探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。探针台分类:探针台从操作上来区分有:手动,半自动,全自动。从功能上来区分有:温控探针台,真空探针台(低温探针台),RF探针台,LCD平板探针台,霍尔效应探针台,表面电阻率探针台。经济手动型根据客户需求定制:chuck尺寸:4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可选);X-Y移动行程:4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可选);chuckZ轴方向升降10mm(选项)方便探针与样品快速分离;显微镜:金相显微镜、体式显微镜、单筒显微镜(可选);显微镜移动方式:立柱环绕型、移动平台型、龙门结构型(可选);探针座:有0.7um、2um、10um精度可选,磁性吸附带磁力开关;可搭配Probecard测试;适用领域:晶圆厂、研究所、高校等。探针台的维护与保养就显得尤为重要。山东手动探针台生产
探针台由哪些部分组成?样品台(载物台):是定位晶圆或芯片的部件设备。通常会根据晶圆的尺寸来设计大小,并配套了相应的精密移动定位功能。光学元件:这个部件的作用使得用户能够从视觉上放大观察待测物,以便精确地将探针尖锐端对准并放置在待测晶圆/芯片的测量点上。有的采用立体变焦显微镜,有的采用数码相机,或者两者兼有。卡盘:有一个非常平坦的金属表面,卡盘用夹具来固定待测物,或使用真空来吸附晶圆。探针(探针卡):待测芯片需要测试探针的连接,才能与测试仪器建立连接。常见的有普通DC测试探针、同轴DC测试探针、有源探针和微波探针等。探针头插入单个探针臂并安装在操纵器上。贵州自动探针台生产厂家探针台故障有许多是对其维护保养不当或盲目调整造成的。
12英寸晶圆在结构上具有更高的效率,以200mm工艺为例,在良率100%的情况下,可出88个完整的晶粒,理论上因方块切割所造成的边缘浪费率为23%(约有20个晶粒因缺角破损而无法使用);而若以300mm工艺进行切割,则产出效率将更惊人,可产出193个完整的晶粒,会浪费19%的晶圆面积(36个不完整晶粒)。此外,12英寸厂的规模经济优势也不容小视;300mm的建厂成本与200mm的建厂成本比值约为1.5,而晶圆厂建厂成本与晶圆面积的比值却少于2.25,这意味着只要多投入1.5倍的建厂成本,即可多生产2.25倍的晶粒!少少的边际投入即可获取的收益,约可节省33%的成本;如此高报酬的投资效益随着技术的发展而让人们受益。
平面电机的定子及动子是完全暴露在空气中,所以潮湿的环境及长时期保养不当将很容易使定子发生锈蚀现象,另外重物的碰撞及坚锐器物的划伤都将对定子造成损伤,而影响平面电机的步进精度及使用寿命,对于已生锈的定子可以用天然油石轻轻地向一个方向打磨定子的表面,然后用脱脂棉球蘸煤油清洗,整个过程操作要十分地细心,不可使定子表面出现凹凸不平的现象。另外也可用没有腐蚀性,不损坏定子的除锈剂除锈。对于正常情况下的定子则要定期作除尘清理工作,清理时应先通入大气以便动子移动,方法是用脱脂棉蘸少许大于95%的无水乙醇,轻擦定子表面,然后用专门工具撬起动子,方法同前,轻擦动子表面,动子的表面有若干个气孔,它是定子和动子间压缩空气的出孔,观察这此气孔的放气是否均匀,否则用工具小心旋开小孔中内嵌气孔螺母检查是否有杂质堵塞气孔,处理完毕后应恢复内嵌气孔螺母原始状态。焊针时,应凭自己的经验,把针尖离压点中心稍微偏一点。
探针台是半导体(包括集成电路、分立器件、光电器件、传感器)行业重要的检测装备之一,其普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。探针台用于晶圆加工之后、封装工艺之前的CP测试环节,负责晶圆的输送与定位,使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。在半导体器件与集成电路制造工艺中,从单晶硅棒的制取到器件制造的完成需经过复杂的工序,可分为前道工序与后道工序,探针台是检测半导体芯片的电参数、光参数的关键设备。经过检测,探针台将参数特性不符合要求的芯片记录下来,在进入后序工序前予以剔除,极大降低器件的制造成本。探针台由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损,使用寿命长。山东手动探针台生产
半导体设备价值普遍较高,一条先进半导体生产线投资中,设备价值约占总投资规模的75%以上。山东手动探针台生产
手动探针台规格描述(以实验室常见的仪准ADVANCED八寸,六寸探针台为例):探针台载物台平整度:5μm探针台右侧标配显微镜升降机构,可抬高显微镜,便于更换镜头和换待测物探针台左侧标配升降器,可快速升降台面8mm,并具备锁定功能探针台右下方标配精调旋转轮,可微调控制台面升降范围25mm(客户有特殊需求,可以增大范围),精度1μm6英寸或者8英寸载物盘可选,卡盘平整度:5μm,采用真空吸附方式,中心孔径250μm-1mm定制卡盘可0-360度旋转,旋转角度可微调,微调精度为0.1度,标配角度锁定旋钮大螺母可控制载物盘X-Y方向的移动,移动范围为150mmor200mm,移动精度为1μm载物台具备快速导入导出功能。山东手动探针台生产