干式真空泵的种类特征
螺杆式
利用螺杆型Rotor进行排气输送的容积移送式干式真空泵。
罗茨式
在3片式Rotor和Casing之间的空间运送气体的容积移送式干式真空泵。
爪式
复数的爪型Rotor以轴平行排列,进行相互逆回转来移送气体的干式真空泵。
涡旋式
利用涡旋型的Stage及Rotor的运动组合来进行排气的真空泵。
隔膜式
藉由利用气缸内的隔膜的来回运动来进行排气的容积移送式真空泵。
活塞式
利用气缸内的活塞的来回运动来进行排气压缩以及排气的容积移送式真空泵。
浚和(上海)仪器有限公司为KASHIYAMA干式真空泵中国地区客户提供现货。苏州KASHIYAMA干式真空泵报价
日本KASHIYAMA SDE804060干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDE804060 |
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MAX排气速度(L/min) |
190000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
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外型尺寸WHL [mm] |
1000×1980×1850 |
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
SDE804060主机一台 |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
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3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
南京KASHIYAMA干式真空泵报价樫山工业Neodry36E小型风冷干式真空泵成为等离子清洗机制造商的新宠。

日本KASHIYAMA NEODRY 15E 技术参数以及配置清单
一、 NEODRY 15E技术参数:
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式样 |
NEODRY 15E |
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Max排气速度(L/min) |
250 |
|
达到压力(Pa) |
1 |
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电源电压 |
单相AC200-220V |
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外型尺寸WHL [mm] |
210×250×385 |
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吸气口 |
KF25 |
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噪声 |
≤60DB |
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排气口 |
KF25 |
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质量【kg】 |
23kg |
二、NEODRY15E 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
NEODRY 15E主机一台,电压AC三相200V或者单相200V可选 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
4 |
气振阀(选配) |
|
未包含 |
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5 |
消音器(选配) |
|
未包含 |
|
6 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
干式真空泵是未来行业发展的趋势,虽然现在用的还不多,除了价格高原因外,还有用户对干式真空泵的了解不到位,看不到带给企业的未来经济效益,但是干式真空泵使工作容积中无油,因此带来了不少益处。有些立式螺杆真空泵通过对内表面温度的控制以满足新的ATEX防爆条例的要求。由于能够维持小的内部温度,从而能控制泵送气体的冷凝和由于腐蚀可能造成的损坏效应;轻松的输送腐蚀性介质,安全的输送易燃易爆气体。适于处理含固体微粒介质并且不需要加过滤器。小的维护要求,该泵无齿轮箱,同时对于泵无需更换和检测润滑系统。具有20,000 小时平均无故障时间;
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KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX设备简介(包括对功能的基本介绍):
① SDE603TX 立式螺杆真空干泵,尺寸: W:400×H:905×L:760MM,MAX排气速度10000L/min,立式螺杆设计排气线路短,不容易发生卡死。转子材质为镍合金,防腐蚀能力优越,使用时内部温度高,适用于比较苛刻的工艺制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。
2、系统组成:
1) 罗茨泵 (SDE120TX) 1
2) 机械增压泵(KMB603) 1
3) 电源盒 1
4) 操作手柄1
5) 连接件 1
6) 消音器(SR-19) 1
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两年的备品备件是标准的O型圈。从上至下的输送方式能可靠地处理夹带液体的湿气及粉尘,并且无需过滤器。比较好化的螺杆外形设计使功率消耗降到比较低,简单的设计可使泵腔在1小时内在现场全部解体,易于清洗维护。很多泵转子卡死的原因是吸入含有粉尘及结晶的物质、高温发生聚合的物质、热敏性物质的升华造成转子间的缝隙被堵死,另外一个原因是由于长期运转,转子会由于热胀冷缩而发生形变,造成泵的卡死。目前市面上的干泵多用夹套冷却水对转子进行冷却。 苏州KASHIYAMA干式真空泵报价
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完全电子智能化设计,可以很方便地多方位与DCS系统联接,通过Modem联接可以实现就地和远程控制;辅助模块的模块化设计可以满足大量的乃至是苛刻的流程的应用;设计可以满足不同的压力要求:压力比可高达100,000:1(吸入压力