北京高温无氧烘箱高温热处理

气氛炉产生故障的注意及应急方法

       编制使用维护操作规程，建立运行记录和修理档案，统计运行累积工作时间，加强日常维护，掌握设备技术状态变化趋势，及早发现故障损坏苗头，避免属于事故抢修性质的热修，并根据电炉子负荷和工作状况，提前有针对性地准备修理用料，编制修理工艺。如合金元件的使用寿命长短与工作温度、炉内介质、元件质量及操作情况等许多因素有关，其波动寿命6000～10000h。

  气氛炉一般在春秋季节泄漏故障较多，长期闲置时泄漏故障易发生。我厂采取每月一次测压升率(在常温下，关闭所有真空阀，停止真空系统运转，1Omin后读一个数，1h后再读一个数，两数之差是压升率的数值)，掌握设备泄漏变化趋势，如真空设备连续停机一个礼拜，要空运转一次。

  在气氛炉系统检漏时，除用泥糊堵外，也可用医用针管吸乙醚射至漏点处，观察真空表读数有无变化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，进行检漏。扩散泵有积炭可用化学酸洗的方法清洗。

YAMATO光刻胶烤箱可以实现处理温度500℃，洁净度100级，氧浓度低于20ppm.北京高温无氧烘箱高温热处理

高温无氧烘箱分为常压高温无氧烘箱和真空高温无氧烘箱两类

       高温无氧烘箱分为常压高温无氧烘箱和真空高温无氧烘箱两类，在真空下操作可降低空间的湿分蒸汽分压而加速干燥过程，且可降低湿分沸点和物料干燥温度，蒸汽不易外泄，所以，真空高温无氧烘箱适用于干燥热敏性、易氧化、易爆和有毒物料以及湿分蒸汽需要回收的场合。 高温无氧烘箱通过加热使物料中的湿分（一般指水分或其他可挥发性液体成分）汽化逸出，以获得规定湿含量的固体物料。 广东高温无氧烘箱固化半导体晶圆浚和（上海）仪器有限公司为日本YAMATO光刻胶烤箱中国区授权代理。

DNN430C/630C/460C/660C 厌氧高温气氛炉（YAMATO）

       氧浓度20ppm、MAX工作温度600℃的气氛炉，适用于无氧环境下的高温热处理。

特点：

       ● MAX工作温度360℃和600℃、氧浓度低于20ppm，主要应用于电子元件退火、LTCC去除、玻璃基板退火、陶瓷脱脂等。

       ● 高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2消耗量低。

       ● 通过磁密封保持高气密性，并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。

       ● 可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。

       ● 标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。

       ● 液晶触摸屏操作，自动/手动两种运行模式。

安全性

       ● 拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电漏电保护开关等安装装置。

气氛炉抽真空效果不佳解决办法

一、检查气氛炉自身的密封性 

       检查一下炉壳，砌体，炉门及所有外界连接零件如风扇，热电偶，辐射管，推拉料机等处的密封性是否正常； 

二、检查气氛炉真空泵

       真空泵的好坏决定于其机械结构和油的质量，使用真空泵时必须把它保护好。如果蒸馏挥发性较大的有机溶剂时，有机溶剂会被油吸收结果增加了蒸气压，从而降低了抽空效能，如果是酸性气体，那就会腐蚀油泵，如果是水蒸气就会使油成乳浊液而抽坏真空泵。 高温无氧烘箱通过加热使物料中的湿分（水分或其他可挥发性液体成分）汽化逸出，获得规定湿含量的固体物料。

烘箱加热管的选择

       这边介绍主要用于烘箱的风道式加热器，可以采用碳钢材质、也可以采用不锈钢304材质或者316材质。可以根据客户烘烤的产品选择加热管的材质，正常情况下一般用碳钢材质或者不锈钢304材质，若客户烘烤产品带有弱酸碱性液体的，可以采用不锈钢316材质。若液体中有强酸的，就应该采用不锈钢316、聚四氟乙烯。

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烘箱箱壁内胆和设备表面要经常擦试，以保持清洁，增加玻璃的透明度。北京高温无氧烘箱高温热处理

DNN460C厌氧高温气氛炉 相关参数及规格（YAMATO）

1、方式：氮气置换+ 强制送风循环

2、性能：

①使用温度范围：室温+50～600℃

②温度调节精度：±1.0℃（at600℃）

③温度分布精度：±8.0℃（at600℃）

④MAX温度到达时间：约110分钟

⑤氧浓度：20ppm 以下

⑥氧浓度到达时间：≤ 20分（250L/min 氮气）

3、构成：

①内装：不锈钢板

②外装：冷轧钢板，表面耐药品性涂装

③断热材：硅酸铝棉

④加热方式：不锈钢加热管

⑤加热功率：主加热器9.5KW

⑥N2预热：1KW

⑦冷却机构：不锈钢冷却水换热器

4、控制器：

①温度控制方式：PID控制

②温度控制器：液晶触摸屏+PLC

③运行功能：手动定值运行、自动程序运行

④程序模式：程序运行9个，每个程序可设置9步（可扩展）

⑤附加功能：操作员等级认证

⑥加热器回路控制：SSR驱动

⑦传感器：K型热电偶（温度控制及过升防止器）

5、安全装置：门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2 预热温度过升、水压低检测、N2 压力低检测、冷却水流量检测、N2 流量检测、风机过载检测、过电流漏电保护开关等 北京高温无氧烘箱高温热处理

浚和(上海)仪器有限公司主要经营范围是仪器仪表，拥有一支专业技术团队和良好的市场口碑。公司业务涵盖真空泵，喷雾干燥机，培养箱，等离子清洗机等，价格合理，品质有保证。公司从事仪器仪表多年，有着创新的设计、强大的技术，还有一批**的专业化的队伍，确保为客户提供良好的产品及服务。浚和立足于全国市场，依托强大的研发实力，融合前沿的技术理念，飞快响应客户的变化需求。