成都KASHIYAMA干式真空泵正规代理

日本KASHIYAMA SDE30M09X干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数：

二、 配置清单：

设备原产地：日本 

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。 买干式真空泵找浚和（上海）仪器有限公司。成都KASHIYAMA干式真空泵正规代理

干式真空泵的应用范围比较广，主要有以下几个方面：

1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

无锡NEODRY 15E干式真空泵销售电话干式真空泵的不同系列会有不同的优势。

干式真空泵的种类特征

螺杆式

利用螺杆型Rotor进行排气输送的容积移送式干式真空泵。

罗茨式

在3片式Rotor和Casing之间的空间运送气体的容积移送式干式真空泵。

爪式

复数的爪型Rotor以轴平行排列，进行相互逆回转来移送气体的干式真空泵。

涡旋式

利用涡旋型的Stage及Rotor的运动组合来进行排气的真空泵。

隔膜式

藉由利用气缸内的隔膜的来回运动来进行排气的容积移送式真空泵。

活塞式

利用气缸内的活塞的来回运动来进行排气压缩以及排气的容积移送式真空泵。

干式真空泵是未来行业发展的趋势，虽然现在用的还不多，除了价格高原因外，还有用户对干式真空泵的了解不到位，看不到带给企业的未来经济效益，但是干式真空泵使工作容积中无油，因此带来了不少益处。有些立式螺杆真空泵通过对内表面温度的控制以满足新的ATEX防爆条例的要求。由于能够维持小的内部温度，从而能控制泵送气体的冷凝和由于腐蚀可能造成的损坏效应；轻松的输送腐蚀性介质，安全的输送易燃易爆气体。适于处理含固体微粒介质并且不需要加过滤器。小的维护要求，该泵无齿轮箱，同时对于泵无需更换和检测润滑系统。具有20,000 小时平均无故障时间；

干式真空泵的系列有：多级罗茨干式真空泵、涡旋干式真空泵、螺杆干式真空泵、爪式干式真空泵等。

樫山真空集中了经半导体，液晶行业等所研发的技术，针对一般工业应用

    开发了长时间运行也不会发生性能退化的小型空冷干泵NeoDry系列。

Ⅱ，特 征

  ⅰ） 采用多段ROOTS方式 （抽气部分为非物理性接触构造），

          不会因长时间的运行导致设备性能下降。

   ⅱ） 保养周期长，因需更换的零件少，可降低后期保养费用。

  iii )  通过选购气镇阀，使设备具有水汽排气性能。

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而有的立式螺杆真空泵的冷却系统更独特，比如在泵内增加了螺杆内部冷却剂冷却及直接气体冷却，很好的维持内表面的温度，不至于温度过高或过低，始终维持在一个合适的温度，以防被抽的热敏性物质分解，及高温易聚合的物质，比如HCN及MMA生产企业就比较适合。众所周知，腐蚀是由于溶液里的酸性离子和碱性离子跟金属发生反应才造成的，温度越高腐蚀的速率越快。一般的真空泵采用一些防腐材质或是在转子上做一些防腐涂层来延缓腐蚀速率。 成都KASHIYAMA干式真空泵正规代理

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