干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
浚和(上海)仪器有限公司提供小型风冷的干式真空泵。成都NEODRY 30E干式真空泵维修点

日本KASHIYAMA SDL36E60干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDL36E60 |
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MAX排气速度(L/min) |
60000 |
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达到压力(Pa) |
0.8 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
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外型尺寸WHL [mm] |
850×1295×1370 |
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重量(kg) |
920 |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDL36E60主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 深圳MU180X干式真空泵代理商干式真空泵的各种系列应用领域还是不一样的。

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型 号 项 目 |
SDE1203TX |
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注1)Max排气速度 |
20000 L/min |
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注1)极限压力 |
0.5 Pa |
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加速时间 加速時間 |
35s |
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减速时间 減速時間 |
Free Run |
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Max进气口压力 |
大 气 压 注2)在3~30kPa的情况下运行时间请保持在30分钟以内 |
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Max排气背压(计示压力) |
3kPa以下 |
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电机输出功率 |
3.2kW |
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进气口(法兰) |
ISO100 |
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排气口(法兰) |
NW25 |
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润滑油量 |
1.2L(含氟油) |
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电 源 |
电 压 |
3相、200~220V 50/60 Hz 注3) 允许电压变动值 ±10% |
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容 量 |
11 kVA |
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运行电流 |
50A |
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漏电流 |
约30 mA |
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冷却水 |
Max供压 (计示压力) |
0.5MPa |
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Max小压力
|
0.3MPa |
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流 量 |
4~8 L/min |
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供水温度 |
10~25 ℃ |
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放出热量 |
约 1800kJ/h |
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注4) 氮 气 |
向干泵供给压 (规压) |
0.1~0.7MPa |
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流 量 |
0~80SLM |
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日本KASHIYAMA SDE200干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDE200 |
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MAX排气速度(L/min) |
3300 |
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达到压力(Pa) |
1.3 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
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消费电力(KW) |
2.7KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
370×501×690 |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE200主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 您了解干式真空泵的优势吗?

日本KASHIYAMA SDE8060干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
|
式样 |
SDE8060 |
|
MAX排气速度(L/min) |
120000 |
|
达到压力(Pa) |
0.8 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
|
外型尺寸WHL [mm] |
850×1220×1600 |
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE8060主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
浚和(上海)仪器有限公司专业致力于干式真空泵生产。南京樫山干式真空泵销售电话
浚和(上海)仪器有限公司主营干式真空泵。成都NEODRY 30E干式真空泵维修点
螺杆式干式真空泵的应用
螺杆式干式真空泵广应用于电子、核能、化工、医药、食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻、生产***SMA的CVD制程。在核工业中用于核反应堆及核工业真空获得;化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取高效回收溶剂,在脂肪酸生产中用来消除水污染,移除喷射器中的阻塞物;医药工业中用于回收药液及药品中间体,为人造组织生产提供清洁无菌条件,回收气体消毒剂;食品工业中用于香料、香精浓缩,食品包装等。应用范围极为广。具体如下:
具体应用:干燥处理、真空蒸馏、分子蒸馏、溶剂的回收、油气回收、工厂普通真空、电子、真空镀膜、航空、核工业领域 能够抽除普通空气,易燃易爆气体、腐蚀性气体,尤其能满足对获得清洁真空要求较高的环境。 具体应用:真空镀膜、真空蒸馏、真空干燥、拉单晶、特气制造、离子刻蚀等。
纺织、冶金等行业 在氨纶、芳纶、纤维、冶金等相关工艺中应用干式真空泵, 具体应用:真空脱泡、VOD真空吹氧脱碳法等。 成都NEODRY 30E干式真空泵维修点
浚和(上海)仪器有限公司致力于仪器仪表,以科技创新实现***管理的追求。浚和作为仪器仪表、电气设备、环保设备、机械设备及配件、化工产品及原料(除危险化学品、监控化学品、民用物品、易制毒化学品)的销售,从事货物及技术的进出口业务,从事电子科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让,机械设备的维修。 【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】的企业之一,为客户提供良好的真空泵,喷雾干燥机,培养箱,等离子清洗机。浚和继续坚定不移地走高质量发展道路,既要实现基本面稳定增长,又要聚焦关键领域,实现转型再突破。浚和始终关注仪器仪表市场,以敏锐的市场洞察力,实现与客户的成长共赢。
完全电子智能化设计,可以很方便地多方位与DCS系统联接,通过Modem联接可以实现就地和远程控制;辅助模块的模块化设计可以满足大量的乃至是苛刻的流程的应用;设计可以满足不同的压力要求:压力比可高达100,000:1(吸入压力