欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求,国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa~10-2Pa,抽速从20m3/h~500m3/h。据统计,目前国产干泵的应用还不足1%,国内半导体工业用的干泵全部从国外进口,其价格十分昂贵。所以,我国应大力研究开发干泵,使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。对于微型真空泵抽气端阻力的大小可以用仪器测定。VP0940真空泵厂家直供
喷嘴是影响真空泵性能的重要部件,存在的问题有:喷嘴装错、装歪、堵塞、损坏、腐蚀和泄漏,不管采取何种预防措施,喷嘴的堵塞在所难免。一方面由于安装蒸汽管道时,管道中残存的铁屑及焊渣会堵塞喷嘴;另一方面,真空泵系统停用时,蒸汽管道易生锈,锈斑在使用时掉落堵塞喷嘴。蒸汽的影响:我们常用的真空泵为蒸汽喷发真空泵,是以过饱满水蒸汽为作业介质的,蒸汽的状况对泵的功能有决定性的影响。湿蒸汽不只影响泵的功能,还会腐蚀蒸汽喷嘴,添加泵的蒸汽用量,使泵的作业状况变得不稳定。出售真空泵批发卧式真空泵的进气口在上,排气口在下。
往复真空泵的主要部件有气缸及在其中做往复直线运动的活塞,活塞的驱动是用曲柄连杆机构来完成的。除上述主要部件外还有排气阀和吸气阀等重要部件,以及机座、曲轴箱、动密封和静密封等辅助部件。运转时,在电动机的驱动下,通过曲柄连杆机构的作用,使气缸内的活塞做往复运动。当活塞在气缸内从左端向右端运动时,由于气缸的左腔体积不断增大,气缸内气体的密度减小,而形成抽气过程,此时被抽容器中的气体经过吸气阀5进入泵体左腔。当活塞达到右位置时,气缸左腔内就完全充满了气体。
便携式真空泵其工作原理同微型真空泵工作原理相同,都是电机的圆周运动,通过机械装置使泵内部的隔膜做往复式运动,从而对固定容积的泵腔内的空气进行压缩、拉伸形成真空(负压),在泵抽气口处与外界大气压产生压力差,在压力差的作用下,将气体压(吸)入泵腔,再从排气口排出。正因为抽气口处或者抽排气口可以与外界大气形成压力差,同时不像大型真空泵需要润滑油和真空泵油,不会污染工作介质,而且具有体积小巧、噪音低、免维护,可以连续24小时运转等优点,真空泵达到一定临界压力时,往往抽速会减小。
在真空泵选型前,我们必须弄清楚几个基础概念:真空,理论上是指容积里面不含有任何的物质。(现实中是不存在真正的真空的)通常把容器内气压低于正常大气压(101325 Pa)的都称之为真空状态。真空度表示处于真空状态下的气体稀簿程度,通常用压力值来表示。实际应用中,真空度,通常有真空和相对真空两种说法。从真空表所读得的数值称真空度。真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值,从表上表示出来的数值又称为表压强,业界也称为极限相对压强,即: 真空度=大气压强-压强(大气压强一般取101325Pa,水环式真空泵极限压强3300Pa;旋片式真空泵极限压强约10Pa)。抽气量是真空泵抽速的一个衡量因素。直联式真空泵制作报价
真空泵结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感。VP0940真空泵厂家直供
当真空泵中的叶轮顺时针方向旋转时,水被叶轮抛向四周,由于离心力的作用,水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮毂相切,水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触(实际上叶片在水环内有一定的插入深度)。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间,而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部0°为起点,那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大,且与端面上的吸气口相通,此时气体被吸入,当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝;当叶轮继续旋转时,小腔由大变小,使气体被压缩;当小腔与排气口相通时,气体便被排出泵外。VP0940真空泵厂家直供
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