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无锡NEODRY 60E干式真空泵

干式真空泵的应用范围比较广，主要有以下几个方面： 1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中； 2）半导体...

干式真空泵基本参数

干式真空泵企业商机

干式真空泵的应用范围比较广，主要有以下几个方面：

1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

KASHIYAMA干式真空泵为日本原装进口干式真空泵。无锡NEODRY 60E干式真空泵

日本KASHIYAMA MU300X干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

二、配置清单：

设备原产地：日本

常州SDE1220干式真空泵授权代理一个好的干式真空泵需要具备哪些特点您了解吗？

日本KASHIYAMA MU180X干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样：MU180X

MAX排气速度（L/min）：3000

达到压力（Pa）：1.5

电源电压：3相 AC200-220V

消费电力（KW）：0.5KW

外型尺寸WHL [mm]：280×299×550

质量【kg】：95kg

二、配置清单：

设备原产地：日本

干式真空泵与油泵的性能比较

项目	ＮｅｏＤｒｙ Series 干式真空泵		油泵
特征	○	・不使用液体密封泵腔，可以得到干净的真空。	△	・使用油密封得不到干净的真空。・排气时会在排气口产生油雾。・根据使用情况，密封用油中会混入水蒸气·溶剂使油质变差影响性能。・泵的周围会因油雾污染环境。
维护性	○	・基本上免维护	△	・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。（根据使用情况，需要频繁更换）
维护成本	○	・洁净排气时维护周期可为3年一次。长期运行可降低维护成本。・更换部件很少，O / H费用便宜。・抽气部分无物理接触，无因磨损更换部件。	△	・油需定期更换产生费用。（使用氟油的情况费用较高）・需要更换叶片及阀门。（因叶片为接触式）
初始投资成本	△	・与油泵相比相对较高。	○	・与干泵相比较便宜。
配套设备费用	○	・不需要油雾凝气阀	△	・需要油雾凝气阀。・需要油盘。

买干式真空泵找浚和（上海）仪器有限公司。

日本KASHIYAMA SDE20M20干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样：SDE20M20

MAX排气速度（L/min）：30000

达到压力（Pa）：0.5

电源电压：3相 AC200-220V，380-480V

外型尺寸WHL [mm]：450×950×1000

二、配置清单：