智能MEMS工艺检测与成果转化

宁波启朴芯微系统技术有限公司成立于2022年9月，是一家专注于像元级光谱和偏振超维光学芯片及光学系统解决方案的科技研发型企业，自主可控国内首条8英寸MEMS研发中试ODM产线，具备光刻、深硅刻蚀、键合、PVD、ALD、湿法腐蚀与清洗、氧化退火、CMP、激光隐形切割、SEM、FIB等加工与测试能力，兼容8/6/4英寸晶圆级微纳加工。作为一个兼具产品开发能力和技术加工能力的科技型企业，本着“斫雕为朴，芯程再启”的企业宗旨，启朴芯微将展示在MEMS产品设计、晶圆加工、工艺检验等不同环节的技术服务能力，包括但不限于既往的光刻、深硅刻蚀、键合、湿法腐蚀与清洗、氧化退火、激光隐形切割、光谱椭偏测试、傅里叶红外光谱测试、探针台阶测试等服务方案和应用成果。满足客户对于高性能、高精度产品服务的需求，是宁波启朴芯微的团队原则。智能MEMS工艺检测与成果转化

宁波启朴芯微系统技术有限公司（以下简称“启朴芯微”）是一家专注于微机电系统（MEMS）技术研发与产业化的****，成立于西北工业大学宁波研究院的孵化体系中，并在短时间内凭借技术创新与产业化能力快速崛起。公司聚焦MEMS器件设计、工艺开发及代工服务，拥有自主可控的8英寸MEMS工艺产线，兼容6/4英寸晶圆级加工，覆盖光刻、深硅刻蚀、薄膜沉积、晶圆键合、激光切割等**工艺能力，为行业提供从结构设计到封装测试的全链条服务36。其技术团队在MEMS领域经验丰富，尤其在光学类与SOI（绝缘体上硅）特色工艺方面具备***优势，例如通过原子层沉积（ALD）技术实现高精度薄膜制备，提升器件性能与可靠性。陕西传感检测系统MEMS工艺检测项目合作启朴芯微始终致力于光学、流动测量等领域的MEMS器件及系统开发。

作为当今世界先进的微米级、纳米级半导体加工工艺，MEMS具有广泛应用，以此种技术制成的光功能芯片，作为光学检测系统的中心，可以通过对连续的物体光谱采集，以获取反射、辐射光谱信息。多年来，启朴芯微团队持续攻关，将精细度高、可塑性强等优势赋予MEMS工艺全流程，形成具有自主知识产权的MEMS光谱芯片、柔性检测芯片加工体系。同时，立足客户对于MEMS产业长期开发的需要，宁波启朴芯微系统技术有限公司持续助力广大客户的技术迭代与项目推进，以B2B模式携手合作伙伴，坚持以客户为中心的服务理念，通过定制开发、项目互补和公司直营相结合的方式，建立生产人员直接沟通渠道，全程掌握从业务签订、开单生产到暂存、发货等环节，为客户提供质量、效率与稳定性并具的服务体验，全支持相关行业的技术开发加速，实现国内视觉检测行业持续精进。

小型多光谱相机的出现，为科技检测带来了新的变革。在人体肤质检测方面，它可以通过分析皮肤的光谱信息，了解皮肤的健康状况，为美容护肤提供科学依据。在工业制品检测中，它能够检测产品的表面缺陷和内部瑕疵，提高产品的质量。在植物检测中，它可以监测植物的生长状况和病虫害情况，为农业生产提供技术支持。启朴芯微团队自主研发的配套PC端应用程序，使得相机的操作更加简便，数据处理更加高效。这一系列的技术创新，使得小型多光谱相机在各个领域得到了广泛的应用，为科技发展注入了新的活力。以MEMS光功能芯片为中心，加以启朴芯微前沿技术的支撑，让传感更智能。

启朴芯微团队研发的微小型光谱成像系统，犹如一颗璀璨的科技之星，照亮了科技发展的道路。它的工作原理虽然复杂，但却蕴含着科技的智慧。从光谱采集到数据处理，每一个环节都经过了精心的设计和优化。在食品、药品、精细零部件等加工环境中的应用，充分体现了它的实用性和价值。同时，它的技术优势也为未来的科技发展提供了新的思路和方向。随着科技的不断进步，相信这一系统将在更多的领域得到应用，为人类的生活带来更多的便利和福祉。公司持续构建具有凝聚力、自驱力的智能传感领域工程师队伍。陕西传感检测系统MEMS工艺检测项目合作

启朴芯微专业MEMS实验加工产线，兼容8/6/4英寸晶圆级微纳加工，服务范围广。智能MEMS工艺检测与成果转化

精耕细耘，以业为本。面对目前国内光学传感领域实际需求，启朴芯微同样将展出由项目团队自主研发的小型高光谱相机产品。该系统以光功能芯片为中心，通过对连续的物体光谱采集,以获取反射、辐射光谱信息。多年以来技术团队持续攻关，将结构轻便、精细度高、材料强度高、可定制性等技术优势赋予光谱成像系统的研制工艺，形成了具有自主知识产权的光谱滤波芯片及其成像系统，同时通过自主掌握MEMS晶圆级加工制造能力，实现集成芯片和模块化光谱成像相机的自主研制，可以为典型目标的探测识别提供了有力保障。智能MEMS工艺检测与成果转化