探针台是半导体行业、光电行业、集成电路以及封装等行业的一种测试设备,主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。探针台是利用探针直接与测试对象的焊垫或凸块等直接接触,引出讯号,达到测试的目的。探针台普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。关于探针台电学量测使用的探外地,测试针,是用于测试PCBA的一种探针,主要做为电学信号的输入。随着探针开始接触并逐渐深入焊点氧化物和污染物的表层,接触电阻减小而电流流动迅速开始。甘肃温控探针台公司
半导体生产过程中的探测,可略分为三大类:1.参数探测:提供制造期间的装置特性测量;2.晶圆探测:当制造完成要进行封装前,在一系列的晶圆上(wafer sort)测试装置功能;3.以探针台为基础的晶圆处理探测(Final Test):在出货给顾客前,对封装完成的装置做后的测试。晶圆在通过基本的特性测试后,即进入晶圆探测阶段,此时需要用复杂的机器、视觉及软件来侦测晶圆上的每颗裸晶,精确度约在±2.0μm之间。将晶圆探针台的输入输出探针垫片(I/O pads)放在接脚和探针卡正确对应的晶圆后,探针台会将晶圆向上挪动,使其电气和连接于测试仪上的探针卡接触,以进行探测。当测试完成,则会自动将下一个待测晶圆替换到探针卡下面,如此周而复始地循环着。上海手动高低温探针台探针测试这一过程是非常精密的,要有很高的专业水平和经验才能完成。
铼钨探针的针尖尖部经过特殊工艺加工而成,针锥精度高,具有厉害度和弹性模量,产品更耐磨、更耐腐蚀,表面光滑无伤,光洁度可达到Ra0.25以下,几乎为镜面。铼钨探针有不同的针尖类型,即不同的尖部形状,例如,针尖带平台,针尖完全尖以及针尖为圆弧;探针直径为0.05-1.2mm,长度为15-300mm,尖部为0.08-100μm。铼钨探针主要应用于半导体、LED、LCD等行业,应用于探针卡、探针台、芯片测试、晶圆测试和LED芯片测试等领域。上海勤确科技有限公司。
晶圆探针测试台是半导体工艺线上的中间测试设备,与测试仪连接后,能自动完成对集成电路及各种晶体管芯电参数和功能的测试。随着对高性能、多功能、高速度、低功耗、小型化、低价格的电子产品的需求日益增长,这就要求在一个芯片中集成更多的功能并进一步缩小尺寸,从而大片径和高效率测试将是今后晶圆探针测试台发展的主要方向。因此,传统的手动探针测试台和半自动探针测试台已经不能满足要求,取而代之的是高速度,高精度,高自动化,高可靠性的全自动晶圆探针测试台。探针卡上有细小的金属探针附着,通过降低探针高度或升高芯片的高度使之和芯片上的焊盘接触。
如何将探针连接至待测点:(1) 显微镜小倍数物镜下找到待测点(或附近的位置),使待测点成像清晰。(2) 确认定位器XYZ三轴均中间行程位置(即各轴导轨端面螺丝对齐)。Z轴也可略向上错开3mm左右。(3) 安装并调节好探针的高度,侧向平视,观察探针与样品台(或样品)间的距离(大概5mm,或略小于5mm)。可通过调节探针臂或探针臂适配器的高度进行粗调定位。(4) 移动定位器,将所有探针移动至显微镜光斑下。此时通过目镜观察可看到探针的虚影(探针成像未实体化)。系统在测试每个芯片的时候对芯片的好坏与否进行判断,发出合格与不合格的信号。甘肃温控探针台公司
探针卡使芯片与封装后成品管脚焊接质量差,容易引起短路。甘肃温控探针台公司
在实际使用中,探针的接触电阻在很大程度上取决于焊点的材料、清洗的次数、以及探针的状况,而且它同标称值相差较多。其中钨铼合金(97%-3%)的接触电阻比钨稍高,抗疲劳性相似。但是,由于钨铼合金的晶格结构比钨更加紧密,其探针顶端的平面更加光滑。因此,这些探针顶端被污染的可能性更小,更容易清洁,其接触电阻也比钨更加稳定。所以钨铼合金是一种更佳的选择。但是,接触电阻是信号路径电阻的重要组成部分。即接触电阻、探针电阻、焊接电阻、trace电阻、以及弹簧针互连电阻的总和。甘肃温控探针台公司
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