四川雅玛拓高温无氧烘箱

无氧烘箱适用范围

       无氧化烘箱在工作时，工作室内充满了惰性气体CO2或者N2,形成高温、低氧（无氧）或者洁净环境（无氧洁净烤箱），防止材料在烘烤时被氧化。适用于半导体、光电元件、能原材料、通讯产品、机电产品等作无氧化干燥、固化、焊接、退火等高温处理；封装测试；光刻工艺有机聚合物膜预固化、坚膜；银浆固化、模后固化、电镀退火；基板除潮、晶圆干燥退火等。广泛应用于电子产品、五金制品、医疗卫生、仪器仪表、工厂、高等院校、科研等行业。 俊和（上海）仪器有限公司正规代理YAMATO雅马拓DNN630C厌氧高温气氛炉。四川雅玛拓高温无氧烘箱

真空烘箱安装工作

1、真空烘箱查缉配件。

2、将真空烘箱箱体与各附件就位，并调试水准高度差。

3、连署收并管理道及真空系统。周密的抽气机连署见随机附带的抽气机运用文字说明。

4、连署扼制电路。

5、关闭真空烘箱箱门尝试真空功能。

6、设定加热温度，开启加热尝试加热功能。

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实验室仪器高温无氧烘箱高性能高效气氛炉禁止将潮湿工件装入炉膛内，含有过高水份的被加热工件应预先烘干。

C1-008 洁净厌氧高温气氛炉（YAMATO）

用途：光刻工艺后段，光刻胶固化。

●MAX工作温度360℃和600℃、洁净度100级、氧浓度20ppm以下。

●程序运转功能，有自动/手动两种操作模式。

●快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。

●配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。

●全不锈钢材质。

●在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。

室温+30～360℃ 规格参数：

温度范围：室温+30～360℃

温度分布精度：±4.0℃（at 360℃）

温度上升时间：60min（室温→360℃）

温度下降时间：90min（360℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

洁净度：100级

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

室温室温+50～500℃ 规格参数：

温度范围：室温+50～500℃

温度分布精度：±8.0℃（a500℃）

温度上升时间：90min（室温→500℃）

温度下降时间：120min（500℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

洁净度：100级

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

DTN650C洁净厌氧高温气氛炉 相关参数及规格(YAMATO)

1、方式：氮气置换+ 强制送风循环

2、性能：

①使用温度范围：室温+50～500℃

②温度调节精度：±1.0℃（at500℃）

③温度分布精度：±8.0℃（at500℃）

④MAX温度到达时间：约110分钟

⑤氧浓度：20ppm 以下

⑥氧浓度到达时间：≤ 25分（250L/min 氮气）

⑦洁净度：温度恒定时100级

3、构成：

①内装：不锈钢板

②外装：冷轧钢板，表面耐药品性涂装

③断热材：硅酸铝棉

④加热方式：不锈钢加热管

⑤加热功率：主加热器14.2KW

⑥N2预热：1KW

⑦冷却机构：不锈钢冷却水换热器

⑧HEPA过滤器：集尘效率：0.3um粒子99.97%以上

4、控制器：

①温度控制方式：PID控制

②温度控制器：液晶触摸屏+PLC

③运行功能：手动定值运行、自动程序运行

④程序模式：程序运行9个，每个程序可设置9步（可扩展）

⑤附加功能：操作员等级认证

⑥加热器回路控制：SSR驱动

⑦传感器：K型热电偶（温度控制及过升防止器）

5、安全装置：门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2 预热温度过升、水压低检测、N2 压力低检测、冷却水流量检测、N2 流量检测、风机过载检测、过电流漏电保护开关等 YAMATO光刻胶烤箱可以实现处理温度500℃，洁净度100级，氧浓度低于20ppm.

使用高温炉应该选择储备哪些备件？

1、加热元件和隔热屏

       加热元件和隔热屏蔽作为手头备件是特别重要的，因为它们是高温炉的心脏，具有许多不同的大小和配置，往往又不是一个容易储存的部件。这些部件会随着时间的推移缓慢降解，具体取决于它们所接触到的温度、气体和污染物。检查加热器和屏蔽工作效率的一个简单方法，是将给定温度下热区的用电量与操作手册中列出的功耗进行比较。如果总体KVA使用量增加，或者电压和电流与这些数字严重偏离，则可能表示加热器有一定损耗。温度均匀性测试还可以提供有关加热区状况的重要数据。

2、传感器

  热电偶通常是用于测量温度的主要传感器。虽然它们通常被护套延长寿命，但随着时间的推移，它们容易漂移，需要定期更换，以确保准确的反馈温度。真空和压力传感器也需要定期检查精度和性能。许多用户都有一个校准计划来做到这一点。

3、密封

  密封件相对便宜，建议在进行维护时更换，以确保真空完整性。对于正压运转的炉子，室内气废气阀是另一个应作为备用物品保留的物品。这些阀门可能暴露于许多挥发性物质，它们往往聚集在这个阀门上，通过他们冷却排出炉体。

高温无氧烘箱箱壁接缝全部采用氩弧焊焊接，密封性能，能快速去氧或降温，有助于提高产品质量。四川雅玛拓高温无氧烘箱

DNN460C厌氧高温气氛炉 相关参数及规格（YAMATO）

规格：

内尺寸（宽×深×高mm）：450×450×450

外形尺寸（宽×深×高mm）：1240×1010×1750

内容积：91L

棚板层数/层间距：12层/30mm

排气口：40KF法兰

氮气入口：Rc1/2

冷却水入口：Rc3/4

热水出口：Rc3/4，2个

电源（50/60Hz）额定电流：3相AC380V 20A

重量：约800kg

选购品：棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯（待机/ 运行/ 故障）、以太网通信功能

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