无尘气动隔振器是一种专为洁净室(无尘室)环境设计的高性能隔振装置,广泛应用于半导体制造、生物技术、生命科学等领域,这些领域对环境污染物(如灰尘、空气中的微生物、气溶胶颗粒和化学蒸气)非常敏感。技术特点无尘室预处理程序Newport的S-2000AC系列无尘气动隔振器采用专有的无尘室预处理程序制造,比较大限度地提高产品的清洁度,确保其适用于无尘室环境。高性能隔振设计垂直共振频率低至1Hz,水平共振频率为1.5Hz。水平隔振效率在5Hz时达到85%,在10Hz时达到95%;垂直隔振效率在5Hz时为94%,在10Hz时为98%。自动调平功能隔振器配备自动调平阀,能够快速、精确地重新定位平台,即使在受到干扰后也能迅速恢复水平.Newport的SmartTable HD光学平台采用混合阻尼技术,结合了IQ主动阻尼器和被动精密调谐阻尼器。海南RPR Reliance宽带阻尼Newport设备
超刚性蜂窝芯结构平台采用垂直黏合的桁架式蜂窝芯设计,提供更高的刚性和动态稳定性。高平整度工作表面平台表面采用4.8毫米厚的430铁磁不锈钢,表面平整度为±0.004英寸,确保光学元件的精确安装。兼容多种支撑方式支持S-2000A气动隔振器和LabLegs刚性支撑腿,满足不同的实验需求。安装孔设计安装孔采用1/4-20螺纹(或M6螺纹),以1英寸(或25毫米)网格分布,便于光学元件的安装。应用场景被动精密调谐阻尼光学平台适用于以下高精度光学实验:生物医学成像:如活细胞成像、扫描显微镜。高分辨率成像:需要极低振动环境以确保成像质量。干涉测量:如**干涉仪实验。光谱学研究:减少振动对光谱测量的影响。长曝光时间的实验:如长时间曝光的光学实验。陕西宽带调谐阻尼光学平台Newport设备气动隔振器的性能在很大程度上取决于其固有频率的高低。混合腔设计通过增加柔性体积来降低固有频率。
Newport公司是一家全球**的光电子技术产品和系统解决方案供应商,成立于1969年,总部位于美国加利福尼亚州欧文市。Newport是MKS Instruments Photonics Solutions部门旗下的品牌。公司专注于为科研、微电子制造、航空航天与**、生命科学以及工业制造市场提供先进的技术和产品。Newport目前是MKS Instruments的一部分,继续在光电子和精密运动控制领域保持**地位。公司通过不断创新和扩展产品线,满足全球客户在科研和工业制造中的需求。
高阻尼效率隔振器是一种通过优化材料和结构设计,显著提高振动能量吸收和衰减能力的隔振设备。以下是其技术特点和应用领域的详细介绍:技术特点高阻尼材料的应用高阻尼效率隔振器通常采用高分子阻尼材料,如橡胶、聚氨酯、丁基橡胶等。这些材料具有独特的分子结构,能够高效地将振动能量转化为热能,从而***降低振动的传递。非线性刚度设计部分高阻尼隔振器采用非线性刚度设计,例如准零刚度隔振器。这种设计通过结合正刚度元件和负刚度机构,实现高静刚度和低动刚度的特性,有效降低起始隔振频率,实现低频隔振。层流阻尼技术高阻尼隔振器常采用层流阻尼元件,相比传统的单孔或细管设计,能够产生更高的阻尼力,从而实现更快、更有效的振动衰减。自动调平与稳定性高阻尼隔振器通常配备自动调平功能,通过高精度阀门调节内部气压或阻尼力,确保设备在负载变化时仍能保持水平,提高隔振效果。宽频带隔振性能高阻尼隔振器能够在宽频率范围内提供高效的隔振效果,尤其在低频区域表现优异。例如,某些隔振器的固有频率可低至1Hz,能够有效隔离2Hz左右的振动。Newport的蜂窝芯结构采用垂直黏合的桁架式设计,每个蜂窝单元都填充了专有的弹性吸振材料。
Newport的IPV系列调平阀提供多种型号,可满足不同的隔振需求。三线摆设计隔振器采用零摩擦三线摆系统,消除了传统接触轴承表面的摩擦,显著提高了水平隔振性能。层流阻尼技术隔振器采用层流阻尼元件,相比传统设计,能够产生更高的阻尼力,从而实现更快、更有效的振动衰减。高度调节功能隔振器提供1.3英寸(33毫米)的高度调节范围,能够轻松补偿不平整的地面。人体工程学设计隔振器配备集成气泡水平仪、地震保护装置和浮标高度指示,便于操作和维护。安全特性隔振器集成了SafeLock™光学平台安装夹,确保隔振器与光学平台的安全连接。采用TMD技术,将阻尼力集中在主共振模式的频率上,相比宽带阻尼方法,能够更有效地消除振动。山东混合阻尼光学平台Newport网站
自动调平隔振器通过内置的调平阀系统实现精确、快速的调平。Newport的S-2000A系列隔振器配备了IPV系列。海南RPR Reliance宽带阻尼Newport设备
高性能气动隔振器广泛应用于以下领域:光学实验干涉仪、光谱仪、显微镜等光学仪器需要极低振动环境以确保测量精度。例如,光刻机中的光学镜头通过气动隔振器能够有效消除振动,提高生产质量。半导体制造半导体设备如光刻机、电子束曝光机等对振动极为敏感,气动隔振器能够有效保护设备。科研与教育实验室中的振动隔离台和精密仪器保护,减少外部环境振动对实验结果的影响。工业制造用于机械加工、汽车制造等领域,减少振动对设备和工件的影响。海南RPR Reliance宽带阻尼Newport设备