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广州MU100X干式真空泵正规代理

干式真空泵的应用范围比较广，主要有以下几个方面： 1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中； 2）半导体...

干式真空泵基本参数

产地
日本
品牌
KASHIYAMA
型号
Neodry 36E
是否定制
否

干式真空泵企业商机

干式真空泵的应用范围比较广，主要有以下几个方面：

1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

对于不同的需求我们选择不同的干式真空泵系列。广州MU100X干式真空泵正规代理

日本KASHIYAMA SDL12E50/60干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	SDL12E50/60
MAX排气速度（L/min）	25000
达到压力（Pa）	0.8
电源电压	3相 AC200-220V，380-480V
外型尺寸WHL [mm]	520×1050×1020
重量（kg）	645

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	SDL12E50/60主机一台	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。东莞KASHIYAMA干式真空泵代理商浚和（上海）仪器有限公司专业干式真空泵供应商。

日本KASHIYAMA MU600X干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	MU600X
MAX排气速度（L/min）	10000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V
消费电力（KW）	0.6KW
外型尺寸WHL [mm]	230×520×530
质量【kg】	120kg

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	MU600X主机一台，电压AC三相200V	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX技术参数：

型号项目		SDE603TX
注１）MAX排气速度		10000 L/min
注１）极限压力		0.5 Pa
加速时间加速時間		35s
减速时间減速時間		Free Run
MAX进气口压力		大气压注２）在3～30kPa的情况下运行时间请保持在30分钟以内
MAX排气背压（计示压力）		3kPa以下
电机输出功率		3.1kW
进气口（法兰）		ISO100
排气口（法兰）		ＮＷ25
润滑油量		1.2L（含氟油）

电源	电压	3相、200~220V 50/60 Hz 注３）允许电压变动值 ±10％
	容量	10.5 kVA
	运行电流	50A
	漏电流	约30 mA
冷却水	MAX供压（计示压力）	0.5MPa
	**小压差	0.3MPa
	流量	4~8 L/min
	供水温度	10~25 ℃
	放出热量	约 1800kJ/h
注４）氮气	向干泵供给压（规压）	0.1~0.7MPa
	流量	0~80SLM 干式真空泵的多种系列总有一款是您满意。

干式螺杆真空泵选型

干式螺杆真空泵在其工作压力下，应能排走真空泵设备工艺过程中产生的全部气体量。

每种泵都有一定的工作压力范围，因而，泵的工作点应该选择在这个范围之内，而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。

干式螺杆真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。

选择真空机组：

了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸汽，有无颗粒灰尘、有无腐蚀性等。选择干式螺杆真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

干式螺杆真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响，若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

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干式真空泵的好处您了解吗？广州MU100X干式真空泵正规代理

日本KASHIYAMA MU100X 技术参数以及配置清单

一、MU100X技术参数：

式样	MU100X
ZUI大排气速度（L/min）	1660
达到压力（Pa）	1.5
电源电压	3相 AC200-220V
消费电力（KW）	0.35KW
外型尺寸WHL [mm]	230×275×450
质量【kg】	60kg

二、MU100X配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	MU100X主机一台，电压AC三相200V	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含