二、2DU型硅光电二极管:2DU型硅光电二极管是用P型硅单晶制作的,从外形上分有2DUA,2DUB等类型,其中2DUA型管子体积较小些(见图1(b))。2DU型硅光电二极管目前多采用陶瓷树脂封装,入射光的窗口不带透镜。这类管子引线共有三条,分别称作前极、后极、环极(见图1(b))。前极即光敏区(N型区)的引线;后极为衬底(P型区)的引线;环极是为了减小光电管的暗电流和提高管子的稳定性而设计的另一电极。光电管的暗电流是指光电二极管在无光照、高工作电压下的反向漏电流。我们要求暗电流越小越好。这样的管子性能稳定,同时对检测弱光的能力也越强。为什么加了环极后就可以减小2DU型硅光电二极管的暗电流呢?这要从硅光电二极管的制造工艺谈起。在制造硅光电二极管的管心时,将硅单晶片经过研磨抛光后在高温下先生长一层二氧化硅氧化层,然后利用光刻工艺在氧化层上刻出光敏面的窗口图形,利用扩散工艺在图形中扩散进去相应的杂质以形成P-N结。然后再利用蒸发、压焊、烧结等工艺引出电极引线。由于2DU型硅光电二极管是用P型硅单晶制造的,在高温生长氧化层的过程中,容易在氧化层下面的硅单晶表面形成一层薄薄的N型层。跨越障碍,世华高硅光电二极管带你体验智能家电。光电硅光电二极管接法
已被广泛应用于新型太阳能电池、光电探测器和光电存储器等领域。batio3是一种典型的钙钛矿型铁电材料,其居里温度大约为120℃,介电常数在室温下高达几千,具有良好的铁电性能。对于一个对称性的晶胞而言,由于正负电荷中心相互重合,则晶体无法自发极化。为了提高铁电晶体的极化特性,通过掺杂改变原子的位移,可以使晶胞结构发生畸变,正负电荷中心将难以重合,从而产生自发极化。本发明中,申请人采用静电纺丝技术制备sr掺杂batio3,改变batio3的晶胞结构,提高batio3的极化能力,从而在znte表面引入表面极化电场,促进batio3/znte界面电荷分离,达到选择性分离znte载流子的目的,为**光阴极材料的开发提供了一个普适的方法。技术实现要素:本发明针对现有技术的不足,提供一种sr掺杂batio3/znte光阴极材料的制备方法。其目的在于利用sr掺杂batio3的极化电场来促进znte光电极材料载流子的**分离,从而提高znte材料光电催化co2还原的活性。本发明的目的通过以下技术方案实现:本发明提供一种sr掺杂batio3/znte光阴极材料的制备方法。深圳市世华高半导体有限公司(SIVAGO)成立于2004年,总部设在深圳,主要负责研发和销售工作。重庆进口硅光电二极管特性硅光电二极管哪家好?世华高好?
世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构,分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。并通过型号为suk2n-1412mr/mt的plc控制器4开启型号为vton的氮气电磁阀11和型号为sast的氮气充气泵12,向石英玻璃罩1内部充入小流量氮气对高压二极管硅叠进行冷却和保护,温度下降到一定值时,取出被焊接高压二极管硅叠,本真空焊接系统设计合理,结构简单易于实现,不改变原有设备的主要结构,只增加少量部件和对控制程序的改造,改造费用增加很少,以很少的设备投资,既减少了产品生产过程中氮气使用成本,又提高了系统的可靠性。在本实用新型的描述中,需要理解的是,指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连。
