辽宁智能MEMS产品设计项目合作

宁波启朴芯微系统技术有限公司（以下简称“启朴芯微”）是一家专注于微机电系统（MEMS）技术研发与产业化的****，成立于西北工业大学宁波研究院的孵化体系中，并在短时间内凭借技术创新与产业化能力快速崛起。公司聚焦MEMS器件设计、工艺开发及代工服务，拥有自主可控的8英寸MEMS工艺产线，兼容6/4英寸晶圆级加工，覆盖光刻、深硅刻蚀、薄膜沉积、晶圆键合、激光切割等**工艺能力，为行业提供从结构设计到封装测试的全链条服务36。其技术团队在MEMS领域经验丰富，尤其在光学类与SOI（绝缘体上硅）特色工艺方面具备***优势，例如通过原子层沉积（ALD）技术实现高精度薄膜制备，提升器件性能与可靠性。启朴芯微，为广大客户提供更好的MEMS微纳加工服务和产品。辽宁智能MEMS产品设计项目合作

宁波启朴芯微系统技术有限公司成立于2022年9月，作为一家兼具产品开发能力和技术加工能力的科技型企业，国家科技型中小企业，宁波股权交易中心挂牌企业。启朴芯微团队具有多年的MEMS智能制造与智能传感研究经验，专注像元级光谱和偏振超维光学芯片研发，及光学系统解决方案设计，将结构轻便、精细度高、材料强度高、可定制性等技术优势赋予光谱成像系统的研制工艺，形成了具有自主知识产权的光谱滤波芯片及其成像系统，并通过自主掌握MEMS晶圆级加工制造能力，实现集成芯片和模块化光谱成像相机的自主研制。辽宁智能MEMS产品设计项目合作启朴芯微，一家兼具MEMS产品研发、成果转化与应用的科创企业。

启朴芯微拥有先进的8英寸MEMS研发与微纳加工服务中试线，实验区内设置有激光隐切机、光刻机、深硅刻蚀机、电子束蒸镀仪、键合机、湿法腐蚀系统、磁控溅射仪、原子层沉积设备、化学机械抛光机、自动涂胶显影系统等整套技术设备，配套百级/万级室内MEMS加工无菌车间、微纳加工实验室，可以全支持8英寸（兼容4/6英寸）晶圆级加工，生产过程中严格遵守企业内部生产定标准与客户方需求，遵循生产员与质检员登记对接制度，针对不同业务进度进行检验工作。

微机电系统（MEMS，Micro-Electro-Mechanical Systems）是一种将微型机械结构、传感器、执行器与电子电路集成在单一芯片上的技术。其**是通过微纳加工工艺（如光刻、薄膜沉积、离子刻蚀等），在硅基或其他材料上制造出尺寸在微米至毫米级别的三维可动结构。这些结构能够感知或操控物理量（如压力、加速度、温度等），并通过嵌入式电路实现信号处理与通信。MEMS的制造技术借鉴了半导体工艺，但增加了机械部件的设计，例如通过深反应离子刻蚀（DRIE）形成悬臂梁、空腔或微型齿轮。这种技术的高度集成性使得MEMS器件在体积、功耗和成本上***优于传统机电系统，同时具备高灵敏度和快速响应能力，成为现代智能设备的**组件之一。启朴芯微技术团队持续攻关，将技术优势赋予光谱成像系统的研制工艺。

宁波启朴芯微的8英寸MEMS规模化加工服务ODM产线，是我国芯片产业的重要标志。它的建立，标志着我国在芯片制造领域取得了重大进展。先进的设备和完善的设施，为芯片的研发和制造提供了有力的支持。服务众多高校、科研院所和科创企业的成绩，彰显了其在行业内的**地位。获批的各项荣誉，更是对其实力的高度认可。这条产线的发展，将为我国芯片产业的未来发展奠定坚实的基础。启朴芯微团队研发的微小型光谱成像系统，在科技领域具有重要的应用价值。它的出现，为光谱分析技术带来了新的发展机遇。在食品、药品、精细零部件等加工环境中的应用，不仅提高了检测的准确性和效率，还为产品的质量控制提供了科学依据。同时，它的技术特点也为未来的科技研究提供了新的方向。随着科技的不断进步，相信这一系统将在更多的领域得到应用和发展，为人类社会的进步做出更大的贡献。启朴芯微，全程掌握从业务签订、开单生产到暂存、发货等环节。辽宁智能MEMS产品设计项目合作

公司形成了具有自主知识产权的光谱滤波芯片及其成像系统，成果丰硕！辽宁智能MEMS产品设计项目合作

8英寸MEMS研发中试ODM产线，配套激光隐切机、光刻机、深硅刻蚀机等一整套前沿技术设备，由此，启朴芯微具备为客户提供质量产品服务的能力，百级/万级室内MEMS加工无菌车间和微纳加工实验室，赋予启朴芯微强大的加工与测试能力，兼容8/6/4英寸晶圆级微纳加工，更充分支持实现国内MEMS技术企业、科研院所和高校的结构设计、工艺开发、流片代工和测试应用需求。宁波启朴芯微系统技术有限公司专注于像元级光谱和偏振超维光学芯片及光学系统解决方案，拥有自主可控的宁波i首条8英寸MEMS研发中试ODM产线，兼容8/6/4英寸晶圆级微纳加工。公司拥有办公与生产区域共1000余平方米，百级/万级MEMS加工无菌车间和微纳加工实验室，同步配备仓储空间，生产过程严格遵循相关国家标准，为国内传感智能技术企业、科研院所、高校提供高质量的MEMS结构设计、工艺开发、流片代工、测试应用服务。辽宁智能MEMS产品设计项目合作