合肥微机电系统MEMS微纳加工能力

微机电系统（MEMS，Micro-Electro-MechanicalSystems）是一种将微型机械结构、传感器、执行器与电子电路集成在单一芯片上的技术。其**是通过微纳加工工艺（如光刻、薄膜沉积、离子刻蚀等），在硅基或其他材料上制造出尺寸在微米至毫米级别的三维可动结构。这些结构能够感知或操控物理量（如压力、加速度、温度等），并通过嵌入式电路实现信号处理与通信。MEMS的制造技术借鉴了半导体工艺，但增加了机械部件的设计，例如通过深反应离子刻蚀（DRIE）形成悬臂梁、空腔或微型齿轮。这种技术的高度集成性使得MEMS器件在体积、功耗和成本上***优于传统机电系统，同时具备高灵敏度和快速响应能力，成为现代智能设备的**组件之一。启朴芯微的生产过程中严格遵守MEMS微纳加工国际标准，根据客户方需求严格把关，质量优先！合肥微机电系统MEMS微纳加工能力

宁波启朴芯微系统技术有限公司成立于2022年9月，是一家专注于像元级光谱和偏振超维光学芯片及光学系统解决方案的科技研发型企业，自主可控国内首条8英寸MEMS研发中试ODM产线，具备光刻、深硅刻蚀、键合、PVD、ALD、湿法腐蚀与清洗、氧化退火、CMP、激光隐形切割、SEM、FIB等加工与测试能力，兼容8/6/4英寸晶圆级微纳加工。作为一个兼具产品开发能力和技术加工能力的科技型企业，本着“斫雕为朴，芯程再启”的企业宗旨，启朴芯微将展示在MEMS产品设计、晶圆加工、工艺检验等不同环节的技术服务能力，包括但不限于既往的光刻、深硅刻蚀、键合、湿法腐蚀与清洗、氧化退火、激光隐形切割、光谱椭偏测试、傅里叶红外光谱测试、探针台阶测试等服务方案和应用成果。合肥微机电系统MEMS微纳加工能力启朴芯微始终致力于光学、流动测量等领域的MEMS器件及系统开发。

启朴芯微团队自主研发的消高反光特种视觉检测系统，是工业检测领域的一次**。它的出现，解决了传统检测方法中的诸多难题。通过像素级定标技术和先进的半导体加工工艺，实现了图像的精细分析和产品的高精度定位组装。过杀率和误判率的降低，提高了检测效率和产品质量。这一系统的成功应用，不仅为企业带来了经济效益，还提升了我国在工业检测领域的国际竞争力。同时，它也为其他领域的技术创新提供了借鉴和参考。宁波启朴芯微的8英寸MEMS规模化加工服务ODM产线，是我国芯片产业发展的重要支撑。它的建立，标志着我国在芯片制造领域取得了重大突破。先进的设备和完善的设施，为芯片的研发和制造提供了有力的保障。服务200余家高校、科研院所和科创企业的成绩，彰显了其在行业内的**地位。获批浙江省MEMS传感芯片定制加工服务型示范平台、宁波市重点实验室、浙江省重点实验室等荣誉，更是对其实力的高度肯定。这条产线的发展，将推动我国芯片产业向更高水平迈进。

在MEMS智能制造与智能传感装备设计研究领域，启朴芯微拥有一支由专业博士组成的精英团队，曾多次获得**、省部级技术发明奖项，并参与国家标准制定，在微纳传感器件的设计、制造、应用领域经验丰富。自成立以来，本着“斫雕为朴，芯程再启”的宗旨，启朴芯微持续参与MEMS智能制造与智能传感装备的设计研究，已形成多项发明专利、实用新型专利，团队凭借深厚的学术背景和丰富的实践经验，不断攻克技术难关，推动公司产品和服务的持续升级，赢得了广大客户的信赖和支持。满足客户对于高性能、高精度产品服务的需求，是宁波启朴芯微的团队原则。

宁波启朴芯微自主可控国内首条8英寸MEMS规模化加工服务ODM产线，实验区内设置有激光隐切机、光刻机、深硅刻蚀机、电子束蒸镀仪、键合机、湿法腐蚀系统、磁控溅射仪、原子层沉积设备、化学机械抛光机、自动涂胶显影系统等整套技术设备，加工区域1000余平方米，具备**研发室、光学实验室，配套百级/万级室内MEMS加工无菌车间、微纳加工实验室，可以***支持8英寸（兼容4/6英寸）晶圆级MEMS技术研发和加工制造，自建立以来已服务200余家高校、科研院所和科创企业，并先后成功获批浙江省MEMS传感芯片定制加工服务型示范平台、宁波市重点实验室、浙江省重点实验室等。公司持续构建具有凝聚力、自驱力的智能传感领域工程师队伍。合肥微机电系统MEMS微纳加工能力

以中长期合作项目为依托，启朴芯微积极与客户开展技术开发、团队平台建设和合作互信！合肥微机电系统MEMS微纳加工能力

启朴芯微拥有先进的8英寸MEMS研发与微纳加工服务中试线，实验区内设置有激光隐切机、光刻机、深硅刻蚀机、电子束蒸镀仪、键合机、湿法腐蚀系统、磁控溅射仪、原子层沉积设备、化学机械抛光机、自动涂胶显影系统等整套技术设备，配套百级/万级室内MEMS加工无菌车间、微纳加工实验室，可以全支持8英寸（兼容4/6英寸）晶圆级加工，生产过程中严格遵守企业内部生产定标准与客户方需求，遵循生产员与质检员登记对接制度，针对不同业务进度进行检验工作。合肥微机电系统MEMS微纳加工能力