- 产地
- 日本
- 品牌
- KASHIYAMA
- 型号
- Neodry 36E
- 是否定制
- 否
日本KASHIYAMA SDE120TX 技术参数&配置清单
一、 技术参数：
适合于一些比较苛刻的工艺，比如Meteal-Etch、 SA-CVD、Metal-CVD、PE-CVD、LP-CVD、ALD等
|
式样 |
SDE120TX |
|
ZUI大排气速度（L/min） |
1500 |
|
达到压力（Pa） |
1.3 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力（KW） |
6.5KVA |
|
吸气口 |
NW50 |
|
排气口 |
NW40 |
|
外型尺寸WHL [mm] |
280×299×550 |
|
质量【kg】 |
151kg |
二、 配置清单：
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE120TX主机一台，电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器（原厂件，选配） |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器（选配，非原厂件） |
|
未包含 |
浚和（上海）仪器有限公司KASHIYAMA干式真空泵现货促销中。广州干式真空泵维修
日本KASHIYAMA MU20M18P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数：
|
式样 |
MU20M18P/H |
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MAX排气速度（L/min） |
30000 |
|
达到压力（Pa） |
0.5 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力（KW） |
2.0KW |
|
外型尺寸WHL [mm] |
500×950×1100 |
|
质量【kg】 |
340kg |
二、 配置清单：
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU20M18P/H主机一台，电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器（原厂件，选配） |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器（选配，非原厂件） |
|
未包含 |
设备原产地：日本 MU100X干式真空泵授权代理浚和（上海）仪器有限公司为日本KASHIYAMA干式真空泵中国区授权代理商。
日本KASHIYAMA MU1200X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数：
|
式样 |
MU1200X |
|
MAX排气速度（L/min） |
20000 |
|
达到压力（Pa） |
0.5 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力（KW） |
0.7KW |
|
外型尺寸WHL [mm] |
275×580×625 |
|
质量【kg】 |
165kg |
二、 配置清单：
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU1200X主机一台，电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器（原厂件，选配） |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器（选配，非原厂件） |
|
未包含 |
设备原产地：日本
|
型号 |
ＮｅｏＤｒｙ7E |
ＮｅｏＤｒｙ15E |
ＮｅｏＤｒｙ３0E |
ＮｅｏＤｒｙ３6E |
ＮｅｏＤｒｙ60E |
|
Zui大排气速度 |
120L/min |
250L/min |
500L/min |
600L/min |
1000L/min |
|
电源式样 注1） |
单相：200-240V/三相：200-240V |
||||
|
到达压力 |
5．0Pa |
１．０Pa |
|||
|
Zui大允许进气压力 |
大气压 |
||||
|
Zui大水蒸气处理量 注2） |
注3） 120ｇ／ｈ |
250g/h 注3） |
注3） ３５０ ｇ／ｈ |
注3） 600ｇ／ｈ |
|
|
使用电动机 |
０．４ ｋＷ |
０．７５ｋW |
1.5ｋW |
||
|
进气口径 |
KF２５（法兰接头） |
KF４０（法兰接头） |
|||
|
排气口径 |
KF２５（法兰接头） |
||||
|
概略重量 |
19ｋｇ |
23 ｋｇ |
25 ｋｇ |
54 ｋｇ |
56kg |
|
噪音（dB(A)） |
≤５６ |
≤58 |
≤60 |
||
|
注１）如使用其他电源，请与我司联系。 注２）水分或凝性气体抽取时需使用气镇阀（选配）。 注３） 气镇阀（选配）全开时的Zui大水分处理量。但气镇阀全开时到达压力为１０Pa左右。 一个好的干式真空泵需要具备哪些特点您知道吗？ |
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樫山真空集中了经半导体，液晶行业等所研发的技术，针对一般工业应用
开发了长时间运行也不会发生性能退化的小型空冷干泵NeoDry系列。
Ⅱ，特 征
ⅰ） 采用多段ROOTS方式 （抽气部分为非物理性接触构造），
不会因长时间的运行导致设备性能下降。
ⅱ） 保养周期长，因需更换的零件少，可降低后期保养费用。
iii ) 通过选购气镇阀，使设备具有水汽排气性能。
浚和（上海）仪器有限公司专业致力于干式真空泵生产。MU180X干式真空泵维修点
干式真空泵的优点有很多。广州干式真空泵维修
干式真空泵的种类特征
螺杆式
利用螺杆型Rotor进行排气输送的容积移送式干式真空泵。
罗茨式
在3片式Rotor和Casing之间的空间运送气体的容积移送式干式真空泵。
爪式
复数的爪型Rotor以轴平行排列，进行相互逆回转来移送气体的干式真空泵。
涡旋式
利用涡旋型的Stage及Rotor的运动组合来进行排气的真空泵。
隔膜式
藉由利用气缸内的隔膜的来回运动来进行排气的容积移送式真空泵。
活塞式
利用气缸内的活塞的来回运动来进行排气压缩以及排气的容积移送式真空泵。
广州干式真空泵维修
完全电子智能化设计，可以很方便地多方位与DCS系统联接，通过Modem联接可以实现就地和远程控制；辅助模块的模块化设计可以满足大量的乃至是苛刻的流程的应用；设计可以满足不同的压力要求：压力比可高达100,000:1(吸入压力
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