日本KASHIYAMA MU100X 技术参数以及配置清单
一、MU100X技术参数:
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式样 |
MU100X |
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ZUI大排气速度(L/min) |
1660 |
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达到压力(Pa) |
1.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力(KW) |
0.35KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
230×275×450 |
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质量【kg】 |
60kg |
二、MU100X配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
MU100X主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
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3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
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4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
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5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
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6 |
消音器(原厂件,选配) |
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未包含 |
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7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
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未包含 |
干式真空泵的优点有很多。成都SDL12E50干式真空泵维修点

干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
苏州NEODRY 30E干式真空泵报价您了解干式真空泵的优势吗?

完全电子智能化设计,可以很方便地多方位与DCS系统联接,通过Modem联接可以实现就地和远程控制;辅助模块的模块化设计可以满足大量的乃至是苛刻的流程的应用;设计可以满足不同的压力要求:压力比可高达 100,000:1 (吸入压力< 0.01 mbar 绝压);吸气量可达1,000 m3/h (更大吸气量的泵在开发中,目前可用机械的增压泵与干式泵组合来满足对大的吸气量的要求);噪音水平低于75Db(A)(噪音低于好轿车内部分贝)维修方便,可以快速和方便地拆卸和更换泵的内件。整机通过欧洲ATEX防爆条例认证。
日本KASHIYAMA MU1218P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU1218P/H |
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MAX排气速度(L/min) |
20000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力(KW) |
1.4KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
870×380×751 |
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质量【kg】 |
280kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
MU1218P/H主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本 浚和(上海)仪器有限公司的干式真空泵系列有Neodry系列、MU系列、SDE系列等。

日本KASHIYAMA SDE20M20干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDE20M20 |
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MAX排气速度(L/min) |
30000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
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外型尺寸WHL [mm] |
450×950×1000 |
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE20M20主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
干式真空泵的主要特点有很多。成都SDL12E50干式真空泵维修点
干式真空泵的系列有:多级罗茨干式真空泵、涡旋干式真空泵、螺杆干式真空泵、爪式干式真空泵等。成都SDL12E50干式真空泵维修点
日本KASHIYAMA MU600X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU600X |
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MAX排气速度(L/min) |
10000 |
|
达到压力(Pa) |
0.5 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力(KW) |
0.6KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
230×520×530 |
|
质量【kg】 |
120kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU600X主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
成都SDL12E50干式真空泵维修点完全电子智能化设计,可以很方便地多方位与DCS系统联接,通过Modem联接可以实现就地和远程控制;辅助模块的模块化设计可以满足大量的乃至是苛刻的流程的应用;设计可以满足不同的压力要求:压力比可高达100,000:1(吸入压力