KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX设备简介(包括对功能的基本介绍):
① SDE603TX 立式螺杆真空干泵,尺寸: W:400×H:905×L:760MM,MAX排气速度10000L/min,立式螺杆设计排气线路短,不容易发生卡死。转子材质为镍合金,防腐蚀能力优越,使用时内部温度高,适用于比较苛刻的工艺制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。
2、系统组成:
1) 罗茨泵 (SDE120TX) 1
2) 机械增压泵(KMB603) 1
3) 电源盒 1
4) 操作手柄1
5) 连接件 1
6) 消音器(SR-19) 1
干式真空泵的主要特点都有哪些呢?苏州干式真空泵代理商

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型号 |
NeoDry7E |
NeoDry15E |
NeoDry30E |
NeoDry36E |
NeoDry60E |
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Zui大排气速度 |
120L/min |
250L/min |
500L/min |
600L/min |
1000L/min |
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电源式样 注1) |
单相:200-240V/三相:200-240V |
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到达压力 |
5.0Pa |
1.0Pa |
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Zui大允许进气压力 |
大气压 |
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Zui大水蒸气处理量 注2) |
注3) 120g/h |
250g/h 注3) |
注3) 350 g/h |
注3) 600g/h |
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使用电动机 |
0.4 kW |
0.75kW |
1.5kW |
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进气口径 |
KF25(法兰接头) |
KF40(法兰接头) |
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排气口径 |
KF25(法兰接头) |
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概略重量 |
19kg |
23 kg |
25 kg |
54 kg |
56kg |
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噪音(dB(A)) |
≤56 |
≤58 |
≤60 |
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注1)如使用其他电源,请与我司联系。 注2)水分或凝性气体抽取时需使用气镇阀(选配)。 注3) 气镇阀(选配)全开时的Zui大水分处理量。但气镇阀全开时到达压力为10Pa左右。 上海MU180X干式真空泵代理商买日本KASHIYAMA干式真空泵选择浚和(上海)仪器有限公司。 |
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日本KASHIYAMA MU600X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU600X |
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MAX排气速度(L/min) |
10000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力(KW) |
0.6KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
230×520×530 |
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质量【kg】 |
120kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU600X主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
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3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA SDE1220干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDE1220 |
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MAX排气速度(L/min) |
20000 |
|
达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
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外型尺寸WHL [mm] |
400×780×930 |
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE1220主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
浚和(上海)仪器有限公司为日本樫山工业干式真空泵中国区授权代理商。

日本KASHIYAMA SDE804060干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDE804060 |
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MAX排气速度(L/min) |
190000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
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外型尺寸WHL [mm] |
1000×1980×1850 |
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE804060主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
浚和(上海)仪器有限公司作为上海一家专业的干式真空泵供应商。南京NEODRY 60E干式真空泵授权代理
浚和(上海)仪器有限公司日本樫山工业干式真空泵处于目前现货促销中。苏州干式真空泵代理商
日本KASHIYAMA SDE120TX 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
适合于一些比较苛刻的工艺,比如Meteal-Etch、 SA-CVD、Metal-CVD、PE-CVD、LP-CVD、ALD等
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式样 |
SDE120TX |
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ZUI大排气速度(L/min) |
1500 |
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达到压力(Pa) |
1.3 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力(KW) |
6.5KVA |
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吸气口 |
NW50 |
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排气口 |
NW40 |
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外型尺寸WHL [mm] |
280×299×550 |
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质量【kg】 |
151kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE120TX主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
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7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
苏州干式真空泵代理商
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