河南高温无氧烘箱箱体结构

气氛炉经工艺试验保养工作

       设备于材料试验、合成、烧结等，在日常使用后用户也应注意到设备的保养工作，保养时我们应该定期检查的项目有：  

       1、使用时不得超过额定功率，炉温不得超过*高使用温度。禁止将潮湿工件装入炉膛内，含有过高水份的被加热工件应预先烘干。  

       2、保持炉膛清洁，对炉内的金属氧化物，炉渣和杂质等应及时清洁。装卸工件时应谨慎，以防碰坏硅钼棒。  

       3、硅钼棒碱、碱金属、硅酸及硼化合物在高温下对它能起腐蚀作用，水蒸气对它有强烈的氧化影响，氢及含有大量氢的气体在高温时会分解硅钼棒，使用时必须严加注意、  

       4、车间须配备1/2管以水源后力达0.2MPa.  

       5、接通充气口充入CO2及其它保护气体，当气氛炉压力表指示在0.02～0.04MPa时，停止充气。  

       6、通过调查流量和控制出水口温度在40℃。  

       7、当炉温升高，应随时注意，压力长，间断打开放气阀门，使炉胆内的压力在0.1MPa以下，这时胆的油烟等杂质可随之排出。  

       8、实行光亮退火，在升温时打开放气阀，随后充入保护气体，流量由小变大，当炉内压力为正压时，即关闭全部阀门，此工艺应经工艺试验，由熟练工人掌握。 浚和（上海）仪器有限公司为日本YAMATO光刻胶烤箱中国区授权代理。河南高温无氧烘箱箱体结构

无氧烘箱与普通工业烘箱的比较

       无氧烘箱应用于航空、航天、石油、化工、船舶、电子、通讯等科研及生产单位，主要作BPO胶/PI胶/BCB胶固化，IC（晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别）、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干，电工产品、材料、零备等的高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。

一、无氧烘箱与普通工业烘箱在结构上的区别

       无氧烘箱会对内箱进行满焊，同时做密封处理，这样充入的惰性气体就不会泄露，同时保证了内部的无氧环境。而普通烘箱内箱虽然也是满焊，但是没有做密封处理。

二、无氧烘箱与普通工业烘箱在控制系统上的区别

       无氧烘箱需要增加氮气控制系统，同时需要有延时加热功能，就是说在加热之前进行延时充氮，以此来保证加热时箱内已经形成无氧环境，避免高温氧化。当然，一些其他的控制技术包括双流量充氮省能源控制等方式也被许多用户采纳，即双流量+延时加热，大流量氮气充入，延时加热，当箱内充满氮气后，自动切换为小流量以此节省氮气。 而普通烘箱则没有这些功能。

DTN430C/630C/450C/650C洁净厌氧高温气氛炉(YAMATO)

洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉，主要应用于固化半导体晶圆等。

特点

● MAX工作温度360℃和500℃、洁净度100级、氧浓度低于20ppm，主要应用于固化半导体晶圆（光刻胶PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。

● 采用耐热高性能高效过滤器，箱内洁净度始终保持在100级，可在洁净的环境下进行高温烘烤。

● 高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2消耗量极低。

● 通过磁密封保持高气密性，并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。

● 可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。

● 标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。

● 液晶触摸屏操作，自动/手动两种运行模式。

安全性

● 拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电保护开关等安装装置。

烘箱安装要求及检查调整

1、安置地点要求：

①地面须水平

②通风须良好，落尘量较少

③不要放置在潮湿地方

④不要暴露在易燃或腐蚀性气体下（特殊烤箱除外）

⑤尽可能使可燃物远离

⑥环境温度匆过高

2、安置间隔要求：

①理想操作环境机身各方距墙60公分以上

②理想操作环境机身与机身间隔60公分以上

3、电源安装要求：

①请依电器铭板上所订之电源规格接电

②电压变动率必须在额定值±5%内

③为避免电击意外发生，机台本身必须接地（依电工法规第三种接地法实施对地电阻100Ω以下）

④不可将有漏电断路器烤箱与无此装置烤箱共用接线线路

4、水平调整：

①机台定位后，须调整水平

5、电源接线：

机台定位完成后，可由机台后方电源电缆线，并依接线端子板上之标示规格完成电源接线之工作

6、送风马达调整 高温炉加热器和屏蔽工作效率的一个简单方法，是将给定温度下热区的用电量与操作手册中列出的功耗进行比较。

工业烤箱节能省电方法

1、工业烤箱采用适当的加热功率，任何系统都有一个热平衡问题，以适当的加热功率获取大的加热效果，

2、总加热功率越低越省电。显然如加热功率太低，加热时间延长，不但省不了电，反而增加生产时间，造成单位时间产晨低，增加其他成本。加热功率越大，加热越快，越省电。显然，加热功率太大，加热太快，局部温差大，损耗更大，也不省电。

3、根据不同的使用条件，工业烤箱采用不同的加热方式，以提高加热效率。

4、采用高效保温材料（比普通石棉提高60%的绝热材料），以减少能量损耗。

5、工业烤箱根据不同的烘烤过程，自动变换烘烤温度，可以节能。

6、适当的加热功率才是省电的。任何系统都有大值和小值问题，我们能根据客户的生产工艺条件设计不同类型的加热控制系统，保证大的电能使用效率才能省电。 气氛炉的炉结构与一般热处理炉的炉结构基本相似，其设计和计算方法相似。YAMATO高温无氧烘箱温控系统

气氛炉一般在春秋季节泄漏故障较多，长期闲置时泄漏故障易发生。河南高温无氧烘箱箱体结构

高温无氧烘箱强度的提高方法

       1、完善焊接技术，尽可能的保证在焊接过程中不要让空气中的杂质或者其他气体进入到熔池，减少气孔的产生就能提高高温充氮烘箱零件强度。 

       2、在喷涂之前进行粗糙处理，因为实践证明，在进行粗糙处理的时候，砂粒相互之间的撞击会产生相应的压应力，而零件表面压应力越大的话，空心高温充氮烘箱零件强度就越强。

       3、在喷涂和堆焊操作之后，再对零件进行一次滚压强化处理，这样处理之后，零件表面就会被强化，组织会更加精密，所以相对的强度也会提高。 

       4、在对零件进行埋焊处理的时候，一定不要为了省事就省去除油去锈的操作，而且在埋焊过程中尽量减少气孔和渗氢的情况发生。  河南高温无氧烘箱箱体结构

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