干式真空泵的种类特征
螺杆式
利用螺杆型Rotor进行排气输送的容积移送式干式真空泵。
罗茨式
在3片式Rotor和Casing之间的空间运送气体的容积移送式干式真空泵。
爪式
复数的爪型Rotor以轴平行排列,进行相互逆回转来移送气体的干式真空泵。
涡旋式
利用涡旋型的Stage及Rotor的运动组合来进行排气的真空泵。
隔膜式
藉由利用气缸内的隔膜的来回运动来进行排气的容积移送式真空泵。
活塞式
利用气缸内的活塞的来回运动来进行排气压缩以及排气的容积移送式真空泵。
上海干式真空泵批发推荐浚和(上海)仪器有限公司。NEODRY 15E干式真空泵维修
日本KASHIYAMA SDE30M09X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDE30M09X |
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MAX排气速度(L/min) |
45000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
|
消费电力(KW) |
2.8KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
500×960×1020 |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE30M09X主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 苏州NEODRY 30E干式真空泵代理商半导体、液晶行业用干式真空泵-KASHIYAMA.

干式真空泵与油泵的性能比较:
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项 目 |
NeoDry Series 干式真空泵 |
油 泵 |
||
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特 征 |
○ |
・不使用液体密封泵腔,可以得到干净的真空。 |
△ |
・使用油密封得不到干净的真空。 ・排气时会在排气口产生油雾。 ・根据使用情况,密封用油中会混入水蒸 气·溶剂使油质变差影响性能。 ・泵的周围会因油雾污染环境。 |
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维护性 |
○ |
・基本上免维护 |
△ |
・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。 (根据使用情况,需要频繁更换) |
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维护成本 |
○ |
・洁净排气时维护周期可为3年一次。 长期运行可降低维护成本。 ・更换部件很少,O / H费用便宜。 ・抽气部分无物理接触,无因磨损更 换部件。 |
△ |
・油需定期更换产生费用。 (使用氟油的情况费用较高) ・需要更换叶片及阀门。 (因叶片为接触式) |
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初始投资成本 |
△ |
・与油泵相比相对较高。 |
○ |
・与干泵相比较便宜。 |
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**设备费用 |
○ |
・不需要油雾凝气阀 |
△ |
・需要油雾凝气阀。 ・需要油盘。
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日本KASHIYAMA SDL20E60干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDL20E60 |
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MAX排气速度(L/min) |
40000 |
|
达到压力(Pa) |
0.8 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
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外型尺寸WHL [mm] |
850×1295×1370 |
|
重量(kg) |
800 |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDL20E60主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 浚和(上海)仪器有限公司专业致力于干式真空泵生产。

日本KASHIYAMA SDE120TX 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
适合于一些比较苛刻的工艺,比如Meteal-Etch、 SA-CVD、Metal-CVD、PE-CVD、LP-CVD、ALD等
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式样 |
SDE120TX |
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ZUI大排气速度(L/min) |
1500 |
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达到压力(Pa) |
1.3 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力(KW) |
6.5KVA |
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吸气口 |
NW50 |
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排气口 |
NW40 |
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外型尺寸WHL [mm] |
280×299×550 |
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质量【kg】 |
151kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE120TX主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
买日本KASHIYAMA干式真空泵选择浚和(上海)仪器有限公司。苏州NEODRY 30E干式真空泵维修
您知道浚和(上海)仪器有限公司的干式真空泵系列都有哪些吗?NEODRY 15E干式真空泵维修
两年的备品备件是标准的O型圈。从上至下的输送方式能可靠地处理夹带液体的湿气及粉尘,并且无需过滤器。比较好化的螺杆外形设计使功率消耗降到比较低,简单的设计可使泵腔在1小时内在现场全部解体,易于清洗维护。很多泵转子卡死的原因是吸入含有粉尘及结晶的物质、高温发生聚合的物质、热敏性物质的升华造成转子间的缝隙被堵死,另外一个原因是由于长期运转,转子会由于热胀冷缩而发生形变,造成泵的卡死。目前市面上的干泵多用夹套冷却水对转子进行冷却。 NEODRY 15E干式真空泵维修
浚和(上海)仪器有限公司位于上海市闵行区秀文路898号西子国际中心5号楼911室。公司业务涵盖真空泵,喷雾干燥机,培养箱,等离子清洗机等,价格合理,品质有保证。公司秉持诚信为本的经营理念,在仪器仪表深耕多年,以技术为先导,以自主产品为重点,发挥人才优势,打造仪器仪表良好品牌。浚和立足于全国市场,依托强大的研发实力,融合前沿的技术理念,飞快响应客户的变化需求。
完全电子智能化设计,可以很方便地多方位与DCS系统联接,通过Modem联接可以实现就地和远程控制;辅助模块的模块化设计可以满足大量的乃至是苛刻的流程的应用;设计可以满足不同的压力要求:压力比可高达100,000:1(吸入压力