企业商机
干式真空泵基本参数
  • 产地
  • 日本
  • 品牌
  • KASHIYAMA
  • 型号
  • Neodry 36E
  • 是否定制
干式真空泵企业商机

日本KASHIYAMA SDE8060干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数:

式样

SDE8060

MAX排气速度(L/min)

120000

达到压力(Pa)

0.8

电源电压

3相  AC200-220V,380-480V

外型尺寸WHL [mm]

850×1220×1600



二、 配置清单:



序号

描述

数量

备注

1

SDE8060主机一台

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)


未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)


未包含

设备原产地:日本 

日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。


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日本KASHIYAMA MU600P/H干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数:

式样

MU600P/H

MAX排气速度(L/min)

10000

达到压力(Pa)

0.5

电源电压

3相  AC200-220V

消费电力(KW)

0.95KW

外型尺寸WHL [mm]

350×520×630

质量【kg】

130kg


二、 配置清单:


序号

描述

数量

备注

1

MU600P/H主机一台,电压AC三相200V

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)


未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)


未包含

设备原产地:日本  SDE1220干式真空泵中国授权代理商浚和(上海)仪器有限公司的干式真空泵产品种类繁多。

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日本KASHIYAMA SDE20N12TX干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数:

式样

SDE20N12TX

MAX排气速度(L/min)

30000

达到压力(Pa)

0.5

电源电压

3相  AC200-220V,380-480V

消费电力(KW)

3.3KW

外型尺寸WHL [mm]

450×1000×1000



二、 配置清单:


序号

描述

数量

备注

1

SDE20N12TX主机一台

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)


未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)


未包含

设备原产地:日本 

日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。

KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX设备简介(包括对功能的基本介绍):

SDE603TX 立式螺杆真空干泵,尺寸: W:400×H:905×L:760MM,MAX排气速度10000L/min立式螺杆设计排气线路短,不容易发生卡死。转子材质为镍合金,防腐蚀能力优越,使用时内部温度高,适用于比较苛刻的工艺制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。

2、系统组成:

1) 罗茨泵  (SDE120TX) 1   

2) 机械增压泵(KMB603) 1   

3) 电源盒  1   

4) 操作手柄1  

5) 连接件  1   

6) 消音器(SR-19) 1


您了解干式真空泵的优势吗?

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日本KASHIYAMA SDE200干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数:

式样

SDE200

MAX排气速度(L/min)

3300

达到压力(Pa)

1.3

电源电压

3相  AC200-220V,380-480V

消费电力(KW)

2.7KW

外型尺寸WHL [mm]

370×501×690



二、 配置清单:


序号

描述

数量

备注

1

SDE200主机一台

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)


未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)


未包含

设备原产地:日本 

日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 对于不同的需求我们选择不同的干式真空泵系列。北京樫山干式真空泵报价

干式真空泵的好处都有:清洁环保:工作腔内无其他杂质,可获得清洁真空;真空度高:间隙设计和压缩方式良好。NEODRY 15E干式真空泵现货

干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:

1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;

4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;

5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。


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