日本KASHIYAMA MU20M18X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU20M18X |
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MAX排气速度(L/min) |
30000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力(KW) |
1.5KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
500×950×1100 |
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质量【kg】 |
340kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
MU20M18X主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
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3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本 买日本KASHIYAMA干式真空泵选择浚和(上海)仪器有限公司。樫山干式真空泵正规代理

日本KASHIYAMA MU300P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU300P/H |
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MAX排气速度(L/min) |
5000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力(KW) |
0.9KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
350×520×630 |
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质量【kg】 |
110kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU300P/H主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
东莞NEODRY 30E干式真空泵干式真空泵的好处有很多。

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项 目 |
NeoDry Series Roots多段式干泵 |
涡旋式泵 |
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特 征 |
○ |
・采用多段Roots方式抽气部分无物理接触即使长时间运行也不会发生性能退化 |
△ |
・泵内滑动部的真空密封采用接触式的密封垫。因接触式密封会发生磨损。 |
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维护性 |
○ |
・基本免维护 |
△ |
・需要定期的密封垫O/H(每年) (根据具体使用,有需要频繁更换的可能。) |
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维护成本 |
○ |
・洁净排气时维护周期可为3年一次。长期运行可降低维护成本。 ・更换部件很少,O / H费用便宜。 ・抽气部分无物理接触,无因磨损更换部件。 |
△ |
・每年需要维护。 ・密封垫贵 ・疏忽定期维护导致密封垫磨损加剧影响密封效果。另外回旋涡旋与固定涡旋接触,需要更换主要部件。 |
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水蒸气排气能力 |
○ |
・水蒸气排气能力高。 350g/hr/250g/hr (NeoDry36C/30C、15C) ・气镇阀对到达压力性能的影响小。 (有气镇阀时:2Pa以下) |
△ |
・泵结构上不适合水蒸气排气。 25g/day(1g/hr) |
日本KASHIYAMA SDE30M20干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
|
式样 |
SDE30M20 |
|
MAX排气速度(L/min) |
50000 |
|
达到压力(Pa) |
0.5 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
|
外型尺寸WHL [mm] |
450×950×1000 |
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE30M20主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
浚和(上海)仪器有限公司专业干式真空泵供应商。

KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX设备简介(包括对功能的基本介绍):
① SDE603TX 立式螺杆真空干泵,尺寸: W:400×H:905×L:760MM,MAX排气速度10000L/min,立式螺杆设计排气线路短,不容易发生卡死。转子材质为镍合金,防腐蚀能力优越,使用时内部温度高,适用于比较苛刻的工艺制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。
2、系统组成:
1) 罗茨泵 (SDE120TX) 1
2) 机械增压泵(KMB603) 1
3) 电源盒 1
4) 操作手柄1
5) 连接件 1
6) 消音器(SR-19) 1
浚和(上海)仪器有限公司为KASHIYAMA干式真空泵中国地区客户提供现货。成都MU180X干式真空泵授权代理
买干式真空泵找浚和(上海)仪器有限公司。樫山干式真空泵正规代理
日本KASHIYAMA SDL36E60干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDL36E60 |
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MAX排气速度(L/min) |
60000 |
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达到压力(Pa) |
0.8 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
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外型尺寸WHL [mm] |
850×1295×1370 |
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重量(kg) |
920 |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDL36E60主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 樫山干式真空泵正规代理
完全电子智能化设计,可以很方便地多方位与DCS系统联接,通过Modem联接可以实现就地和远程控制;辅助模块的模块化设计可以满足大量的乃至是苛刻的流程的应用;设计可以满足不同的压力要求:压力比可高达100,000:1(吸入压力