高温无氧烘箱C1-008

C1-007厌氧高温气氛炉（YAMATO）

●用途：电子元器件高温处理工艺。

●用途：光刻工艺后段，光刻胶固化。

●MAX工作温度360℃和600℃、氧浓度20ppm以下。

●程序运转功能，有自动/手动两种操作模式。

●快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。

●配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。

●在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异

●常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。

室温+30～360℃ 规格参数：

温度范围室温：+30～360℃

温度分布精度：±4.0℃（at 360℃）

温度上升时间：60min（室温→360℃）

温度下降时间：90min（360℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

运转功能：定值运转、程序运转

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

室温+50～600℃ 规格参数：

温度范围室温：室温+50～600℃

温度分布精度：±8.0℃（at 600℃）

温度上升时间：90min（室温→600℃）

温度下降时间：120min（600℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

运转功能：定值运转、程序运转

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

俊和（上海）仪器有限公司正规代理YAMATO雅马拓DTN650C洁净厌氧高温气氛炉。高温无氧烘箱C1-008

管式炉和气氛炉排出的H2和CO等还原气氛怎么处理

       在管式炉、气氛炉的应用中，经常要通入氢气和一氧化碳等还原气氛、但是实验过程中不一定能完全的燃烧掉。剩余的尾气要妥善处理，否则可能会引发中毒等危险事故。除了用专业的设备进行回收是否有简便的方法处置呢？

       如果尾气的量很小的话可以考虑加装自动燃烧装置将剩余的尾气进行燃烧处理。我们将尾气连接到一个小的燃烧室中，该燃烧室工作原理类似于燃气灶，只是将点火装置改成了光感应控制。当炉子开始工作时，燃烧装置同时启动，此时燃烧室内光线很弱，光感开关启动并控制电脉冲点火，当尾气被点燃后燃烧室内光线明亮，光感开关停止，电脉冲不再点火，尾气就被持续的燃烧完全，成为无害的气体或水排掉。如果中途熄灭了，光感开关将再次控制电脉冲点火，这样就可以达到自动燃烧的目的。

  该装置可以实现无人职守，方便实验人员干其他的事情，降低工作强度，提高实验效率。

河北高温无氧烘箱氧浓度低洁净度100级、氧浓度低于20ppm的光刻胶烤箱，主要应用于固化半导体晶圆等。

无氧烘箱温控系统及保护措施

一、无氧烘箱温控系统

1、控制器采用8段微电脑温度控制器，具有PID控制参数自动整定功能。

2、温度测量：采用特制锴装铂电阻；

二、完善的安全保护措施：

1、漏电断路器

2、超温保护

3、欠相保护

4、马达过载电流保护

5、机台异常蜂鸣器警示

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DNN460C厌氧高温气氛炉 相关参数及规格（YAMATO）

规格：

内尺寸（宽×深×高mm）：450×450×450

外形尺寸（宽×深×高mm）：1240×1010×1750

内容积：91L

棚板层数/层间距：12层/30mm

排气口：40KF法兰

氮气入口：Rc1/2

冷却水入口：Rc3/4

热水出口：Rc3/4，2个

电源（50/60Hz）额定电流：3相AC380V 20A

重量：约800kg

选购品：棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯（待机/ 运行/ 故障）、以太网通信功能

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高温无氧烘箱特点及用途

1、特点：

       箱壁接缝全部采用氩弧焊焊接，密封性能，能快速去氧或降温，有助于提高产品质量。可满足电子、医疗卫生、仪器仪表、工厂、高等院校、科研等部门作无氧化干燥的要求。

2、用途：

       厌氧烘箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、医药、实验室等生产及科研部门。

厌氧烘箱也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其它高温试验。

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固化聚酰亚胺（PI）选择YAMATO光刻胶烤箱。高温无氧烘箱C1-008

烘箱注意事项与保养

1、使用前注意电压是否正确，请使用机台上所标示之电压，避免电过量，而火灾发生。

2、马达运行方向是否正常，若出风口有气体排出则为正常。（只适用于三相电压380V的机型）

3、当显示温度与实际温度(由标准温度计测出）差异甚大时，不可随意调整线路板之零件或内部参数，应通知本公司派工作人员前往处理。

4、使用过程中温度变化时，请匆随意打开机门。

5、恒温时，当显示温度与设定温度有过冲或偏低现象，需进行自动演算，详见操作说明。

6、请匆将机台放置于潮湿之场所或直接用水冲洗，以防漏电。

7、禁止放置酒精、粘结剂等，具有可燃性、挥发性之物品于机台内，防止意外发生。

8、在机台附近使用可燃性物品，应适当远离，防止意外发生。

9、请小心将物品放入机台，温度在60度以上的请务必戴高温手套。

10、每次使用结束后，关闭电源。

11、打扫表面及内腔灰尘，保持机器清洁。

12、检查通风口是否堵塞，并清理积尘。

13、机台内的加热器要定期进行检查，除尘及其它杂残留物。

14、突然停电，要把加热开关关闭，防止来电时自动启动。

15、若长期停用，必须对箱体进行内、外清洁，拨掉电源插头罩上塑料防尘套。

*文章*为个人观点，具体操作请在技术人员指导下进行。

高温无氧烘箱C1-008

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