干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
干式真空泵的主要优势是。南京干式真空泵授权代理

日本KASHIYAMA MU600P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU600P/H |
|
MAX排气速度(L/min) |
10000 |
|
达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力(KW) |
0.95KW |
|
外型尺寸WHL [mm] |
350×520×630 |
|
质量【kg】 |
130kg |
二、 配置清单:
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU600P/H主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本 南京干式真空泵授权代理浚和(上海)仪器有限公司提供日本KASHIYAMA 7m³/h到2500m³/h的干式真空泵。

日本KASHIYAMA SDL12E50/60干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDL12E50/60 |
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MAX排气速度(L/min) |
25000 |
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达到压力(Pa) |
0.8 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
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外型尺寸WHL [mm] |
520×1050×1020 |
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重量(kg) |
645 |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDL12E50/60主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
日本KASHIYAMA MU180P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU180P/H |
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MAX排气速度(L/min) |
3000 |
|
达到压力(Pa) |
5.0 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力(KW) |
1.0KW |
|
外型尺寸WHL [mm] |
360×408×715 |
|
质量【kg】 |
130kg |
二、 配置清单:
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU180P/H主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本 浚和(上海)仪器有限公司日本樫山工业干式真空泵处于目前现货促销中。

日本KASHIYAMA MU20M18X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU20M18X |
|
MAX排气速度(L/min) |
30000 |
|
达到压力(Pa) |
0.5 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力(KW) |
1.5KW |
|
外型尺寸WHL [mm] |
500×950×1100 |
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质量【kg】 |
340kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU20M18X主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
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未包含 |
设备原产地:日本 那么干式真空泵的优势都有哪些呢?南京NEODRY 60E干式真空泵
干式真空泵多种系列供您选择。南京干式真空泵授权代理
日本KASHIYAMA SDE60N20干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDE60N20 |
|
MAX排气速度(L/min) |
100000 |
|
达到压力(Pa) |
0.5 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
|
消费电力(KW) |
3.7KW |
|
外型尺寸WHL [mm] |
515×950×1080 |
二、 配置清单:
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE60N20主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 南京干式真空泵授权代理
浚和(上海)仪器有限公司致力于仪器仪表,是一家贸易型的公司。公司业务分为真空泵,喷雾干燥机,培养箱,等离子清洗机等,目前不断进行创新和服务改进,为客户提供良好的产品和服务。公司注重以质量为中心,以服务为理念,秉持诚信为本的理念,打造仪器仪表良好品牌。在社会各界的鼎力支持下,持续创新,不断铸造***服务体验,为客户成功提供坚实有力的支持。
完全电子智能化设计,可以很方便地多方位与DCS系统联接,通过Modem联接可以实现就地和远程控制;辅助模块的模块化设计可以满足大量的乃至是苛刻的流程的应用;设计可以满足不同的压力要求:压力比可高达100,000:1(吸入压力