干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
对于不同的需求我们选择不同的干式真空泵系列。成都SDE1220干式真空泵维修

日本KASHIYAMA NEODRY 36E 技术参数以及配置清单
一、 NEODRY 36E技术参数:
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式样 |
NEODRY 36E |
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ZUI大排气速度(L/min) |
600 |
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达到压力(Pa) |
1 |
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电源电压 |
单相AC200-220V |
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外型尺寸WHL [mm] |
298×275×475 |
|
吸气口 |
KF40 |
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噪声 |
≤60DB |
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排气口 |
KF25 |
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质量【kg】 |
54kg |
二、NEODRY36E 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
NEODRY 36E主机一台,电压AC三相200V或者单相200V可选 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
4 |
气振阀(选配) |
|
未包含 |
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5 |
消音器(选配) |
|
未包含 |
|
6 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
上海干式真空泵现货干式真空泵的好处都有:清洁环保:工作腔内无其他杂质,可获得清洁真空;真空度高:间隙设计和压缩方式良好。

日本KASHIYAMA MU20M18X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU20M18X |
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MAX排气速度(L/min) |
30000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力(KW) |
1.5KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
500×950×1100 |
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质量【kg】 |
340kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
MU20M18X主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA SDE30M09X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDE30M09X |
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MAX排气速度(L/min) |
45000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
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消费电力(KW) |
2.8KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
500×960×1020 |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
SDE30M09X主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 浚和(上海)仪器有限公司的干式真空泵产品种类繁多。

日本KASHIYAMA MU300X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU300X |
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MAX排气速度(L/min) |
5000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力(KW) |
0.55KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
230×520×450 |
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质量【kg】 |
100kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU300X主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
浚和(上海)仪器有限公司提供日本KASHIYAMA 7m³/h到2500m³/h的干式真空泵。苏州NEODRY 15E干式真空泵销售电话浚和(上海)仪器有限公司专业致力于干式真空泵批发。成都SDE1220干式真空泵维修
评价有两个指标:可燃物质的闪点及燃点。因为螺杆干式真空泵中的两个螺杆在泵体内没有摩擦,所以不会产生电火花,就没有了火源,另外其通过自身的冷却系统降低泵内温度使被抽物质的燃点难以达到,从而杜绝!泵内既无与外界之间的轴封又无泵腔与冷却循环水回路之间的密封,因此可以抽除有害介质。绝大部分泵的故障都是由轴封处磨损造成的,而此泵每个轴只有一处无接触密封,不存在由轴封损伤带来的停机,以及轴封泄露造成齿轮箱里的油被抽到泵里,造成真空环境及排气口污染。 成都SDE1220干式真空泵维修
完全电子智能化设计,可以很方便地多方位与DCS系统联接,通过Modem联接可以实现就地和远程控制;辅助模块的模块化设计可以满足大量的乃至是苛刻的流程的应用;设计可以满足不同的压力要求:压力比可高达100,000:1(吸入压力