吉林高温无氧烘箱固化半导体晶圆

DNN630C厌氧高温气氛炉 相关参数及规格（YAMATO）

规格：

内尺寸（宽×深×高mm）：660×500×660

外形尺寸（宽×深×高mm）：1300×1000×1750

内容积：216L

棚板层数/层间距：19层/30mm

排气口：40KF法兰

氮气入口：Rc1/2

冷却水入口：Rc3/4

热水出口：Rc3/4，2个

电源（50/60Hz）额定电流：3相AC380V 19A

重量：约1000kg

选购品：棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯（待机/ 运行/ 故障）、以太网通信功能

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俊和（上海）仪器有限公司正规代理YAMATO雅马拓DNN660C厌氧高温气氛炉。吉林高温无氧烘箱固化半导体晶圆

气氛炉产生故障的注意及应急方法

       编制使用维护操作规程，建立运行记录和修理档案，统计运行累积工作时间，加强日常维护，掌握设备技术状态变化趋势，及早发现故障损坏苗头，避免属于事故抢修性质的热修，并根据电炉子负荷和工作状况，提前有针对性地准备修理用料，编制修理工艺。如合金元件的使用寿命长短与工作温度、炉内介质、元件质量及操作情况等许多因素有关，其波动寿命6000～10000h。

  气氛炉一般在春秋季节泄漏故障较多，长期闲置时泄漏故障易发生。我厂采取每月一次测压升率(在常温下，关闭所有真空阀，停止真空系统运转，1Omin后读一个数，1h后再读一个数，两数之差是压升率的数值)，掌握设备泄漏变化趋势，如真空设备连续停机一个礼拜，要空运转一次。

  在气氛炉系统检漏时，除用泥糊堵外，也可用医用针管吸乙醚射至漏点处，观察真空表读数有无变化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，进行检漏。扩散泵有积炭可用化学酸洗的方法清洗。

江苏高温无氧烘箱C1-007在半导体行业及金属非金属抗氧化行业中使用烘箱种类是非常多，但是只有高温充氮烘箱在市场中影响是很好的。

高温充氮烘箱的优势是什么

       在半导体行业及金属非金属抗氧化行业中使用烘箱种类是非常多，但是只有高温充氮烘箱在市场中影响是很好的，优势如下：

       1、干燥物品速度快。因为高温充氮烘箱在使用中干燥物品速度非常快，这是一般的烘箱所不能比的。

       2、抗氧化性强。相对于普通烘箱，高温充氮烘箱带有氮气或惰性其他保护装置，在高温的烘烤环境下，实现低氧或无氧的工作环境，对一些需要高温、无氧产品来说相对来传统的烘箱就不如高温充氮烘箱效果好。所以也更符合客户的需求。

      3、特别重要的是高温充氮烘箱在使用中不会对内在物品质量伤害。

DNN660C厌氧高温气氛炉 相关参数及规格（YAMATO）

1、方式：氮气置换+ 强制送风循环

2、性能：

      ①使用温度范围：室温+50～600℃

      ②温度调节精度：±1.0℃（at600℃）

      ③温度分布精度：±8.0℃（at600℃） 

      ④MAX温度到达时间：约110分钟

      ⑤氧浓度：20ppm 以下

      ⑥氧浓度到达时间：≤ 25分（250L/min 氮气）

3、构成：

       ①内装：不锈钢板

       ②外装：冷轧钢板，表面耐药品性涂装

       ③断热材：硅酸铝棉

       ④加热方式：不锈钢加热管

       ⑤加热功率：主加热器14.2KW

       ⑥N2预热：1KW

       ⑦冷却机构：不锈钢冷却水换热器

4、控制器：

       ①温度控制方式：PID控制

       ②温度控制器：液晶触摸屏+PLC

       ③运行功能：手动定值运行、自动程序运行

       ④程序模式：程序运行9个，每个程序可设置9步（可扩展）

       ⑤附加功能：操作员等级认证

       ⑥加热器回路控制：SSR驱动

       ⑦传感器：K型热电偶（温度控制及过升防止器）

5、安全装置：门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2 预热温度过升、水压低检测、N2 压力低检测、冷却水流量检测、N2 流量检测、风机过载检测、过电流漏电保护开关等 浚和（上海）仪器有限公司为日本YAMATO光刻胶烤箱中国区授权代理。

选购气氛炉考虑哪些方面的特点操作

       1、耐火材料：采用还原性气体，为了不影响砌体的使用寿命，以及不破环正常炉内气氛，要求炉膛砌体采用抗渗碳耐火材料。

      2、自动化程度：密封性要求高，出料操作过程复杂，要求一台炉子多用，大批量生产时，多组成大型联合热处理**或者两用以上的机组，因而要求有较高的机械化，自动化程度。

      3、密封性：为了控制炉内的气氛，维持炉内的压力，炉内工作空间始终要与外界空气隔绝，故要求炉壳，砌体，炉门及所有外界连接零件如风扇，哪些方面的特点操作热电偶，辐射管，推拉料机等采用密封装置。

      4、防爆装置：还原气体和空气混合达到一定混合比，购买设备应考虑在一定温度下易引起，故对炉子的前，后室，淬火室以及缓冷室等均设有防爆装置，炉子供气和排气的控制系统也要有防爆措施。 加热元件和隔热屏蔽作为手头备件是特别重要的，因为它们是高温炉的心脏。广东高温无氧烘箱注意事项

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DNN430C厌氧高温气氛炉 相关参数及规格（YAMATO）

1、方式：氮气置换+ 强制送风循环

2、性能：

①使用温度范围：室温+50～360℃

②温度调节精度：±0.5℃（at360℃）

③温度分布精度：±5.0℃（at360℃）

④MAX温度到达时间：约80分钟

⑤氧浓度：20ppm 以下

⑥氧浓度到达时间：≤ 20分（250L/min 氮气）

3、构成：

①内装：不锈钢板

②外装：冷轧钢板，表面耐药品性涂装

③断热材：硅酸铝棉

④加热方式：不锈钢加热管

⑤加热功率：主加热器6.75KW

⑥N2预热：1KW

⑦冷却机构：不锈钢冷却水换热器

4、控制器：

①温度控制方式：PID控制

②温度控制器：液晶触摸屏+PLC

③运行功能：手动定值运行、自动程序运行

④程序模式：程序运行9个，每个程序可设置9步（可扩展）

⑤附加功能：操作员等级认证

⑥加热器回路控制：SSR驱动

⑦传感器：K型热电偶（温度控制及过升防止器）

5、安全装置：

       门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2 预热温度过升、水压低检测、N2 压力低检测、冷却水流量检测、N2 流量检测、风机过载检测、过电流漏电保护开关等

吉林高温无氧烘箱固化半导体晶圆

浚和(上海)仪器有限公司总部位于上海市闵行区秀文路898号西子国际中心5号楼911室，是一家仪器仪表、电气设备、环保设备、机械设备及配件、化工产品及原料（除危险化学品、监控化学品、民用物品、易制毒化学品）的销售，从事货物及技术的进出口业务，从事电子科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让，机械设备的维修。 【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】的公司。浚和深耕行业多年，始终以客户的需求为向导，为客户提供***的真空泵，喷雾干燥机，培养箱，等离子清洗机。浚和继续坚定不移地走高质量发展道路，既要实现基本面稳定增长，又要聚焦关键领域，实现转型再突破。浚和始终关注自身，在风云变化的时代，对自身的建设毫不懈怠，高度的专注与执着使浚和在行业的从容而自信。