日本KASHIYAMA SDE20M12TX干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDE20M12TX |
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MAX排气速度(L/min) |
30000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
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外型尺寸WHL [mm] |
460×960×900 |
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
SDE20M12TX主机一台 |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
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3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
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4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
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5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
您了解干式真空泵的优势吗?成都SDE1220干式真空泵维修点

日本KASHIYAMA SDE20N12TX干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
|
式样 |
SDE20N12TX |
|
MAX排气速度(L/min) |
30000 |
|
达到压力(Pa) |
0.5 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
|
消费电力(KW) |
3.3KW |
|
外型尺寸WHL [mm] |
450×1000×1000 |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE20N12TX主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 常州NEODRY 30E干式真空泵维修点干式真空泵的不同系列会有不同的优势。

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型 号 项 目 |
SDE603TX |
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注1)MAX排气速度 |
10000 L/min |
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注1)极限压力 |
0.5 Pa |
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加速时间 加速時間 |
35s |
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减速时间 減速時間 |
Free Run |
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MAX进气口压力 |
大 气 压 注2)在3~30kPa的情况下运行时间请保持在30分钟以内 |
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MAX排气背压(计示压力) |
3kPa以下 |
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电机输出功率 |
3.1kW |
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进气口(法兰) |
ISO100 |
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排气口(法兰) |
NW25 |
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润滑油量 |
1.2L(含氟油) |
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电 源 |
电 压 |
3相、200~220V 50/60 Hz 注3) 允许电压变动值 ±10% |
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容 量 |
10.5 kVA |
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运行电流 |
50A |
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漏电流 |
约30 mA |
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冷却水 |
MAX供压 (计示压力) |
0.5MPa |
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**小压差
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0.3MPa |
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流 量 |
4~8 L/min |
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供水温度 |
10~25 ℃ |
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放出热量 |
约 1800kJ/h |
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注4) 氮 气 |
向干泵供给压 (规压) |
0.1~0.7MPa |
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流 量 |
0~80SLM |
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日本KASHIYAMA SDE200干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
|
式样 |
SDE200 |
|
MAX排气速度(L/min) |
3300 |
|
达到压力(Pa) |
1.3 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
|
消费电力(KW) |
2.7KW |
|
外型尺寸WHL [mm] |
370×501×690 |
二、 配置清单:
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE200主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 半导体、液晶行业用干式真空泵-KASHIYAMA.

KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX设备简介(包括对功能的基本介绍):
① SDE603TX 立式螺杆真空干泵,尺寸: W:400×H:905×L:760MM,MAX排气速度10000L/min,立式螺杆设计排气线路短,不容易发生卡死。转子材质为镍合金,防腐蚀能力优越,使用时内部温度高,适用于比较苛刻的工艺制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。
2、系统组成:
1) 罗茨泵 (SDE120TX) 1
2) 机械增压泵(KMB603) 1
3) 电源盒 1
4) 操作手柄1
5) 连接件 1
6) 消音器(SR-19) 1
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干式真空泵的无油环保特点成为了干式真空泵的主要卖点。成都SDE1220干式真空泵维修点
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