雅玛拓高温无氧烘箱安全性

C1-007厌氧高温气氛炉（YAMATO）

●用途：电子元器件高温处理工艺。

●用途：光刻工艺后段，光刻胶固化。

●MAX工作温度360℃和600℃、氧浓度20ppm以下。

●程序运转功能，有自动/手动两种操作模式。

●快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。

●配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。

●在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异

●常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。

室温+30～360℃ 规格参数：

温度范围室温：+30～360℃

温度分布精度：±4.0℃（at 360℃）

温度上升时间：60min（室温→360℃）

温度下降时间：90min（360℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

运转功能：定值运转、程序运转

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

室温+50～600℃ 规格参数：

温度范围室温：室温+50～600℃

温度分布精度：±8.0℃（at 600℃）

温度上升时间：90min（室温→600℃）

温度下降时间：120min（600℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

运转功能：定值运转、程序运转

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

洁净厌氧高温气氛炉采用耐热高性能高效过滤器，箱内洁净度始终保持在100级，可在洁净的环境进行高温烘烤。雅玛拓高温无氧烘箱安全性

在使用烘箱时需要知道的五个知识点  

    现在烘箱很多地方都能用到，但有些地方是不可以用的，用时也有很多注意事项的，下面来列举一下，在使用烘箱时常见的五个知识点，希望对您有所帮助。

  1、可燃性和挥发性的化学物品切勿放入箱内。

  2、如在使用过程中出现异常、气味、烟雾等情况，请立即关闭电源，用户切勿盲目修理，应通知本公司修理部，由专业人员查看修理。

  3、烘箱箱壁内胆和设备表面要经常擦试，以保持清洁，增加玻璃的透明度。请勿用酸、碱或其它腐蚀性溶液来擦试外表面。可选用中性洗涤剂来清洁。

  4、烘箱长期不用，应拨掉电源线以防止设备损伤。并应定期(一般一季度)按使用条件运行2-3天，以驱除电器部分的潮气，避免损坏有关器件。

  5、烘箱箱体顶部为电气控制柜，方便于集中检查维修，维修前请与我司售后联系确认。

*文章*为个人观点，不作为技术参考。具体操作请在技术人员指导下进行。 天津高温无氧烘箱DNN460C洁净度100级、氧浓度低于20ppm的光刻胶烤箱，主要应用于固化半导体晶圆等。

DNN630C厌氧高温气氛炉 相关参数及规格（YAMATO）

1、方式：氮气置换+ 强制送风循环

2、性能：

①使用温度范围：室温+50～360℃

②温度调节精度：±0.5℃（at360℃）

③温度分布精度：±5.0℃（at360℃）

④MAX温度到达时间：约80分钟

⑤氧浓度：20ppm 以下

⑥氧浓度到达时间：≤ 25分（250L/min 氮气）

3、构成：

①内装：不锈钢板

②外装：冷轧钢板，表面耐药品性涂装

③断热材：硅酸铝棉

④加热方式：不锈钢加热管

⑤加热功率：主加热器9KW

⑥N2预热：1KW

⑦冷却机构：不锈钢冷却水换热器

4、控制器：

①温度控制方式：PID控制

②温度控制器：液晶触摸屏+PLC

③运行功能：手动定值运行、自动程序运行

④程序模式：程序运行9个，每个程序可设置9步（可扩展）

⑤附加功能：操作员等级认证

⑥加热器回路控制：SSR驱动

⑦传感器：K型热电偶（温度控制及过升防止器）

5、安全装置：门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2 预热温度过升、水压低检测、N2 压力低检测、冷却水流量检测、N2 流量检测、风机过载检测、过电流漏电保护开关等

真空烘箱安装工作

1、真空烘箱查缉配件。

2、将真空烘箱箱体与各附件就位，并调试水准高度差。

3、连署收并管理道及真空系统。周密的抽气机连署见随机附带的抽气机运用文字说明。

4、连署扼制电路。

5、关闭真空烘箱箱门尝试真空功能。

6、设定加热温度，开启加热尝试加热功能。

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YAMATO洁净厌氧高温气氛炉应用于固化半导体晶圆（光刻胶PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。

DTN450C洁净厌氧高温气氛炉 相关参数及规格(YAMATO)

1、方式：氮气置换+ 强制送风循环

2、性能：

①使用温度范围：室温+50～500℃

②温度调节精度：±1.0℃（at500℃）

③温度分布精度：±8.0℃（at500℃）

④MAX温度到达时间：约110分钟

⑤氧浓度：20ppm 以下

⑥氧浓度到达时间：≤ 20分（250L/min 氮气）

⑦洁净度：温度恒定时100级

3、构成：

①内装：不锈钢板

②外装：冷轧钢板，表面耐药品性涂装

③断热材：硅酸铝棉

④加热方式：不锈钢加热管

⑤加热功率：主加热器9.5KW

⑥N2预热：1KW

⑦冷却机构：不锈钢冷却水换热器

⑧HEPA过滤器：集尘效率：0.3um粒子99.97%以上

4、控制器：

①温度控制方式：PID控制

②温度控制器：液晶触摸屏+PLC

③运行功能：手动定值运行、自动程序运行

④程序模式：程序运行9个，每个程序可设置9步（可扩展）

⑤附加功能：操作员等级认证

⑥加热器回路控制：SSR驱动

⑦传感器：K型热电偶（温度控制及过升防止器）

5、安全装置：门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2 预热温度过升、水压低检测、N2 压力低检测、冷却水流量检测、N2 流量检测、风机过载检测、过电流漏电保护开关等 烘箱箱壁内胆和设备表面要经常擦试，以保持清洁，增加玻璃的透明度。高温无氧烘箱储备备件

高温无氧烘箱温控系统控制器采用8段微电脑温度控制器，具有PID控制参数自动整定功能。雅玛拓高温无氧烘箱安全性

无氧烘箱适用范围

       无氧化烘箱在工作时，工作室内充满了惰性气体CO2或者N2,形成高温、低氧（无氧）或者洁净环境（无氧洁净烤箱），防止材料在烘烤时被氧化。适用于半导体、光电元件、能原材料、通讯产品、机电产品等作无氧化干燥、固化、焊接、退火等高温处理；封装测试；光刻工艺有机聚合物膜预固化、坚膜；银浆固化、模后固化、电镀退火；基板除潮、晶圆干燥退火等。广泛应用于电子产品、五金制品、医疗卫生、仪器仪表、工厂、高等院校、科研等行业。 雅玛拓高温无氧烘箱安全性