冷凝水在多级真空泵中具有举足轻重的作用,冷凝水可以将蒸汽充沛冷凝,真空泵排出压力中的水蒸汽分压有必要高于其所对应的饱满蒸汽压,因此冷凝水的温度也要低于该压力下的饱满温度,才能保证泵体的正常作业。对真空泵系统密封要求的研究:真空泵处于极限状态时,第1级排出的水很少,有时甚至没有。因此,第1级泵有大量水排出,可以认为是系统有泄漏。通常的漏气原因有:垫片没装、装错或损坏,螺栓未拧紧,法兰面损坏,焊缝有沙眼,接头(压力表、真空表等)未装好。卧式真空泵的进气口在上,排气口在下。VP0450真空泵制作企业
干式螺杆真空泵由于其优越的性能,在欧美和日本目前已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业选择获得设备。传动轴连接主动转子,通过同步齿轮带动从动转子旋转,在壳体上开有冷却水通道,用来冷却转子和排气口温度,同步齿轮及轴承用油润滑,轴承和壳体内部通过密封件来密封以达到无油的效果。干式螺杆真空泵同无油螺杆压缩机在密封和润滑上结构类似,一般真空泵的排气端用机械式密封件,进气侧通常用双唇形密封件。在传动方式上,目前通用的是直连电机,用联轴器与转子连接,极少数用皮带或者传动链传动。VP0450真空泵制作企业微型真空泵的介质温度问题。根据通过泵的介质气体的温度,选择要普通型的还是要高温型的。
通常总是不加区分地把微型泵中的气体采样泵和微型真空泵简单统称为微型真空泵,但从技术角度二者是有区别的,选型时更要特别注意。简而言之,气体采样泵只能带小负载(即:泵抽气端阻力不能太大),但价格便宜;严格意义上的微型真空泵可以带大负载(抽气端允许大阻力,甚至完全堵塞),但价格稍贵。气体采样泵有:PM系列(具体型号如:PM950.2、PM850.5、PM8001、PM7002、PM6503);微型真空泵有:VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列、FM系列、FAA系列、PCF系列,这些系列下的所有规格都是真正的微型真空泵,如VM7002、VAA6005、PC3025等。
液环式真空泵是带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。当它旋转时,把液体抛向泵壳并形成与泵壳同心的液环,液环同转子叶片形成了容积周期变化的旋转变容真空泵。液环真空泵就是这种靠偏置叶轮在泵腔内回转运动使工作室容积周期性变化以实现抽气的真空泵。它的工作室由旋转液环和叶轮构成,其结构和工作原理与液环压缩机相似。当工作液体为水时,称水环式真空泵,水环真空泵是一种粗真空泵,它所能获得的极限真空为2000~4000 Pa,串联大气喷射器可达270~670 Pa。真空泵必须具有前级泵配合,方可使用在较宽的压力范围内有较大的抽速。
真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求,选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。(如:真空工艺要求100pa(压力)的真空度,选用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求压强高于3300Pa,则优先选择水环式真空泵作为真空装置,如果压强要求低于3300Pa,则不能选择水环式真空泵,选择旋片式真空泵或更高真空级别的真空泵作为真空获得装置。真空泵要求抽气速率(也就是要求真空泵在其工作压力下,排出气体、液体,固体的能力),一般单位:m3/h,L/S,m3/min。具体计算方法可以参考下面公式自行计算选型。当然,真空泵的选型是一个综合过程,涉及到相关经验等因素。一般真空泵的排气端用机械式密封件,进气侧通常用双唇形密封件。VP0450真空泵制作企业
水环真空泵串联大气喷射器可达270~670Pa。VP0450真空泵制作企业
罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内,再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态,所以,在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘,v0空间与排气侧相通时,由于排气侧气体压强较高,则有一部分气体返冲到空间v0中去,使气体压强突然增高。当转子继续转动时,气体排出泵外。罗茨真空泵分为常规罗茨泵及气冷直排大气罗茨泵,常规罗茨泵承受的压差小大约为3000~6000Pa,所以常规罗茨泵必须带前级泵预抽,不能直接排大气。气冷罗茨泵因为增加了热量平衡装置可以直接排大气,气冷罗茨真空泵的极限压力为13000Pa。VP0450真空泵制作企业
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