测量或数据需要收集的情况下使用手动探针台。该类探针台的优点之一是只需要很少的培训,易于配置环境和转换测试环境,并且不需要涉及额外培训和设置时间的电子设备、PC或软件。
半自动探针台主要应用于需要精确运动、可重复接触和采集大量数据的场合。一些公司也使用半自动探针系统来满足其小批量生产要求。半自动探针系统的组成部件大部分与手动探针台相似,但载物台和控制装置除外。晶圆载物台通常是可编程的,并通过软件与电子控制器来控制移动与方位。软件为探针台系统增加了很多功能,使用者可以通过软件或机械操纵杆以各种速度向任何方向移动载物台,程序可以设置映射以匹配器件,可以选择要检测的器件。上海勤确科技有限公司周边生态环境状况好。
以往如果需要测试电子元器件或系统的基本电性能(如电流、电压、阻抗等)或工作状态,测试人员一般会采用表笔去点测。随着电子技术的不断发展,对于精密微小(纳米级)的微电子器件,表笔点到被测位置就显得无能为力了。于是一种高精度探针座应运而生,利用高精度微探针将被测原件的内部讯号引导出来,便于其电性测试设备(不属于本机器)对此测试、分析。探针台执行机构由探针座和探针杆两部分组成.在探针座有X-Y-Z三向调节旋钮,控制固定在针座上的探针杆做三向移动,移动范围12mm,移动精度可以达到0.7微米。这样可以把探针很好的点到待测点上(说明探针是耗材,一般客户自己准备),探针探测到的信号可以通过探针杆上的电缆传输到与其连接的测试机上,从而得到电性能的参数。对于重复测试同种器件,多个点位的推荐使用探针台安装探卡进行测试。探针台可吸附多种规格芯片,并提供多个可调测试针以及探针座。江西半自动探针台生产厂家
晶圆级半自动面内磁场探针台详细参数:垂直或面内磁场探针台,通用性设计;容纳12寸晶圆。山西自动探针台多少钱
晶圆级半自动面内磁场探针台详细参数:垂直或面内磁场探针台,通用性设计;容纳12寸晶圆,且向下兼容8寸、6寸、碎片;兼容4组探针(RF或DC测试);提供Z轴探针平台快速升降功能,实现高效测试;磁场强度≥330 mT;直流探针(4组)或微波探针(4组);XY电控行程±150 mm,调节精度2μm;T轴手动调节±5°,小至调节精度5’。晶圆级半自动二维磁场探针台:详细参数可对晶圆施加垂直或面内磁场,兼容性设计;容纳12寸晶圆,且向下兼容8寸、6寸、碎片;兼容4组探针(RF或DC测试);提供Z轴探针平台快速升降功能,实现高效测试;磁场强度≥0.7 T;直流探针(4组)或微波探针(4组);XY电控行程±150 mm,调节精度2μm;T轴手动调节±5°,小到调节精度5’。山西自动探针台多少钱