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苏州MU180X干式真空泵中国授权代理商

KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX设备简介（包括对功能的基本介绍）： ① SDE...

干式真空泵基本参数

产地
日本
品牌
KASHIYAMA
型号
Neodry 36E
是否定制
否

干式真空泵企业商机

KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX设备简介（包括对功能的基本介绍）：

① SDE603TX 立式螺杆真空干泵,尺寸： W:400×H:905×L:760ＭＭ，MAX排气速度10000L/min，立式螺杆设计排气线路短，不容易发生卡死。转子材质为镍合金，防腐蚀能力优越,使用时内部温度高，适用于比较苛刻的工艺制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。

2、系统组成：

1) 罗茨泵 (SDE120TX) 1

2) 机械增压泵(KMB603) 1

3) 电源盒 1

4) 操作手柄1

5) 连接件 1

6) 消音器(SR-19) 1

干式真空泵的好处都有：清洁环保:工作腔内无其他杂质,可获得清洁真空;真空度高:间隙设计和压缩方式良好。苏州MU180X干式真空泵中国授权代理商

日本KASHIYAMA SDE20M12TX干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	SDE20M12TX
MAX排气速度（L/min）	30000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V，380-480V
外型尺寸WHL [mm]	460×960×900

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	SDE20M12TX主机一台	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。

上海干式真空泵报价浚和（上海）仪器有限公司KASHIYAMA干式真空泵现货促销中。

项目	ＮｅｏＤｒｙ Series Roots多段式干泵		涡旋式泵
特征	○	・采用多段Roots方式抽气部分无物理接触即使长时间运行也不会发生性能退化	△	・泵内滑动部的真空密封采用接触式的密封垫。因接触式密封会发生磨损。
维护性	○	・基本免维护	△	・需要定期的密封垫Ｏ／Ｈ（每年）（根据具体使用，有需要频繁更换的可能。）
维护成本	○	・洁净排气时维护周期可为3年一次。长期运行可降低维护成本。・更换部件很少，O / H费用便宜。・抽气部分无物理接触，无因磨损更换部件。	△	・每年需要维护。・密封垫贵・疏忽定期维护导致密封垫磨损加剧影响密封效果。另外回旋涡旋与固定涡旋接触，需要更换主要部件。
水蒸气排气能力	○	･水蒸气排气能力高。３５０ｇ/ｈr／２５０ｇ/ｈr （NeoDry36C／30Ｃ、15C）・气镇阀对到达压力性能的影响小。（有气镇阀时：２Pa以下）	△	･泵结构上不适合水蒸气排气。２５ｇ／ｄａｙ（１ｇ/ｈｒ）

日本KASHIYAMA MU1200X干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	MU1200X
MAX排气速度（L/min）	20000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V
消费电力（KW）	0.7KW
外型尺寸WHL [mm]	275×580×625
质量【kg】	165kg

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	MU1200X主机一台，电压AC三相200V	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

干式真空泵的优势您了解多少呢？

干式真空泵与油泵的性能比较：

项目	ＮｅｏＤｒｙ Series 干式真空泵		油泵
特征	○	・不使用液体密封泵腔，可以得到干净的真空。	△	・使用油密封得不到干净的真空。・排气时会在排气口产生油雾。・根据使用情况，密封用油中会混入水蒸气·溶剂使油质变差影响性能。・泵的周围会因油雾污染环境。
维护性	○	・基本上免维护	△	・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。（根据使用情况，需要频繁更换）
维护成本	○	・洁净排气时维护周期可为3年一次。长期运行可降低维护成本。・更换部件很少，O / H费用便宜。・抽气部分无物理接触，无因磨损更换部件。	△	・油需定期更换产生费用。（使用氟油的情况费用较高）・需要更换叶片及阀门。（因叶片为接触式）
初始投资成本	△	・与油泵相比相对较高。	○	・与干泵相比较便宜。
**设备费用	○	・不需要油雾凝气阀	△	・需要油雾凝气阀。・需要油盘。半导体、液晶行业用干式真空泵-KASHIYAMA.苏州KASHIYAMA干式真空泵价格

一个好的干式真空泵需要具备哪些特点您知道吗？苏州MU180X干式真空泵中国授权代理商

日本KASHIYAMA MU100P/H干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	MU100P/H
MAX排气速度（L/min）	1660
达到压力（Pa）	3.0
电源电压	3相 AC200-220V
消费电力（KW）	0.7KW
外型尺寸WHL [mm]	350×360×630
质量【kg】	70kg

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	MU100P/H主机一台，电压AC三相200V	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含