技术实现要素:本发明解决的技术问题在于提供高速高响应度的硅基光电二极管及其制备方法,在不影响光电二极管响应度的前提下,解决了硅基光电二极管响应速度慢的问题,实现硅基光电二极管高响应度与高响应速度同时提升。本发明是通过以下技术方案来实现:一种高速高响应度的硅基光电二极管,包括背面设有背面电极的衬底;衬底正面依次设有高反层、外延层、注入层、氧化硅层、氮化硅层和正面金属电极;所述的高反层上开设有用于形成电流路径的刻蚀孔,以及与正面金属电极相对应的刻蚀区;所述的注入层包括保护环以及设在其内的有源区;所述的正面金属电极还贯穿氧化硅层、氮化硅层与有源区相连接。所述的衬底为电阻率20~100为ohm·cm的硅基衬底,衬底背面直接做金属化处理形成背面电极。所述的高反层由折射率~~;高反层上开设的刻蚀孔为矩阵排列的圆形孔,或者为同心环形孔。所述的刻蚀孔为均匀分布的圆形孔时,孔直径为10~50um,孔间距为15~50um,圆形孔的总面积为结面积的1/2;所述的刻蚀孔为同心环形孔时,同心环中心与正面金属电极的中心重合,同心环中心为刻蚀区,相邻环间距5~20um。所述的外延层淀积在高反层上;在外延层上分别以n型离子注入形成保护环。pin硅光电二极管哪家好!世华高好。
具体实施方式下面结合实施例对本发明做进一步详细描述,所述是对本发明的解释而不是限定。参见图1~图4,一种高速高响应度的硅基光电二极管,包括背面设有背面电极108的衬底107;衬底107正面依次设有高反层(109、外延层101、注入层、氧化硅层、氮化硅层和正面金属电极106;所述的高反层109上开设有用于形成电流路径的刻蚀孔,以及与正面金属电极106相对应的刻蚀区;所述的注入层包括保护环102以及设在其内的有源区103;所述的正面金属电极106还贯穿氧化硅层、氮化硅层与有源区103相连接。进一步的,所述的衬底107为电阻率20~100为ohm·cm的硅基衬底,衬底背面直接做金属化处理形成背面电极108。所述的外延层101淀积在高反层109上;在外延层101上分别以n型离子注入形成保护环102,以p型离子注入形成有源区103;所述的氧化硅层为热氧化生成sio2层104,所述的氮化硅层为淀积生长的si3n4层105;所述的正面金属电极106是在溅射后经刻蚀成形。参见图2所示的光电二极管等效电路示意图,rsh为光电二极管关断阻抗,rsh=∞,rs为光电二极管串联电阻。深圳市世华高半导体有限公司(SIVAGO)成立于2004年,总部设在深圳,主要负责研发和销售工作。世华高硅光电二极管让你体验许多智能化功能!厦门硅光硅光电二极管价格
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本发明具有以下有益的技术效果:本发明提供的高速高响应度的硅基光电二极管,通过适当减小耗尽区宽度和减小扩散区电阻率,耗尽区宽度减小导致响应度的降低,本发明通过增加高反层使得光子在耗尽区中二次吸收来补偿;高反层的形成使得器件保持对长波响应度的同时,降低响应时间;由于扩散区(耗尽区以外的区域)材料电阻率很低,扩散区阻抗很小,因此扩散时间很短;从而实现硅基光电二极管高响应度与高响应速度同时提升。本发明提供的高速高响应度的硅基光电二极管,由于通过低阻材料降低了扩散区电阻,缩短了扩散时间;而高反层的设置提高了长波的吸收效率,降低了耗尽区的物理厚度,缩短了漂移时间,并且在其上开孔减小了扩散区的阻抗;衬底采用低电阻率材料,背面不用进行减薄注入,直接背面金属化形成背面电极,避免了加工过程中碎片的情况。附图说明图1为本发明的结构图示意图;图2为本发明的等效电路示意图;图3为本发明的高反层原理示意图;图4为多孔结构高反层的示意图;图5-1~图5-7分别为本发明的逐层制备示意图。图6为本发明的硅基光电二极管的响应度测试曲线;图7为本发明的硅基光电二极管的频率特性测试曲线。光电硅光电二极管接法
当反向工作电压大于10伏时,光电流基本上不随反向电压增加而增加,反映在平行曲线簇上就是平直那段(例如AB段)。由图③清楚地看出在反向工作电压大于10伏的条件下管子有较高的灵敏度。图④表示在反向工作电压大于10伏情况下,光电流与入射光强度的关系。从图④看出在反向工作电压大于10伏的条件下光电流随入射光强度的变化基本上是线性的。上述这些,就是硅光电二极管的反向工作电压必须大于10伏的原因所在。2.硅光电二极管的光电流、暗电流随温度的变化均有变化。在环境温度0℃以上,反向工作电压不变的条件下,环境温度变化(25~30)℃时,硅光电二极管的暗电流将变化10倍,光电流变化10%左右,所以在要求稳定性高的...