干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
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螺杆式干式真空泵的应用
螺杆式干式真空泵广应用于电子、核能、化工、医药、食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻、生产***SMA的CVD制程。在核工业中用于核反应堆及核工业真空获得;化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取高效回收溶剂,在脂肪酸生产中用来消除水污染,移除喷射器中的阻塞物;医药工业中用于回收药液及药品中间体,为人造组织生产提供清洁无菌条件,回收气体消毒剂;食品工业中用于香料、香精浓缩,食品包装等。应用范围极为广。具体如下:
具体应用:干燥处理、真空蒸馏、分子蒸馏、溶剂的回收、油气回收、工厂普通真空、电子、真空镀膜、航空、核工业领域 能够抽除普通空气,易燃易爆气体、腐蚀性气体,尤其能满足对获得清洁真空要求较高的环境。 具体应用:真空镀膜、真空蒸馏、真空干燥、拉单晶、特气制造、离子刻蚀等。
纺织、冶金等行业 在氨纶、芳纶、纤维、冶金等相关工艺中应用干式真空泵, 具体应用:真空脱泡、VOD真空吹氧脱碳法等。 南京樫山干式真空泵中国授权代理商干式真空泵的优缺点您知道吗?

日本KASHIYAMA NEODRY 15E 技术参数以及配置清单
一、 NEODRY 15E技术参数:
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式样 |
NEODRY 15E |
|
Max排气速度(L/min) |
250 |
|
达到压力(Pa) |
1 |
|
电源电压 |
单相AC200-220V |
|
外型尺寸WHL [mm] |
210×250×385 |
|
吸气口 |
KF25 |
|
噪声 |
≤60DB |
|
排气口 |
KF25 |
|
质量【kg】 |
23kg |
二、NEODRY15E 配置清单:
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
NEODRY 15E主机一台,电压AC三相200V或者单相200V可选 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
4 |
气振阀(选配) |
|
未包含 |
|
5 |
消音器(选配) |
|
未包含 |
|
6 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
当您选择油封泵时,您应该首先了解您的真空系统是否对油污染有要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、挡油阱、挡板等,也能达到清洁真空要求。当使用一种泵不能满足抽气及真空要求时,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足工艺要求。当选择油封真空泵时,要考虑真空泵排出来的油蒸汽(油烟)对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,应该选无油真空泵,或者把油蒸汽排到室外。 您知道浚和(上海)仪器有限公司的干式真空泵系列都有哪些吗?

日本KASHIYAMA NEODRY 60E 技术参数以及配置清单
一、 NEODRY 60E技术参数:
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式样 |
NEODRY 60E |
|
ZUI大排气速度(L/min) |
1000 |
|
达到压力(Pa) |
1 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V OR 单相AC200-220V |
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消费电力(KW) |
0.35KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
315×275×570 |
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吸气口 |
KF40 |
|
噪声 |
≤60DB |
|
排气口 |
KF25 |
|
质量【kg】 |
56kg |
二、NEODRY60E 配置清单:
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
NEODRY 60E主机一台,电压AC三相200V或者单相200V可选 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
4 |
气振阀(选配) |
|
未包含 |
|
5 |
消音器(选配) |
|
未包含 |
|
6 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
浚和(上海)仪器有限公司主营日本KASHIYAMA干式真空泵。苏州NEODRY 30E干式真空泵维修
浚和(上海)仪器有限公司提供小型风冷的干式真空泵。广州SDE1220干式真空泵报价
螺杆干式真空泵特征:
①可靠性高。螺杆式干式真空泵零部件少,没有易损件,因此它运转可靠,寿命长。
②操作维护方便。
③动力平衡性好。螺杆式干式真空泵没有不平衡的惯性力,机器可平稳地高速运行。
④适应性强。螺杆式干式真空泵具有强制输气的特点,在宽广的压力范围内能保持较高的抽速,排气量几乎不受排气压力的影响.
⑤多相混输。由于螺杆式干式真空泵转子齿面间留有微小间隙,因而可抽除腐蚀性、有毒、含有粉尘、可凝性蒸汽等多种气体。 广州SDE1220干式真空泵报价
浚和(上海)仪器有限公司位于上海市闵行区秀文路898号西子国际中心5号楼911室。公司业务涵盖真空泵,喷雾干燥机,培养箱,等离子清洗机等,价格合理,品质有保证。公司将不断增强企业重点竞争力,努力学习行业知识,遵守行业规范,植根于仪器仪表行业的发展。在社会各界的鼎力支持下,持续创新,不断铸造***服务体验,为客户成功提供坚实有力的支持。
完全电子智能化设计,可以很方便地多方位与DCS系统联接,通过Modem联接可以实现就地和远程控制;辅助模块的模块化设计可以满足大量的乃至是苛刻的流程的应用;设计可以满足不同的压力要求:压力比可高达100,000:1(吸入压力