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北京樫山干式真空泵中国授权代理商

项目ＮｅｏＤｒｙ Serie...

干式真空泵基本参数

产地
日本
品牌
KASHIYAMA
型号
Neodry 36E
是否定制
否

干式真空泵企业商机

项目	ＮｅｏＤｒｙ Series Roots多段式干泵		涡旋式泵
特征	○	・采用多段Roots方式抽气部分无物理接触即使长时间运行也不会发生性能退化	△	・泵内滑动部的真空密封采用接触式的密封垫。因接触式密封会发生磨损。
维护性	○	・基本免维护	△	・需要定期的密封垫Ｏ／Ｈ（每年）（根据具体使用，有需要频繁更换的可能。）
维护成本	○	・洁净排气时维护周期可为3年一次。长期运行可降低维护成本。・更换部件很少，O / H费用便宜。・抽气部分无物理接触，无因磨损更换部件。	△	・每年需要维护。・密封垫贵・疏忽定期维护导致密封垫磨损加剧影响密封效果。另外回旋涡旋与固定涡旋接触，需要更换主要部件。
水蒸气排气能力	○	･水蒸气排气能力高。３５０ｇ/ｈr／２５０ｇ/ｈr （NeoDry36C／30Ｃ、15C）・气镇阀对到达压力性能的影响小。（有气镇阀时：２Pa以下）	△	･泵结构上不适合水蒸气排气。２５ｇ／ｄａｙ（１ｇ/ｈｒ）半导体、液晶行业用干式真空泵-KASHIYAMA.北京樫山干式真空泵中国授权代理商

日本KASHIYAMA MU1200X干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	MU1200X
MAX排气速度（L/min）	20000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V
消费电力（KW）	0.7KW
外型尺寸WHL [mm]	275×580×625
质量【kg】	165kg

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	MU1200X主机一台，电压AC三相200V	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

广州MU180X干式真空泵报价干式真空泵的系列有：多级罗茨干式真空泵、涡旋干式真空泵、螺杆干式真空泵、爪式干式真空泵等。

但是由于干式真空泵运行时内部存在苛刻的热条件，所以使用上述耐腐蚀材料来处理腐蚀性介质对无油干式真空泵是不适合的。此外使用铁剂金属高镀镍涂层材质，一旦出现细微的裂纹就会导致材料产生迅速的电化学腐蚀。那么是不是只要特殊设计能可靠地控制温度的设备把腐蚀性介质保持在气相状态，没有离子形式存在是不是就不存在腐蚀了？答案是肯定的。该泵应用其自身先进的冷却系统，可以调整泵腔内及转子的温度，使之没有离子形式存在，全都气化，从而避免腐蚀。所以此螺杆干式真空泵转子采用不锈钢，不做任何涂层，降低了成本，增加了安全性能。

日本KASHIYAMA MU20M18P/H干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	MU20M18P/H
MAX排气速度（L/min）	30000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V
消费电力（KW）	2.0KW
外型尺寸WHL [mm]	500×950×1100
质量【kg】	340kg

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	MU20M18P/H主机一台，电压AC三相200V	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本干式真空泵的优点有很多。

干式真空泵的应用范围比较广，主要有以下几个方面：

1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

浚和（上海）仪器有限公司为日本KASHIYAMA干式真空泵中国区授权代理商。广州SDE1220干式真空泵

您喜欢干式真空泵的这些特点吗？北京樫山干式真空泵中国授权代理商

干式真空泵与油泵的性能比较：

项目	ＮｅｏＤｒｙ Series 干式真空泵		油泵
特征	○	・不使用液体密封泵腔，可以得到干净的真空。	△	・使用油密封得不到干净的真空。・排气时会在排气口产生油雾。・根据使用情况，密封用油中会混入水蒸气·溶剂使油质变差影响性能。・泵的周围会因油雾污染环境。
维护性	○	・基本上免维护	△	・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。（根据使用情况，需要频繁更换）
维护成本	○	・洁净排气时维护周期可为3年一次。长期运行可降低维护成本。・更换部件很少，O / H费用便宜。・抽气部分无物理接触，无因磨损更换部件。	△	・油需定期更换产生费用。（使用氟油的情况费用较高）・需要更换叶片及阀门。（因叶片为接触式）
初始投资成本	△	・与油泵相比相对较高。	○	・与干泵相比较便宜。
**设备费用	○	・不需要油雾凝气阀	△	・需要油雾凝气阀。・需要油盘。北京樫山干式真空泵中国授权代理商