厦门硅pin硅光电二极管电池

以p型离子注入形成有源区；所述的氧化硅层为热氧化生成sio2层，所述的氮化硅层为淀积生长的si3n4层；所述的正面金属电极是在溅射后经刻蚀成形。所述外延层的电阻率为500～1000ohm·cm，外延层厚度wepi根据耗尽区宽度wd确定：wepi≈wd，而wd≥w入/2，其中w入＝f(λ)，w入为入射光入射深度，λ为入射光波长。一种高速高响应度的硅基光电二极管的制备方法，包括以下操作：1)在衬底上溅射生成高反层；2)高反层开设刻蚀孔；3)高反层上通过淀积的方法生长外延层；4)在外延层上通过离子注入分别形成保护环和有源区；5)在保护环和有源区上生成sio2层，然后在sio2层上方生成si3n4层；6)在sio2层、si3n4层上刻出接触孔，然后溅射金属，溅射完成后刻蚀形成正面金属电极；7)在衬底的背面做金属化处理形成背面电极。所述的衬底采用电阻率20～100为ohm·cm的低电阻率硅材料；衬底直接与背面金属形成良好的欧姆接触；所述的高反层是由折射率～～，通过化学气相淀积或光学镀膜技术生成；所述的外延层的电阻率为500～1000ohm·cm，外延层的厚度与耗尽区宽度相当；所述的保护环为as离子源注入，注入剂量为1e15～2e15。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳。硅光电二极管型号哪家好？世华高好！厦门硅pin硅光电二极管电池

本发明具有以下有益的技术效果：本发明提供的高速高响应度的硅基光电二极管，通过适当减小耗尽区宽度和减小扩散区电阻率，耗尽区宽度减小导致响应度的降低，本发明通过增加高反层使得光子在耗尽区中二次吸收来补偿；高反层的形成使得器件保持对长波响应度的同时，降低响应时间；由于扩散区(耗尽区以外的区域)材料电阻率很低，扩散区阻抗很小，因此扩散时间很短；从而实现硅基光电二极管高响应度与高响应速度同时提升。本发明提供的高速高响应度的硅基光电二极管，由于通过低阻材料降低了扩散区电阻，缩短了扩散时间；而高反层的设置提高了长波的吸收效率，降低了耗尽区的物理厚度，缩短了漂移时间，并且在其上开孔减小了扩散区的阻抗；衬底采用低电阻率材料，背面不用进行减薄注入，直接背面金属化形成背面电极，避免了加工过程中碎片的情况。附图说明图1为本发明的结构图示意图；图2为本发明的等效电路示意图；图3为本发明的高反层原理示意图；图4为多孔结构高反层的示意图；图5-1～图5-7分别为本发明的逐层制备示意图。图6为本发明的硅基光电二极管的响应度测试曲线；图7为本发明的硅基光电二极管的频率特性测试曲线。武汉硅光电二极管多少钱世华高硅光电二极管，让你享受简单而强大的智能体验。

在光探测领域，硅光二极管也被广泛应用。它可以用于检测微弱的光信号，如生物发光、化学发光和激光等。通过测量硅光二极管产生的光电流，可以实现对光信号的定量分析和实时监测。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。随着生产规模的不断扩大和产品种类的丰富，公司的销售业绩稳步提升。

具体实施方式下面结合实施例对本发明做进一步详细描述，所述是对本发明的解释而不是限定，一种高速高响应度的硅基光电二极管，包括背面设有背面电极108的衬底107；衬底107正面依次设有高反层(109、外延层101、注入层、氧化硅层、氮化硅层和正面金属电极106；所述的高反层109上开设有用于形成电流路径的刻蚀孔，以及与正面金属电极106相对应的刻蚀区；所述的注入层包括保护环102以及设在其内的有源区103；所述的正面金属电极106还贯穿氧化硅层、氮化硅层与有源区103相连接。进一步的，所述的衬底107为电阻率20～100为ohm·cm的硅基衬底，衬底背面直接做金属化处理形成背面电极108。所述的外延层101淀积在高反层109上；在外延层101上分别以n型离子注入形成保护环102，以p型离子注入形成有源区103；所述的氧化硅层为热氧化生成sio2层104，所述的氮化硅层为淀积生长的si3n4层105；所述的正面金属电极106是在溅射后经刻蚀成形。参见图2所示的光电二极管等效电路示意图，rsh为光电二极管关断阻抗，rsh＝∞，rs为光电二极管串联电阻。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。硅光电池就找深圳世华高。

硅光二极管还可以用于构建光传感器。例如，在环境监测中，可以利用硅光二极管检测空气中的污染物浓度；在医疗诊断中，可以利用硅光二极管检测生物组织的光学特性。硅光二极管的光电转换特性使其成为构建光传感器的理想选择。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。随着生产规模的不断扩大和产品种类的丰富，公司的销售业绩稳步提升。硅光电二极管特性给您带来智能体验。厦门硅pin硅光电二极管电池

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世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。高反层109由高折射率薄膜与低折射率薄膜交替叠加组成；2)利用等离子刻蚀机在高反层109上以干法刻蚀开设刻蚀孔，并刻蚀掉与正面金属电极106相对的高反层109；3)刻蚀完成后，在高反层109上以化学气相淀积的方法生长电阻率500～1000ohm·cm的n-外延层，其厚度与耗尽区宽度相当；4)在外延层101上以as离子源进行n型离子注入，注入剂量1e15～2e15，形成保护环102。与保护环102间距12～20um，在外延层101上以b离子源进行p型离子注入，注入剂量1e15～2e15，形成有源区103；5)在保护环102和有源区103上通过热氧化法生成sio2层104，在sio2层上方淀积生长si3n4层105；6)接连刻穿si3n4层和sio2层形成接触孔，然后溅射al，并将溅射层刻蚀形成正面金属电极106；7)在衬底107背面直接进行金属化处理形成背面电极108。下面给出具体的实施例。实施例11)在n+重掺杂的衬底107上溅射生成厚度3～5um的高反层109，2)利用等离子刻蚀机干法刻蚀工艺在高反层109刻孔；3)高反层109上通过淀积的方法生长n-外延层101。厦门硅pin硅光电二极管电池