日本KASHIYAMA SDE8060干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDE8060 |
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MAX排气速度(L/min) |
120000 |
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达到压力(Pa) |
0.8 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
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外型尺寸WHL [mm] |
850×1220×1600 |
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE8060主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
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日本KASHIYAMA MU600P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU600P/H |
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MAX排气速度(L/min) |
10000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力(KW) |
0.95KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
350×520×630 |
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质量【kg】 |
130kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
MU600P/H主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本 SDE1220干式真空泵中国授权代理商浚和(上海)仪器有限公司的干式真空泵产品种类繁多。

日本KASHIYAMA SDE20N12TX干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDE20N12TX |
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MAX排气速度(L/min) |
30000 |
|
达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
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消费电力(KW) |
3.3KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
450×1000×1000 |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
SDE20N12TX主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX设备简介(包括对功能的基本介绍):
① SDE603TX 立式螺杆真空干泵,尺寸: W:400×H:905×L:760MM,MAX排气速度10000L/min,立式螺杆设计排气线路短,不容易发生卡死。转子材质为镍合金,防腐蚀能力优越,使用时内部温度高,适用于比较苛刻的工艺制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。
2、系统组成:
1) 罗茨泵 (SDE120TX) 1
2) 机械增压泵(KMB603) 1
3) 电源盒 1
4) 操作手柄1
5) 连接件 1
6) 消音器(SR-19) 1
您了解干式真空泵的优势吗?

日本KASHIYAMA SDE200干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDE200 |
|
MAX排气速度(L/min) |
3300 |
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达到压力(Pa) |
1.3 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
|
消费电力(KW) |
2.7KW |
|
外型尺寸WHL [mm] |
370×501×690 |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE200主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 对于不同的需求我们选择不同的干式真空泵系列。北京樫山干式真空泵报价
干式真空泵的好处都有:清洁环保:工作腔内无其他杂质,可获得清洁真空;真空度高:间隙设计和压缩方式良好。NEODRY 15E干式真空泵现货
干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
NEODRY 15E干式真空泵现货
完全电子智能化设计,可以很方便地多方位与DCS系统联接,通过Modem联接可以实现就地和远程控制;辅助模块的模块化设计可以满足大量的乃至是苛刻的流程的应用;设计可以满足不同的压力要求:压力比可高达100,000:1(吸入压力