半导体生产过程中的探测,可略分为三大类:1.参数探测:提供制造期间的装置特性测量;2.晶圆探测:当制造完成要进行封装前,在一系列的晶圆上(wafer sort)测试装置功能;3.以探针台为基础的晶圆处理探测(Final Test):在出货给顾客前,对封装完成的装置做后的测试。晶圆在通过基本的特性测试后,即进入晶圆探测阶段,此时需要用复杂的机器、视觉及软件来侦测晶圆上的每颗裸晶,精确度约在±2.0μm之间。将晶圆探针台的输入输出探针垫片(I/O pads)放在接脚和探针卡正确对应的晶圆后,探针台会将晶圆向上挪动,使其电气和连接于测试仪上的探针卡接触,以进行探测。当测试完成,则会自动将下一个待测晶圆替换到探针卡下面,如此周而复始地循环着。上海勤确科技有限公司探针卡使用一段时间后,由于探针加工及使用过程中的微小差异导致所有探针不能在同一平面上会造成。全自动探针台配件厂家
测试探针市场被国外厂商占据:众所周知,国内半导体产业与国际的差距是全部的,尤其是在好的领域,而好的芯片也是注重测试环节领域。因此,与好的芯片的供应情况一样,芯片测试及其测试治具、测试探针等市场均被欧美、日韩、等地区的厂商占据。长期以来,国内探针厂商均处于中低端领域,主要生产PCB测试探针、ICT测试探针等产品。近年来,伴随着资本运作和技术升级,长电科技、华天科技、通富微电已进入全球封测企业**强,技术上已基本实现进口替代。同时,为表示的公司正加快将订单转移给国内供应商,芯片测试领域也展现了前所未有的繁荣景象。智能探针台生产厂家探针台的维护与保养就显得尤为重要。
探针台概要:晶圆探针台是在半导体开发和制造过程中用于晶片电气检查的设备。在电气检查中,通过探针或探针卡向晶片上的各个设备提供来自测量仪器或测试器的测试信号,并返回来自设备的响应信号。在这种情况下,晶片探测器用于输送晶片并接触设备上的预定位置。探针台是检测芯片的重要设备,在芯片的设计验证阶段,主要工作是检测芯片设计的功能是否能够达到芯片的技术指标,在检测过程中会对芯片样品逐一检查,只有通过设计验证的产品型号才会量产。晶圆测试一般在晶圆厂、封测厂或专门的测试代工厂进行,主要用到的设备为测试机和探针台。
“精确度”是探测仪器基本的指针,涵盖定位、温度及生产率等三个层面。首先,必须能稳定、精确地探测到小型垫片,载台系统亦须精确、能直接驱动晶圆托盘,并在晶圆移动的过程中准确地将晶圆和晶圆对位;其次,必须具备动态监控机制,确保所挟带的空气以监控温度、掌握可靠度和稳定性;后,必须对高产出的进阶移动做动态控制才能拥有佳的终结果。整体而言,针脚和垫片之间的相应精确度应在±1.5μm之间。随着新工艺的微缩,为了强化更小晶粒定位的精确性,需要动态的Z轴辅助校正工作,以避免无谓的产出损失。某些针尖位置高的扎不上AL层,使测试时这些针上电路不通。
探针台是半导体行业、光电行业、集成电路以及封装等行业的一种测试设备,主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。探针台是利用探针直接与测试对象的焊垫或凸块等直接接触,引出讯号,达到测试的目的。探针台普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。关于探针台电学量测使用的探外地,测试针,是用于测试PCBA的一种探针,主要做为电学信号的输入。通常探针是由钨制成的,它如果长期不用,针尖要形起氧化。全自动探针台配件厂家
探针卡是自动测试仪与待测器件之间的接口。全自动探针台配件厂家
接触电阻即探针尖与焊点之间接触时的层间电阻。通常不能给出具体的指标,因为实际的接触电阻很难测量。一般,信号路径电阻被用来替代接触电阻,而且它在众多情况下更加相关。在检测虚焊和断路的时候,探针卡用户经常需要为路径电阻指定一个标称值。信号路径电阻是从焊点到测试仪的总电阻,即接触电阻、探针电阻、焊接电阻、trace电阻、以及弹簧针互连电阻的总和。但是,接触电阻是信号路径电阻的重要组成部分。测试信号的完整性需要高质量的探针接触,这与接触电阻(CRes)直接相关。全自动探针台配件厂家
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