探针台基本参数
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探针台企业商机

半导体生产过程中的探测,可略分为三大类:1.参数探测:提供制造期间的装置特性测量;2.晶圆探测:当制造完成要进行封装前,在一系列的晶圆上(wafer sort)测试装置功能;3.以探针台为基础的晶圆处理探测(Final Test):在出货给顾客前,对封装完成的装置做后的测试。晶圆在通过基本的特性测试后,即进入晶圆探测阶段,此时需要用复杂的机器、视觉及软件来侦测晶圆上的每颗裸晶,精确度约在±2.0μm之间。将晶圆探针台的输入输出探针垫片(I/O pads)放在接脚和探针卡正确对应的晶圆后,探针台会将晶圆向上挪动,使其电气和连接于测试仪上的探针卡接触,以进行探测。当测试完成,则会自动将下一个待测晶圆替换到探针卡下面,如此周而复始地循环着。探针尖接触电阻即探针尖与焊点之间接触时的层间电阻。河南直流探针台供应商

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探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。探针台从操作上来区分有:手动,半自动,全自动。从功能上来区分有:温控探针台,真空探针台(很低温探针台),RF探针台,LCD平板探针台,霍尔效应探针台,表面电阻率探针台。经济手动型根据客户需求定制:chuck尺寸:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可选);移动行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可选);chuck Z轴方向升降10mm(选项)方便探针与样品快速分离;显微镜:金相显微镜、体式显微镜、单筒显微镜(可选);显微镜移动方式:立柱环绕型、移动平台型、龙门结构型(可选);探针座:有0.7um、2um、10um精度可选,磁性吸附带磁力开关;可搭配Probe card测试;适用领域:晶圆厂、研究所、高校等。吉林自动探针台机构探针台并通过测试数据反馈,让设计芯片的工程师能及时发现并纠正制作过程中的问题。

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近来出现的一种选择是使用同轴射频电缆安装探针,它结合了探针台准确性和可重复性的功能以及用探针可及性的功能。这些探针的边缘类似于探针台探针夹具——接地-信号-接地(GSG)或者接地-信号(GS)——一端带有pogo-pin探针,另一端带有典型的同轴连接器。这些新型探针可以达到40 GHz,回波损耗优于10 dB。探针的针距范围在800微米到1500微米之间,这些探针通常使用的终端是3.5毫米母头或2.92毫米母头同轴连接器。与探针台一样,可以在特定的测试区域中设计一个影响小的焊盘端口,或者可以将探针放置在靠近组件的端子或微带传输线上。

在实际使用中,探针的接触电阻在很大程度上取决于焊点的材料、清洗的次数、以及探针的状况,而且它同标称值相差较多。其中钨铼合金(97%-3%)的接触电阻比钨稍高,抗疲劳性相似。但是,由于钨铼合金的晶格结构比钨更加紧密,其探针顶端的平面更加光滑。因此,这些探针顶端被污染的可能性更小,更容易清洁,其接触电阻也比钨更加稳定。所以钨铼合金是一种更佳的选择。但是,接触电阻是信号路径电阻的重要组成部分。即接触电阻、探针电阻、焊接电阻、trace电阻、以及弹簧针互连电阻的总和。探针尖如果氧化,接触电阻变大。

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探针台主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台,探针台可吸附多种规格的芯片,并提供多个可调测试及探卡测试针台座,配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。根据导电性,材料被分为像铜一样导电的导体,像陶瓷一样不导电的绝缘体,还有导电性介于两者间的半导体。近,“半导体”也常被用来称呼利用半导体的特性制成的集成电路。探针台存放在氮气柜中,防止探针的加快氧化。上海控温探针台

探针卡使芯片与封装后成品管脚焊接质量差,容易引起短路。河南直流探针台供应商

探针台为研究和工程实验室在测试运行期间移动通过多个温度点时,提供前所未有的自动化水平。这种新技术使探针系统能够感知,学习和反应以多温度和特征的极其复杂的环境。随着集成电路产品不断进入汽车应用等更高发热量的环境,在越来越宽的温度范围内表征器件性能和耐用性变得越来越重要。以前,大多数芯片在两个温度点进行晶圆级测试,通常为20˚C(室温)和90˚C。现在,该范围已经扩大到-40˚C至125˚C,并且可能需要在此范围内的四个温度步骤中进行一整套测试。某些情况下需要更普遍的范围,如-55˚C至200˚C,晶圆可靠性测试可能要求高达300˚C的温度。河南直流探针台供应商

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