企业商机
干式真空泵基本参数
  • 产地
  • 日本
  • 品牌
  • KASHIYAMA
  • 型号
  • Neodry 36E
  • 是否定制
干式真空泵企业商机

干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:

1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;

4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;

5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。



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日本KASHIYAMASDE303X干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数:

式样

SDE303X

MAX排气速度(L/min)

5000

达到压力(Pa)

0.5

电源电压

3相  AC200-220V,380-480V

消费电力(KW)

1.5KW

外型尺寸WHL [mm]

400×905×760


二、 配置清单:

序号

描述

数量

备注

1

SDE303X主机一台

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)


未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)


未包含


设备原产地:日本

日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(GasBallast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
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日本KASHIYAMA NEODRY 300E 技术参数以及配置清单



一、 NEODRY 15E技术参数:


式样:NEODRY 300E

Max排气速度(L/min):5000

达到压力(Pa):0.3

电源电压:单相AC200-220V

外型尺寸WHL [mm]:304×575×574

吸气口:KF50

噪声:≤72DB

排气口:KF25

质量【kg】:125kg



二、NEODRY 300E 配置清单:

序号

描述

数量

备注

1

NEODRY 300E主机一台,电压AC三相200V或者单相200V可选

1

标配

2

电源线

1

标配

3

产品合格证

1

标配

4

气振阀(选配)

未包含

5

消音器(选配)

未包含

6

入口过滤器(选配,非原厂件)

未包含




日本KASHIYAMA SDL20E60干式真空泵 技术参数&配置清单


一、 技术参数:


式样:SDL20E60

MAX排气速度(L/min):40000

达到压力(Pa):0.8

电源电压:3相  AC200-220V,380-480V

外型尺寸WHL [mm]:850×1295×1370

重量(kg):800


二、 配置清单:

序号

描述

数量

备注

1

SDL20E60主机一台

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)

未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)

未包含


设备原产地:日本

日本KASHIYAMA真空泵特性:

1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。

2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。

3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。

4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。





浚和(上海)仪器有限公司专业干式真空泵供应商。

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干式真空泵与油泵的性能比较


项   目

NeoDry Series

干式真空泵

油  泵

特  征

不使用液体密封泵腔,可以得到干净的真空。

使用油密封得不到干净的真空。

排气时会在排气口产生油雾。

根据使用情况,密封用油中会混入水蒸  气·溶剂使油质变差影响性能。

泵的周围会因油雾污染环境。

维护性

基本上免维护

因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。

  (根据使用情况,需要频繁更换)

维护成本

洁净排气时维护周期可为3年一次。    长期运行可降低维护成本。

更换部件很少,O / H费用便宜。

抽气部分无物理接触,无因磨损更  换部件。

油需定期更换产生费用。

  (使用氟油的情况费用较高)

需要更换叶片及阀门。

  (因叶片为接触式)

初始投资成本

与油泵相比相对较高。

与干泵相比较便宜。

配套设备费用

不需要油雾凝气阀

需要油雾凝气阀。

需要油盘。


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浚和仪器将始终以行业特点为立足点,以客户需求为导向,不断地提高自身专业技术能力,不停地完善客户服务质量,在发展中保持创新的精神,力求与客户共同进步,为行业的发展作出不懈的努力。

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