四川高温无氧烘箱解决方案

DTN430C/630C/450C/650C洁净厌氧高温气氛炉(YAMATO)

洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉，主要应用于固化半导体晶圆等。

特点

● MAX工作温度360℃和500℃、洁净度100级、氧浓度低于20ppm，主要应用于固化半导体晶圆（光刻胶PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。

● 采用耐热高性能高效过滤器，箱内洁净度始终保持在100级，可在洁净的环境下进行高温烘烤。

● 高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2消耗量极低。

● 通过磁密封保持高气密性，并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。

● 可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。

● 标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。

● 液晶触摸屏操作，自动/手动两种运行模式。

安全性

● 拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电保护开关等安装装置。 气氛炉增加了气体通道和真空系统，可在真空状态下进行物料处理，或冲入保护气体进行烧结\淬火等工艺处理。四川高温无氧烘箱解决方案

DNN630C厌氧高温气氛炉 相关参数及规格（YAMATO）

1、方式：氮气置换+ 强制送风循环

2、性能：

①使用温度范围：室温+50～360℃

②温度调节精度：±0.5℃（at360℃）

③温度分布精度：±5.0℃（at360℃）

④MAX温度到达时间：约80分钟

⑤氧浓度：20ppm 以下

⑥氧浓度到达时间：≤ 25分（250L/min 氮气）

3、构成：

①内装：不锈钢板

②外装：冷轧钢板，表面耐药品性涂装

③断热材：硅酸铝棉

④加热方式：不锈钢加热管

⑤加热功率：主加热器9KW

⑥N2预热：1KW

⑦冷却机构：不锈钢冷却水换热器

4、控制器：

①温度控制方式：PID控制

②温度控制器：液晶触摸屏+PLC

③运行功能：手动定值运行、自动程序运行

④程序模式：程序运行9个，每个程序可设置9步（可扩展）

⑤附加功能：操作员等级认证

⑥加热器回路控制：SSR驱动

⑦传感器：K型热电偶（温度控制及过升防止器）

5、安全装置：门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2 预热温度过升、水压低检测、N2 压力低检测、冷却水流量检测、N2 流量检测、风机过载检测、过电流漏电保护开关等 山东高温无氧烘箱设备介绍用于化学热处理的可控气氛炉通常配备有风扇以迫使大气流动。

DTN430C洁净厌氧高温气氛炉 相关参数及规格(YAMATO)

1、方式：氮气置换+ 强制送风循环

2、性能：

①使用温度范围：室温+50～360℃

②温度调节精度：±0.5℃（at360℃）

③温度分布精度：±5.0℃（at360℃）

④MAX温度到达时间：约80分钟

⑤氧浓度：20ppm 以下

⑥氧浓度到达时间：≤ 20分（250L/min 氮气）

⑦洁净度：温度恒定时100级

3、构成：

①内装：不锈钢板

②外装：冷轧钢板，表面耐药品性涂装

③断热材：硅酸铝棉

④加热方式：不锈钢加热管

⑤加热功率：主加热器6.75KW

⑥N2预热：1KW

⑦冷却机构：不锈钢冷却水换热器

⑧HEPA过滤器：集尘效率：0.3um粒子99.97%以上

4、控制器：

①温度控制方式：PID控制

②温度控制器：液晶触摸屏+PLC

③运行功能：手动定值运行、自动程序运行

④程序模式：程序运行9个，每个程序可设置9步（可扩展）

⑤附加功能：操作员等级认证

⑥加热器回路控制：SSR驱动

⑦传感器：K型热电偶（温度控制及过升防止器）

5、安全装置：门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2 预热温度过升、水压低检测、N2 压力低检测、冷却水流量检测、N2 流量检测、风机过载检测、过电流漏电保护开关等

