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日本KASHIYAMA SDE20M12TX干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数： ...

干式真空泵基本参数

产地
日本
品牌
KASHIYAMA
型号
Neodry 36E
是否定制
否

干式真空泵企业商机

日本KASHIYAMA SDE20M12TX干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	SDE20M12TX
MAX排气速度（L/min）	30000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V，380-480V
外型尺寸WHL [mm]	460×960×900

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	SDE20M12TX主机一台	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。

半导体、液晶行业用干式真空泵-KASHIYAMA.苏州干式真空泵中国授权代理商

近期很多朋友咨询反馈自己生产中的液环式真空泵由于夏天温度高，真空度上不去，叶轮也由于腐蚀和气蚀经常换，用的无油螺杆泵、爪泵转子经常被卡死盘不动车，而且由于腐蚀真空度上不去，排气口还有喷油现象。种种现象维修虽然花不了多少钱，但是影响生产，一个班组的人都等着泵修好，下面的人瞪着眼看着，上面领导脸色又不好，很是尴尬难受！因此我们这一辑内容就来为大家介绍干式真空泵，干式真空泵主要在半导体行业、化学工业、薄膜产业得到应用于发展。国外的干泵市场正处于蒸蒸日上的阶段，如日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，而欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，提高了产品的性能和质量。东莞KASHIYAMA干式真空泵代理商浚和（上海）仪器有限公司提供日本KASHIYAMA 7m³/h到2500m³/h的干式真空泵。

日本KASHIYAMA SDE120TX 技术参数&配置清单

一、技术参数：

适合于一些比较苛刻的工艺，比如Meteal-Etch、 SA-CVD、Metal-CVD、PE-CVD、LP-CVD、ALD等

式样	SDE120TX
ZUI大排气速度（L/min）	1500
达到压力（Pa）	1.3
电源电压	3相 AC200-220V
消费电力（KW）	6.5KVA
吸气口	NW50
排气口	NW40
外型尺寸WHL [mm]	280×299×550
质量【kg】	151kg

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	SDE120TX主机一台，电压AC三相200V	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

完全电子智能化设计，可以很方便地多方位与DCS系统联接，通过Modem联接可以实现就地和远程控制；辅助模块的模块化设计可以满足大量的乃至是苛刻的流程的应用；设计可以满足不同的压力要求：压力比可高达 100,000:1 (吸入压力< 0.01 mbar 绝压)；吸气量可达1,000 m3/h (更大吸气量的泵在开发中，目前可用机械的增压泵与干式泵组合来满足对大的吸气量的要求)；噪音水平低于75Db(A)（噪音低于好轿车内部分贝）维修方便，可以快速和方便地拆卸和更换泵的内件。整机通过欧洲ATEX防爆条例认证。那么干式真空泵的优势都有哪些呢？

日本KASHIYAMA MU1218X干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	MU1218X
MAX排气速度（L/min）	20000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V
消费电力（KW）	O.9KW
外型尺寸WHL [mm]	870×380×751
质量【kg】	270kg

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	MU1218X主机一台，电压AC三相200V	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本根据您的具体需求选择不同的干式真空泵系列。广州NEODRY 15E干式真空泵维修

浚和（上海）仪器有限公司专业致力于干式真空泵批发。苏州干式真空泵中国授权代理商

Kashiyama防腐蚀干式真空泵SDE1203技术参数

型号项目		SDE1203TX
注１）Max排气速度		20000 L/min
注１）极限压力		0.5 Pa
加速时间加速時間		35s
减速时间減速時間		Free Run
Max进气口压力		大气压注２）在3～30kPa的情况下运行时间请保持在30分钟以内
Max排气背压（计示压力）		3kPa以下
电机输出功率		3.2kW
进气口（法兰）		ISO100
排气口（法兰）		ＮＷ25
润滑油量		1.2L（含氟油）

电源	电压	3相、200~220V 50/60 Hz 注３）允许电压变动值 ±10％
	容量	11 kVA
	运行电流	50A
	漏电流	约30 mA
冷却水	Max供压（计示压力）	0.5MPa
	Max小压力	0.3MPa
	流量	4~8 L/min
	供水温度	10~25 ℃
	放出热量	约 1800kJ/h
注４）氮气	向干泵供给压（规压）	0.1~0.7MPa
	流量	0~80SLM 苏州干式真空泵中国授权代理商

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