大连高精度MEMS微纳加工与成果转化

宁波启朴芯微系统技术有限公司（以下简称“启朴芯微”）是一家专注于微机电系统（MEMS）技术研发与产业化的****，成立于西北工业大学宁波研究院的孵化体系中，并在短时间内凭借技术创新与产业化能力快速崛起。公司聚焦MEMS器件设计、工艺开发及代工服务，拥有自主可控的8英寸MEMS工艺产线，兼容6/4英寸晶圆级加工，覆盖光刻、深硅刻蚀、薄膜沉积、晶圆键合、激光切割等**工艺能力，为行业提供从结构设计到封装测试的全链条服务36。其技术团队在MEMS领域经验丰富，尤其在光学类与SOI（绝缘体上硅）特色工艺方面具备***优势，例如通过原子层沉积（ALD）技术实现高精度薄膜制备，提升器件性能与可靠性。启朴芯微，由市场人员负责对接客户方前后需求，建立生产人员直接沟通渠道，保障客户项目安全！大连高精度MEMS微纳加工与成果转化

启朴芯微始终保持对光学传感技术的热情和专注，不断追求技术的突破和升级，提升产品质量和服务水平，以质量的产品和服务赢得客户的信任和支持。同时以更加开放的姿态和更加务实的行动，加强与高校、科研院所和企业的合作与交流，携手合作伙伴共同推动光学传感技术的研发和应用，为推动国内光学传感产业的自主可控和持续发展贡献力量。在产品方面，启朴芯微专注于自主研发像元级光谱和偏振超维光学滤波芯片及光学系统，通过定制开发、项目互补与公司直营相结合的方式，打造小型化、集成化的高分辨率特种光学相机模组和光学检测解决方案，切实满足客户对于高性能、高精度产品服务的需求，在工业视觉检测、影像医学器械、汽车超维视觉、环境与食品安全检测等领域具有广泛应用前景。湖南光学传感芯片MEMS微纳加工个性化服务以MEMS光功能芯片为中心，加以启朴芯微前沿技术的支撑，让传感更智能。

启朴芯微团队在科技探索的道路上从未停歇，他们持续攻关，不断突破技术瓶颈。以光功能芯片为**的微小型光谱成像系统便是他们的杰出成果之一。这一系统犹如一双敏锐的“科技之眼”，通过连续的光谱采集，在镜头前端精细获取被检测对象反射的宽波长混合光。随后，分光元器件将这些混合光分散为不同频率的单波长光，并投射到面阵相机上。计算机程序则像一位智慧的“大脑”，对数据进行校准和处理，**终形成连续性、高分辨率的光谱图像数据。这一过程不仅反馈了空间信息，还包含了丰富的光谱信息，具有空间可识别性、超多波段、图谱合一等***优点。在食品、药品、精细零部件等加工环境下，该系统能够保障品质安全，为行业发展提供了有力的技术支持。

宁波启朴芯微系统技术有限公司成立于2022年9月，是一家专注于像元级光谱和偏振超维光学芯片及光学系统解决方案的科技研发型企业，自主可控国内首条8英寸MEMS研发中试ODM产线，具备光刻、深硅刻蚀、键合、PVD、ALD、湿法腐蚀与清洗、氧化退火、CMP、激光隐形切割、SEM、FIB等加工与测试能力，兼容8/6/4英寸晶圆级微纳加工。作为一个兼具产品开发能力和技术加工能力的科技型企业，本着“斫雕为朴，芯程再启”的企业宗旨，启朴芯微将展示在MEMS产品设计、晶圆加工、工艺检验等不同环节的技术服务能力，包括但不限于既往的光刻、深硅刻蚀、键合、湿法腐蚀与清洗、氧化退火、激光隐形切割、光谱椭偏测试、傅里叶红外光谱测试、探针台阶测试等服务方案和应用成果。打造小型化、集成化的高分辨率特种光学相机模组和光学检测解决方案，启朴芯微持续前进！

宁波启朴芯微的8英寸MEMS规模化加工服务ODM产线，是我国芯片产业发展的重要支撑。它的建立，标志着我国在芯片制造领域取得了重大突破。先进的设备和完善的设施，为芯片的研发和制造提供了有力的保障。服务200余家高校、科研院所和科创企业的成绩，彰显了其在行业内的**地位。获批浙江省MEMS传感芯片定制加工服务型示范平台、宁波市重点实验室、浙江省重点实验室等荣誉，更是对其实力的高度肯定。这条产线的发展，将推动我国芯片产业向更高水平迈进。启朴芯微，助力国内科研院所、高校提供MEMS技术开发和产品制造，口碑良好。珠海晶圆级MEMS微纳加工需求咨询

光刻、刻蚀、氧化退火、激光隐切、湿法腐蚀清洗、抛光、溅射镀膜，启朴芯微MEMS微纳加工服务值得信赖。大连高精度MEMS微纳加工与成果转化

精耕细耘，以业为本。面对目前国内光学传感领域实际需求，启朴芯微同样将展出由项目团队自主研发的小型高光谱相机产品。该系统以光功能芯片为中心，通过对连续的物体光谱采集,以获取反射、辐射光谱信息。多年以来技术团队持续攻关，将结构轻便、精细度高、材料强度高、可定制性等技术优势赋予光谱成像系统的研制工艺，形成了具有自主知识产权的光谱滤波芯片及其成像系统，同时通过自主掌握MEMS晶圆级加工制造能力，实现集成芯片和模块化光谱成像相机的自主研制，可以为典型目标的探测识别提供了有力保障。大连高精度MEMS微纳加工与成果转化