无氧化烘箱的技术资料

       无氧化烘箱采用国家重点推广的节能环保加热新技术，通过电源使电热管加热，产生热源，当它被加热物体吸收时可直接转变为热能，从而获得快速干燥效果，达到缩短生产周期，提高产品质量的。它采用薄钢板制作，表面烤漆，工作室采用的结构钢板制作。  

       无氧化烘箱可以分为大型烘箱、高温烘箱、电热烘箱、小型烘箱等，根据条件，工业上产会选择不同的设备来进行生产。

  无氧化烘箱是一种专业用于烘烤的设备。属于烘干设备的一种。采用薄钢板制作，外面是一层油漆，烘箱内仓由结构钢板制作，能够耐高温，且不会变色。外壳与内仓之间使用硅酸铝纤维填充，底部是烘箱加热器。温度控制仪表采用数显智能表，时间控制器与报警装置相连接。使烘箱的操作更简便，快捷与有效。

  无氧化烘箱内部设有可调式分风板，可以控制烘箱内热风的风向，达到物料均匀干燥的效果。蒸汽、热水、电、热风炉都可以成为烘箱的热源的来源，而且它具有噪音小，电脑控温的特点，安装维修方便。适用范围广，可干燥各种物料。

  烘箱的主要用途是：用于医药、食品、轻工、化工、电子等行业，对物料和物品进行干燥处理。 对于正压运转的高温炉，室内气废气阀是另一个应作为备用物品保留的物品。

选购气氛炉考虑哪些方面的特点操作

       1、耐火材料：采用还原性气体，为了不影响砌体的使用寿命，以及不破环正常炉内气氛，要求炉膛砌体采用抗渗碳耐火材料。

      2、自动化程度：密封性要求高，出料操作过程复杂，要求一台炉子多用，大批量生产时，多组成大型联合热处理**或者两用以上的机组，因而要求有较高的机械化，自动化程度。

      3、密封性：为了控制炉内的气氛，维持炉内的压力，炉内工作空间始终要与外界空气隔绝，故要求炉壳，砌体，炉门及所有外界连接零件如风扇，哪些方面的特点操作热电偶，辐射管，推拉料机等采用密封装置。

      4、防爆装置：还原气体和空气混合达到一定混合比，购买设备应考虑在一定温度下易引起，故对炉子的前，后室，淬火室以及缓冷室等均设有防爆装置，炉子供气和排气的控制系统也要有防爆措施。 高温无氧烘箱通过加热使物料中的湿分（水分或其他可挥发性液体成分）汽化逸出，获得规定湿含量的固体物料。重庆高温无氧烘箱抽真空效果

买日本YAMATO光刻胶烤箱选择浚和（上海）仪器有限公司。四川高温无氧烘箱解决方案

仪器仪表是用以检出、测量、观察、计算各种物理量、物质成分、物性参数等的器具或设备。真空检漏仪、压力表、测长仪、显微镜、乘法器等均属于仪器仪表。近年来，得益于机械、冶金、石化行业等仪器仪表服务领域经营状况的好转，我国仪器仪表制造业发展一路向好。目前，真空泵，喷雾干燥机，培养箱，等离子清洗机等产品的产量居世界前列，实验分析仪器等中产品的市场占比不断上升，行业技术上总体已达到的中等国际水平，少数产品接近或达到当前较高国际水平。仪器仪表、电气设备、环保设备、机械设备及配件、化工产品及原料（除危险化学品、监控化学品、民用物品、易制毒化学品）的销售，从事货物及技术的进出口业务，从事电子科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让，机械设备的维修。 【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】产品普遍运用于工业、农业、交通、科技、环保、**、文教卫生、大家生活等各个领域，在旺盛市场需求的带动下和我国宏观调控政策的引导下，我国仪器仪表行业的发展有了长足的进步空间。从销售广义角度来说，仪器仪表也可具有自动操控、报警、信号传递和数据处理等功能，例如用于工业生产过程自动操控中的气动调节仪表，和电动调节仪表，以及集散型仪表操控系统也皆属于仪器仪表。四川高温无氧烘箱解决方案