安徽高温无氧烘箱规格参数

DNN460C厌氧高温气氛炉 相关参数及规格（YAMATO）

规格：

内尺寸（宽×深×高mm）：450×450×450

外形尺寸（宽×深×高mm）：1240×1010×1750

内容积：91L

棚板层数/层间距：12层/30mm

排气口：40KF法兰

氮气入口：Rc1/2

冷却水入口：Rc3/4

热水出口：Rc3/4，2个

电源（50/60Hz）额定电流：3相AC380V 20A

重量：约800kg

选购品：棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯（待机/ 运行/ 故障）、以太网通信功能

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DTN430C/630C/450C/650C洁净厌氧高温气氛炉(YAMATO)

洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉，主要应用于固化半导体晶圆等。

特点

● MAX工作温度360℃和500℃、洁净度100级、氧浓度低于20ppm，主要应用于固化半导体晶圆（光刻胶PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。

● 采用耐热高性能高效过滤器，箱内洁净度始终保持在100级，可在洁净的环境下进行高温烘烤。

● 高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2消耗量极低。

● 通过磁密封保持高气密性，并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。

● 可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。

● 标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。

● 液晶触摸屏操作，自动/手动两种运行模式。

安全性

● 拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电保护开关等安装装置。 江苏实验室设备高温无氧烘箱烘箱箱壁内胆和设备表面要经常擦试，以保持清洁，增加玻璃的透明度。

气氛炉和马弗炉的区别  

       都是箱式炉的一种，从外观上看也比较相似，其实，两种热处理设备虽然外观比较相似，但是适用领域和结构并不相同，下面我们详细说明：  

       1、结构不同：

       马弗炉的结构是由炉膛、外壳、炉门、电控系统组成，一般为侧开式，主要用于陶瓷/金属烧结、高温下实验等。  

       而气氛炉有所不同，气氛炉在马弗炉的基础上，增加了气体通道和真空系统，可在真空状态下进行物料处理，或冲入保护气体进行烧结\淬火等工艺处理。  

       2、适用领域不同：  

       马弗炉主要应用于冶金、玻璃、陶瓷、磁性材料、耐火材料、晶体、电子元器件、窑炉制造等领域。  

       气氛炉的特点是在某一既定温度下，向炉内通入一定成分的人工制备气氛，以达到某种热处理的目的，如气体渗碳，碳氮共渗及光亮淬火，退火，正火等。

烘干设备介绍

一、人性化的箱体结构设计：

1、单开门结构，取放物料方便。

2、高质量不锈钢内胆，使用安全。钢板外体，造型大方、新颖。

3、耐高温风机和合理风道构成热风循环系统，保证室内温度均匀性。

4、体积小，重量轻，利用率高，方便放置实验室、产线的任何位置。

5、玻璃门可视窗，可随时观察箱内产品烘烤情况。

二、控温精确，电气合理安全

1、智能PID温控器控温，控温精确。

2、电气控制元器件均采用国内**品牌。

3、电气线路设计新颖，合理布线，安全可靠。

4、箱体顶部为电气控制柜，方便于集中检查维修。 俊和（上海）仪器有限公司正规代理YAMATO雅马拓DNN430C厌氧高温气氛炉。

气氛炉经工艺试验保养工作

       设备于材料试验、合成、烧结等，在日常使用后用户也应注意到设备的保养工作，保养时我们应该定期检查的项目有：  

       1、使用时不得超过额定功率，炉温不得超过*高使用温度。禁止将潮湿工件装入炉膛内，含有过高水份的被加热工件应预先烘干。  

       2、保持炉膛清洁，对炉内的金属氧化物，炉渣和杂质等应及时清洁。装卸工件时应谨慎，以防碰坏硅钼棒。  

       3、硅钼棒碱、碱金属、硅酸及硼化合物在高温下对它能起腐蚀作用，水蒸气对它有强烈的氧化影响，氢及含有大量氢的气体在高温时会分解硅钼棒，使用时必须严加注意、  

       4、车间须配备1/2管以水源后力达0.2MPa.  

       5、接通充气口充入CO2及其它保护气体，当气氛炉压力表指示在0.02～0.04MPa时，停止充气。  

       6、通过调查流量和控制出水口温度在40℃。  

       7、当炉温升高，应随时注意，压力长，间断打开放气阀门，使炉胆内的压力在0.1MPa以下，这时胆的油烟等杂质可随之排出。  

       8、实行光亮退火，在升温时打开放气阀，随后充入保护气体，流量由小变大，当炉内压力为正压时，即关闭全部阀门，此工艺应经工艺试验，由熟练工人掌握。 买无氧光刻胶固化炉选择YAMATO光刻胶烤箱。黑龙江高温无氧烘箱厌氧高温气氛炉

洁净度100级、氧浓度低于20ppm的光刻胶烤箱，主要应用于固化半导体晶圆等。安徽高温无氧烘箱规格参数

C1-008 洁净厌氧高温气氛炉（YAMATO）

用途：光刻工艺后段，光刻胶固化。

●MAX工作温度360℃和600℃、洁净度100级、氧浓度20ppm以下。

●程序运转功能，有自动/手动两种操作模式。

●快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。

●配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。

●全不锈钢材质。

●在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。

室温+30～360℃ 规格参数：

温度范围：室温+30～360℃

温度分布精度：±4.0℃（at 360℃）

温度上升时间：60min（室温→360℃）

温度下降时间：90min（360℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

洁净度：100级

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

室温室温+50～500℃ 规格参数：

温度范围：室温+50～500℃

温度分布精度：±8.0℃（a500℃）

温度上升时间：90min（室温→500℃）

温度下降时间：120min（500℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

洁净度：100级

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

安徽高温无氧烘箱规格参数