四川高温无氧烘箱工艺试验

无氧烘箱适用范围

       无氧化烘箱在工作时，工作室内充满了惰性气体CO2或者N2,形成高温、低氧（无氧）或者洁净环境（无氧洁净烤箱），防止材料在烘烤时被氧化。适用于半导体、光电元件、能原材料、通讯产品、机电产品等作无氧化干燥、固化、焊接、退火等高温处理；封装测试；光刻工艺有机聚合物膜预固化、坚膜；银浆固化、模后固化、电镀退火；基板除潮、晶圆干燥退火等。广泛应用于电子产品、五金制品、医疗卫生、仪器仪表、工厂、高等院校、科研等行业。 俊和（上海）仪器有限公司正规代理YAMATO雅马拓C1-007厌氧高温气氛炉。四川高温无氧烘箱工艺试验

无氧烘箱与普通工业烘箱的比较

       无氧烘箱应用于航空、航天、石油、化工、船舶、电子、通讯等科研及生产单位，主要作BPO胶/PI胶/BCB胶固化，IC（晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别）、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干，电工产品、材料、零备等的高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。

一、无氧烘箱与普通工业烘箱在结构上的区别

       无氧烘箱会对内箱进行满焊，同时做密封处理，这样充入的惰性气体就不会泄露，同时保证了内部的无氧环境。而普通烘箱内箱虽然也是满焊，但是没有做密封处理。

二、无氧烘箱与普通工业烘箱在控制系统上的区别

       无氧烘箱需要增加氮气控制系统，同时需要有延时加热功能，就是说在加热之前进行延时充氮，以此来保证加热时箱内已经形成无氧环境，避免高温氧化。当然，一些其他的控制技术包括双流量充氮省能源控制等方式也被许多用户采纳，即双流量+延时加热，大流量氮气充入，延时加热，当箱内充满氮气后，自动切换为小流量以此节省氮气。 而普通烘箱则没有这些功能。

C1-007厌氧高温气氛炉（YAMATO）

●用途：电子元器件高温处理工艺。

●用途：光刻工艺后段，光刻胶固化。

●MAX工作温度360℃和600℃、氧浓度20ppm以下。

●程序运转功能，有自动/手动两种操作模式。

●快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。

●配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。

●在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异

●常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。

室温+30～360℃ 规格参数：

温度范围室温：+30～360℃

温度分布精度：±4.0℃（at 360℃）

温度上升时间：60min（室温→360℃）

温度下降时间：90min（360℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

运转功能：定值运转、程序运转

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

室温+50～600℃ 规格参数：

温度范围室温：室温+50～600℃

温度分布精度：±8.0℃（at 600℃）

温度上升时间：90min（室温→600℃）

温度下降时间：120min（600℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

运转功能：定值运转、程序运转

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

使用高温炉应该选择储备哪些备件？

1、加热元件和隔热屏

       加热元件和隔热屏蔽作为手头备件是特别重要的，因为它们是高温炉的心脏，具有许多不同的大小和配置，往往又不是一个容易储存的部件。这些部件会随着时间的推移缓慢降解，具体取决于它们所接触到的温度、气体和污染物。检查加热器和屏蔽工作效率的一个简单方法，是将给定温度下热区的用电量与操作手册中列出的功耗进行比较。如果总体KVA使用量增加，或者电压和电流与这些数字严重偏离，则可能表示加热器有一定损耗。温度均匀性测试还可以提供有关加热区状况的重要数据。

2、传感器

  热电偶通常是用于测量温度的主要传感器。虽然它们通常被护套延长寿命，但随着时间的推移，它们容易漂移，需要定期更换，以确保准确的反馈温度。真空和压力传感器也需要定期检查精度和性能。许多用户都有一个校准计划来做到这一点。

3、密封

  密封件相对便宜，建议在进行维护时更换，以确保真空完整性。对于正压运转的炉子，室内气废气阀是另一个应作为备用物品保留的物品。这些阀门可能暴露于许多挥发性物质，它们往往聚集在这个阀门上，通过他们冷却排出炉体。

高温无氧烘箱分为常压高温无氧烘箱和真空高温无氧烘箱两类

       高温无氧烘箱分为常压高温无氧烘箱和真空高温无氧烘箱两类，在真空下操作可降低空间的湿分蒸汽分压而加速干燥过程，且可降低湿分沸点和物料干燥温度，蒸汽不易外泄，所以，真空高温无氧烘箱适用于干燥热敏性、易氧化、易爆和有毒物料以及湿分蒸汽需要回收的场合。 高温无氧烘箱通过加热使物料中的湿分（一般指水分或其他可挥发性液体成分）汽化逸出，以获得规定湿含量的固体物料。 加热元件和隔热屏蔽作为手头备件是特别重要的，因为它们是高温炉的心脏。浙江实验室仪器高温无氧烘箱

高温无氧烘箱工作室内充满了惰性气体CO2或者N2,形成高温、无氧或者洁净环境，防止材料在烘烤时被氧化。四川高温无氧烘箱工艺试验

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