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日本KASHIYAMA SDE120TX 技术参数&配置清单一、技术参数：适合于一些比较苛...

干式真空泵基本参数

产地
日本
品牌
KASHIYAMA
型号
Neodry 36E
是否定制
否

干式真空泵企业商机

日本KASHIYAMA SDE120TX 技术参数&配置清单

一、技术参数：

适合于一些比较苛刻的工艺，比如Meteal-Etch、 SA-CVD、Metal-CVD、PE-CVD、LP-CVD、ALD等

式样	SDE120TX
ZUI大排气速度（L/min）	1500
达到压力（Pa）	1.3
电源电压	3相 AC200-220V
消费电力（KW）	6.5KVA
吸气口	NW50
排气口	NW40
外型尺寸WHL [mm]	280×299×550
质量【kg】	151kg

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	SDE120TX主机一台，电压AC三相200V	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

那么干式真空泵的优势都有哪些呢？无锡干式真空泵授权代理

干式真空泵与油泵的性能比较：

项目	ＮｅｏＤｒｙ Series 干式真空泵		油泵
特征	○	・不使用液体密封泵腔，可以得到干净的真空。	△	・使用油密封得不到干净的真空。・排气时会在排气口产生油雾。・根据使用情况，密封用油中会混入水蒸气·溶剂使油质变差影响性能。・泵的周围会因油雾污染环境。
维护性	○	・基本上免维护	△	・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。（根据使用情况，需要频繁更换）
维护成本	○	・洁净排气时维护周期可为3年一次。长期运行可降低维护成本。・更换部件很少，O / H费用便宜。・抽气部分无物理接触，无因磨损更换部件。	△	・油需定期更换产生费用。（使用氟油的情况费用较高）・需要更换叶片及阀门。（因叶片为接触式）
初始投资成本	△	・与油泵相比相对较高。	○	・与干泵相比较便宜。
**设备费用	○	・不需要油雾凝气阀	△	・需要油雾凝气阀。・需要油盘。北京SDE1220干式真空泵报价浚和（上海）仪器有限公司主营日本KASHIYAMA干式真空泵。

干式真空泵的种类特征

螺杆式

利用螺杆型Rotor进行排气输送的容积移送式干式真空泵。

罗茨式

在3片式Rotor和Casing之间的空间运送气体的容积移送式干式真空泵。

爪式

复数的爪型Rotor以轴平行排列，进行相互逆回转来移送气体的干式真空泵。

涡旋式

利用涡旋型的Stage及Rotor的运动组合来进行排气的真空泵。

隔膜式

藉由利用气缸内的隔膜的来回运动来进行排气的容积移送式真空泵。

活塞式

利用气缸内的活塞的来回运动来进行排气压缩以及排气的容积移送式真空泵。

日本KASHIYAMA MU180P/H干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	MU180P/H
MAX排气速度（L/min）	3000
达到压力（Pa）	5.0
电源电压	3相 AC200-220V
消费电力（KW）	1.0KW
外型尺寸WHL [mm]	360×408×715
质量【kg】	130kg

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	MU180P/H主机一台，电压AC三相200V	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本干式真空泵的优缺点您知道吗？

日本KASHIYAMA MU30N18P/H干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	MU30N18P/H
MAX排气速度（L/min）	50000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V
消费电力（KW）	1.6KW
外型尺寸WHL [mm]	1000×450×950
质量【kg】	410kg

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	MU30N18P/H主机一台，电压AC三相200V	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本 KASHIYAMA干式真空泵为日本原装进口干式真空泵。东莞NEODRY 30E干式真空泵

干式真空泵的好处有很多。无锡干式真空泵授权代理

日本KASHIYAMA MU1200P/H干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	MU1200P/H
MAX排气速度（L/min）	20000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V
消费电力（KW）	1.05KW
外型尺寸WHL [mm]	380×655×820
质量【kg】	185kg

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	MU1200P/H主机一台，电压AC三相200V	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本无锡干式真空泵授权代理

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