探针台基本参数
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探针台企业商机

初TI退休工程师杰克·基比(Jack St. Clair Kilby)发明颗单石集成电路,为现代半导体领域奠定基础时,晶圆直径不过1.25英寸~2英寸之间,生产过程多以人工方式进行。随着6英寸、8英寸晶圆的诞生,Align/Load的校准工作和一些进阶检测也开始自动化;直到12英寸晶圆成形,可谓正式迈入 “单键探测”(One Button Probing)的全部自动化时代,就连传输也开始借助机器辅助;但此时的测试大都是转包给专业的厂商做,且大部分是着重在如何缩短工艺开发循环的参数测试上。探针台测试时参数测不稳,为了不使它氧化,我们平时必须保护好探针卡,把它放在卡盒里。福建测试芯片探针台公司

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探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。晶圆测试是芯片制造产业中一个重要组成部分,是主要的芯片良品率统计方法之一。随着晶圆片直径的逐渐增大且密度逐渐提高,晶圆测试的难度和成本也越来越高,也使得芯片需要更长的测试时间以及更加精密复杂的机械装置和计算机系统来执行测试工作和监控测试结果。福建测试芯片探针台公司探针台测片子时,用细砂子轻轻打磨针尖并通以氮气,减缓氧化过程。

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某些针尖位置低的扎伤AL层,对后续封装压焊有影响,使芯片与封装后成品管脚焊接质量差,容易引起短路.某些针尖压痕太长,超出PAD范围,使PAD周围的铝线短路.所以平时我们操作时应找准接触点,把过行程设置为2~4MILS或70~100UM时,每个压点都有很清楚的针迹,然后再把过行程设置为0时,看清楚每个压点上都有轻轻的针迹,如果某些压点上没有针迹,就需要用镊子把这根针压下,如果某些压点上针迹太重,而需要有镊子把这根针往上抬一下,使针尖的高度差调在30UM以内,然后做接触检查,每根针与压点接触电阻应小于0.5欧姆,样片/样管测试是否OK,合格、失效管芯各测10遍,看重复性与稳定性。

探针台的使用:1、将样品载入真空卡盘,开启真空阀门控制开关,使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。2、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台,在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。3、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。4、显微镜切换为高倍率物镜,在大倍率下找到待测点,再微调显微镜聚焦和样品,将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢,以防动作过大误伤芯片,当探针针尖悬空于被测点上空时,可先用Y轴旋钮将探针退后少许,再使用Z轴旋钮进行下针,后则使用X轴旋钮左右滑动,观察是否有少许划痕,证明是否已经接触。探针材质、探针直径、光束长度、和尖锥长度都在决定顶端压力时起重要的作用。

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在实际使用中,探针的接触电阻在很大程度上取决于焊点的材料、清洗的次数、以及探针的状况,而且它同标称值相差较多。其中钨铼合金(97%-3%)的接触电阻比钨稍高,抗疲劳性相似。但是,由于钨铼合金的晶格结构比钨更加紧密,其探针顶端的平面更加光滑。因此,这些探针顶端被污染的可能性更小,更容易清洁,其接触电阻也比钨更加稳定。所以钨铼合金是一种更佳的选择。但是,接触电阻是信号路径电阻的重要组成部分。即接触电阻、探针电阻、焊接电阻、trace电阻、以及弹簧针互连电阻的总和。随着探针接触到焊点金属的亚表层,这些效应将增加。福建测试芯片探针台公司

探针台可编程承片台则安装在动子之上。福建测试芯片探针台公司

探针卡常见故障分析及维护方法:芯片测试是IC制造业里不可缺少的一个重要环节。芯片测试是为了检验规格的一致性而在硅片集成电路上进行的电学参数测量。硅片测试的目的是检验可接受的电学性能。测试过程中使用的电学规格随测试的目的而有所不同。如果发现缺陷,产品小组将用测试数据来确保有缺陷的芯片不会被送到客户手里,并通过测试数据反馈,让设计芯片的工程师能及时发现并纠正制作过程中的问题。通常用户得到电路,直接安装在印刷电路板(PCB)上,PCB生产完毕后,直接对PCB进行测试。这时如果发现问题,就需要复杂的诊断过程和人工分析,才能找到问题的原因。福建测试芯片探针台公司

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