真空泵选型制作

罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。罗茨真空泵分为常规罗茨泵及气冷直排大气罗茨泵，常规罗茨泵承受的压差小大约为3000~6000Pa，所以常规罗茨泵必须带前级泵预抽，不能直接排大气。气冷罗茨泵因为增加了热量平衡装置可以直接排大气，气冷罗茨真空泵的极限压力为13000Pa。如果真空泵中的如果物料含水或者是有机溶剂，需要加液态水过滤器和冷凝器，起到一个过滤的作用。真空泵选型制作

日东工器省力机器贸易（上海）有限公司小编介绍，由于分子增压泵在10-1Pa可以满抽速，所以亦可以在三级中真空机组中取代两级罗茨泵。一般地讲，长时间工作在中真空的低端压力范围的罗茨泵，分子增压泵可以完全取代。而长时间工作在中真空高级压力范围的罗茨泵相对而言应该较少，因为这一压力范围前级泵往往还具有强劲的抽速。分子增压泵可以在100-50Pa工作，前级泵从大气到这一压力，基本遵从每经过时间压力降低一个数量级的规律，因此，机组可以具有很高的抽气效率。真空泵选型制作高真空机组往往需要三级机组的另一个原因归结于高真空泵的吸入压力的限制。

当真空泵中的叶轮顺时针方向旋转时，水被叶轮抛向四周，由于离心力的作用，水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮毂相切，水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触(实际上叶片在水环内有一定的插入深度)。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部0°为起点，那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大，且与端面上的吸气口相通，此时气体被吸入，当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝；当叶轮继续旋转时，小腔由大变小，使气体被压缩；当小腔与排气口相通时，气体便被排出泵外。

在真空泵选型前，我们必须弄清楚几个基础概念：真空，理论上是指容积里面不含有任何的物质。（现实中是不存在真正的真空的）通常把容器内气压低于正常大气压（101325 Pa）的都称之为真空状态。真空度表示处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用压力值来表示。实际应用中，真空度，通常有真空和相对真空两种说法。从真空表所读得的数值称真空度。真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值，从表上表示出来的数值又称为表压强，业界也称为极限相对压强，即： 真空度=大气压强-压强(大气压强一般取101325Pa，水环式真空泵极限压强3300Pa；旋片式真空泵极限压强约10Pa)。当真空泵中的叶轮顺时针方向旋转时，由于离心力的作用，形成了一个决定于泵腔形状的封闭圆环。

对于真空泵，不同的真空系统要求的真空度不同。因此往往必须由一套真空机组来完成，即由工作在不同压力范围的真空泵串接起来。高真空一侧的真空泵能达到系统要求的真空度，而低真空一侧的真空泵是直排大气的。显然简单的真空机组就是一台直排大气的真空泵。但高真空系统一般需要三级机组，中真空一般需要二级机组。一台高真空泵和一台低真空泵难于组成有效的高真空机组。这有几方面的原因。流量的连续性就是其中之一。高真空泵都有前级耐压的限制，即前级高于某一压力，泵就不能正常工作。水环真空泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的。真空泵选型制作

液环式真空泵是带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。真空泵选型制作

欧美半导体行业45％以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。据统计，目前国产干泵的应用还不足1％，国内半导体工业用的干泵全部从国外进口，其价格十分昂贵。所以，我国应大力研究开发干泵，使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。真空泵选型制作

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